量检测设备的制作方法

本技术涉及光刻机制造，特别涉及一种量检测设备。

背景技术：

1、在现有的量检测设备中，因场地条件有限，设备的维修空间较小，所以需要将部分结构设计成紧凑型。一般情况下，量检测设备中的内框架会设置为可活动型，以便于维修。以及，安装在外框架上的风管与安装在内框架上的气浴之间不能设计成整体硬连接，需要设计可重复对接的结构，且二者相接的端面之间需要为设置密封结构。对此，现有的技术方案是采用发泡密封条密封。即，通过背胶粘贴的方式固定发泡密封条。但这样的密封方式容易存在老化脱胶风险，且因密封条未设置保护层，还可能受到光照影响，或者外力破坏等因素，导致密封失效。

2、因此，亟需一种新的密封方式，以提高量检测设备的密封效果。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种量检测设备，以解决如何提高量检测设备中风管与气浴装置之间的位置对准效果，以及如何提高量检测设备中风管与气浴装置之间的密封效果中的至少一个问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种量检测设备包括风管和气浴装置；其中，所述风管和所述气浴装置之间为可拆卸连接。

3、可选的，在所述的量检测设备中，所述量检测设备还包括密封装置，所述密封装置设置于所述风管和所述气浴装置之间，以密封所述风管和所述气浴装置。

4、可选的，在所述的量检测设备中，所述密封装置包括环形挡件和连接环；所述环形挡件和所述连接环相对设置，且所述环形挡件位于所述风管的一端内，所述连接环位于所述气浴装置相对应的一端内；或者，所述连接环位于所述风管的一端内，所述环形挡件位于所述气浴装置相对应的一端内；

5、其中，所述环形挡件的侧壁包覆有密封结构，所述连接环朝向所述密封结构延伸，并能够与所述密封结构密封相接。

6、可选的，在所述的量检测设备中，所述密封结构包括连接扣和密封条；所述连接扣分别与所述环形挡件和所述密封条相接，以将所述密封条固定于所述环形挡件朝向所述连接环的一侧；其中，所述密封条至少环绕所述环形挡件一周。

7、可选的，在所述的量检测设备中，所述密封结构设置有多个所述连接扣，多个所述连接扣沿所述环形挡件的环内均匀分布；或者，所述连接扣呈环形，且与所述环形挡件的环内形貌相适配。

8、可选的，在所述的量检测设备中，所述环形挡件朝向所述连接环的一侧设置有环形槽；所述密封结构为密封条，所述密封条沿所述环形槽设置。

9、可选的，在所述的量检测设备中，所述连接环的外径沿朝向所述环形挡件的方向递减或相同；且所述连接环的最小外径介于所述环形挡件的外径和内径之间。

10、可选的，在所述的量检测设备中，所述量检测设备还包括支架、第一框架和第二框架；其中，所述第一框架固定设置于所述支架上，所述第二框架与所述支架可活动连接；且所述风管设置于所述第一框架上，所述气浴装置设置于所述第二框架上。

11、可选的，在所述的量检测设备中，所述风管与所述第一框架经螺钉相接，且所述第一框架上设置的螺孔为长腰孔。

12、可选的，在所述的量检测设备中，所述量检测设备还包括风机，所述风机与所述风管远离所述气浴装置的一端相接，以使所述风机提供的气体能够经所述风管流入所述气浴装置内。

13、综上所述，本实用新型提供一种量检测设备。其中，所述量检测设备包括风管和气浴装置；其中，所述风管和所述气浴装置之间为可拆卸连接，以便于在密封连接所述风管和所述气浴装置时，可存留一些调整余量，以确保在对接时二者的端面位置能够精确对准，提高密封连接效果。

技术特征：

1.一种量检测设备，其特征在于，包括风管和气浴装置；其中，所述风管和所述气浴装置之间为可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的量检测设备，其特征在于，所述量检测设备还包括密封装置，所述密封装置设置于所述风管和所述气浴装置之间，以密封所述风管和所述气浴装置。

3.根据权利要求2所述的量检测设备，其特征在于，所述密封装置包括环形挡件和连接环；所述环形挡件和所述连接环相对设置，且所述环形挡件位于所述风管的一端内，所述连接环位于所述气浴装置相对应的一端内；或者，所述连接环位于所述风管的一端内，所述环形挡件位于所述气浴装置相对应的一端内；

4.根据权利要求3所述的量检测设备，其特征在于，所述密封结构包括连接扣和密封条；所述连接扣分别与所述环形挡件和所述密封条相接，以将所述密封条固定于所述环形挡件朝向所述连接环的一侧；其中，所述密封条至少环绕所述环形挡件一周。

5.根据权利要求4所述的量检测设备，其特征在于，所述密封结构设置有多个所述连接扣，多个所述连接扣沿所述环形挡件的环内均匀分布；或者，所述连接扣呈环形，且与所述环形挡件的环内形貌相适配。

6.根据权利要求3所述的量检测设备，其特征在于，所述环形挡件朝向所述连接环的一侧设置有环形槽；所述密封结构为密封条，所述密封条沿所述环形槽设置。

7.根据权利要求3所述的量检测设备，其特征在于，所述连接环的外径沿朝向所述环形挡件的方向递减或相同；且所述连接环的最小外径介于所述环形挡件的外径和内径之间。

8.根据权利要求1所述的量检测设备，其特征在于，所述量检测设备还包括支架、第一框架和第二框架；其中，所述第一框架固定设置于所述支架上，所述第二框架与所述支架可活动连接；且所述风管设置于所述第一框架上，所述气浴装置设置于所述第二框架上。

9.根据权利要求8所述的量检测设备，其特征在于，所述风管与所述第一框架经螺钉相接，且所述第一框架上设置的螺孔为长腰孔。

10.根据权利要求1所述的量检测设备，其特征在于，所述量检测设备还包括风机，所述风机与所述风管远离所述气浴装置的一端相接，以使所述风机提供的气体能够经所述风管流入所述气浴装置内。

技术总结
本技术提供一种量检测设备。其中，所述量检测设备包括风管和气浴装置；其中，所述风管和所述气浴装置之间为可拆卸连接，以便于在密封连接所述风管和所述气浴装置时，可存留一些调整余量，以确保在对接时二者的端面位置能够精确对准，提高密封连接效果。

技术研发人员：袁林栋,郎东春,颜小龙,周许超,张杰,陈朵朵,程宇,徐凤森,陈楠,齐会平
受保护的技术使用者：上海微电子装备（集团）股份有限公司
技术研发日：20230428
技术公布日：2024/1/15