一种曝光装置的制作方法

本技术属于在半导体产品生产，更具体地说，是涉及一种曝光装置。

背景技术：

1、本实用新型涉及原曝光灯的改造，现有技术中的曝光灯为水银灯，使为点状光源，光线的平行性无法达到标准，并且水银灯所照射波长365μm光并不纯正，会掺杂不同波长的光，所以无法做出5μm的线条宽度与线条间距的效果，现有技术中的结构无法满足使用要求。

2、现有技术中有名称为“曝光装置、控制曝光装置的方法和用于曝光的对齐方法”、公开号为“103869631a”的技术，该技术曝光装置包括：主台，被配置为调整基板的位置；光束照射单元，用于将光束照射到掩膜上；以及光束监视单元，具有相对于所述主台固定的位置，并且用于识别从所述光束照射单元发出且穿过所述掩膜中的开口以形成特定图案的光束。

3、然而，该技术没有涉及本申请的技术问题和技术方案。

技术实现思路

1、本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有技术的不足，提供一种结构简单，能够有效达到过滤不良光线的效果，确保光源的聚集力度保证光强到达生产要求，同时降低制造成本的曝光装置。

2、要解决以上所述的技术问题，本实用新型采取的技术方案为：

3、本实用新型为一种曝光装置，灯源前方设置小透镜、小透镜前方设置第一大透镜，第一大透镜前方设置第二大透镜，第二大透镜前方设置第一复眼，第一复眼前方设置第二复眼，所述的灯源为led灯。

4、所述的第一大透镜和第二大透镜均为凸透镜，凸透镜包括凸部和凹部。

5、所述的第一大透镜的凸部面向小透镜，第一大透镜的凹部面向第二大透镜。

6、所述的第二大透镜的凹部面向第一大透镜的凹部，第二大透镜的凸部面向第一复眼。

7、所述的光源后方靠近光源位置设置冷却水管。

8、所述的第一大透镜和第二大透镜的材质选用高硅氧玻璃。

9、所述的第一复眼和第二复眼的材质选用高硅氧玻璃。

10、所述的灯源和小透镜平行布置。

11、所述的第一复眼和第二复眼平行布置。

12、所述的小透镜前部表面设置多个发光灯珠，发光灯珠为外凸半球型结构。

13、采用本实用新型的技术方案，工作原理及有益效果如下所述：

14、本实用新型所述的曝光装置，设计led灯源的光路，包括灯源、小透镜、第一大透镜、第二大透镜、第一复眼、第二复眼。从led灯源发出的光经过小透镜聚集后，进过凸透镜结构的第一大透镜和第二大透镜来均匀光线，光再透过第一复眼、第二复眼射出。原理图如图1所示）。使用的灯源是led灯，是固体冷光源，在发光时不产生高热量。同时led灯采用单相非线性导电特性。低压驱动，调光容易，响应速度快，在点灯信号发出后经过1毫秒即可点灯稳定。同时在灯源后方带有冷却水管，冷却水温度设定到20℃-25℃，用于控制灯源的温度。灯源前方安装小透镜来进行聚焦，光源的聚集力度保证光强到达生产要求。其后安装两个凸透镜的第一大透镜和第二大透镜来平行发射的光源，原理为：直接从小透镜发射的光源，平行性较差，经过两个大透镜的平行校准，能使光线平行发射到第一复眼的位置。在光线经过第一大透镜时，角度大的光线无法进入，达到过滤不良光线的效果。两个大透镜后设置两个复眼来滤过角度过大的光线，并且来均匀光线。它的匀光原理是：当光束照射第一复眼后，光束被聚焦到第二复眼透镜的中心，此时整个光束被匀成复眼上的小眼个数的n个光路，然后成像于第二复眼中的每个小眼的正心位置，然后再出射到达照明面。每个光束分别照射出来达到所需的产品位置，所以产品上的光强是多个小眼的光强相加而得到。结构设置时，一个灯源、一个小透镜、一个第一大透镜、一个第二大透镜、一个第一复眼、一个第二复眼形成一组曝光装置，而根据需要，可以设置多组曝光装置。

技术特征：

1.一种曝光装置，其特征在于：灯源（1）前方设置小透镜（2）、小透镜（2）前方设置第一大透镜（3），第一大透镜（3）前方设置第二大透镜（4），第二大透镜（4）前方设置第一复眼（5），第一复眼（5）前方设置第二复眼（6），所述的灯源（1）为led灯。

2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于：所述的第一大透镜（3）和第二大透镜（4）均为凸透镜，凸透镜包括凸部（8）和凹部（9）。

3.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于：所述的第一大透镜（3）的凸部面向小透镜（2），第一大透镜（3）的凹部面向第二大透镜（4）。

4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于：所述的第二大透镜（4）的凹部（9）面向第一大透镜（3）的凹部（9），第二大透镜（4）的凸部（8）面向第一复眼（5）。

5.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于：所述的灯源（1）后方靠近灯源（1）位置设置冷却水管（10）。

6.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于：所述的第一大透镜（3）和第二大透镜（4）的材质选用高硅氧玻璃。

7.根据权利要求6所述的曝光装置，其特征在于：所述的第一复眼（5）和第二复眼（6）的材质选用高硅氧玻璃。

8.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于：所述的灯源（1）和小透镜（2）平行布置。

9.根据权利要求8所述的曝光装置，其特征在于：所述的第一复眼（5）和第二复眼（6）平行布置。

10.根据权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于：所述的小透镜（2）前部表面设置多个发光灯珠（7），发光灯珠（7）为外凸半球型结构。

技术总结
本技术属于在半导体产品生产技术领域的曝光装置。灯源(1)前方设置小透镜(2)、小透镜(2)前方设置第一大透镜(3)，第一大透镜(3)前方设置第二大透镜(4)，第二大透镜(4)前方设置第一复眼(5)，第一复眼(5)前方设置第二复眼(6)，所述的灯源(1)为LED灯。本技术所述的曝光装置，结构简单，能够有效达到过滤不良光线的效果，确保光源的聚集力度保证光强到达生产要求，同时降低制造成本。

技术研发人员：杨星豪,赵存根,余志辉,钟素文,袁发根,于雷铜
受保护的技术使用者：芜湖长信科技股份有限公司
技术研发日：20230508
技术公布日：2024/1/15