一种匀胶显影机的晶片转移装置的制作方法

本技术涉及匀胶显影设备的领域，尤其是涉及一种匀胶显影机的晶片转移装置。

背景技术：

1、匀胶显影机是完成除曝光以外的所有光刻工艺的设备，包括光刻材料的涂布、烘烤、显影、晶片背面的清洗以及用于浸没式工艺的晶片表面的去离子水冲洗等，在对晶片件进行拿取时，一般是通过机械手从晶片盒中把晶片件抽出来，再放置指定位置，但是目前机械手只能进行水平方向的抽取和传递晶片，无法进行多角度拿取晶片。

2、目前，专利号为“202222771083.7”，专利名称为“一种匀胶显影机的晶片拿取装置”的中国实用新型专利公开了包括有基座、控制终端、电机和辅助拿取机构，基座上设置有用于控制本装置对晶片进行精准拿取的控制终端，基座中心设置有用于为拿取晶片提供动力支持的电机，基座还设有用于对晶片的进行精准拿取的辅助拿取机构。

3、针对上述中的相关技术，发明人认为这种设计虽然可以做到从不同角度取料，但是拿取块之间的距离是固定的，不能适配不同尺寸规格的晶片，所以有必要设计一种匀胶显影机的晶片转移装置。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种匀胶显影机的晶片转移装置。

2、本实用新型提供的一种匀胶显影机的晶片转移装置采用如下的技术方案：

3、一种匀胶显影机的晶片转移装置，包括基座、伺服电机、固定台、转台、转轴、气缸和辅助拿取机构，所述固定台设置在所述基座上，所述转台设置在所述基座上，所述伺服电机设置在基座上，所述气缸设置在所述转台上，所述气缸的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构设置在所述气缸的活塞杆的端部。

4、可选的，所述基座内设置有齿轮一和齿轮二，所述齿轮一和齿轮二互相啮合，所述电机的转子与所述齿轮一连接，所述齿轮二与转轴连接，所述固定台上设置有轴承，所述转轴穿过所述轴承，所述转轴的另一端与所述固定台连接。

5、可选的，所述气缸活塞杆顶部设置有角钢，所述辅助拿取机构设置在所述角钢上。

6、可选的，所述辅助拿取机构包括壳体、驱动电机、联轴器、丝杆、滑轨、滑块和拿取臂，所述壳体与所述角钢连接，所述驱动电机设置在所述壳体内，所述驱动电机的转子通过所述联轴器与所述丝杆的端部连接，所述丝杆的另一端与所述壳体的内壁转动连接，所述滑块内设置有螺母套，所述螺母套设置在所述丝杆上，所述滑块设置有两组，两组所述滑块互相间隔设置，所述滑块与所述滑轨滑动配合。

7、可选的，所述拿取臂设置在所述滑块上，所述拿取臂与所述滑块互相垂直设置。

8、综上所述，本实用新型包括以下至少一种有益技术效果：

9、1.启动驱动电机带动丝杆转动，丝杆转动时，两组滑块在螺母套和丝杆的作用下互相反向移动，从而调节两组拿取臂之间的距离，便于适配不同规格尺寸的的晶片；

10、2.驱动伺服电机，在齿轮一和齿轮二的作用下，可以使转轴转动，从而实现对辅助拿取机构的转动，通过气缸的活塞杆的伸缩，可以调整辅助拿取机构的高度。

技术特征：

1.一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：包括基座(1)、伺服电机(2)、固定台(3)、转台(4)、转轴、气缸(6)和辅助拿取机构(7)，所述固定台(3)设置在所述基座(1)上，所述转台(4)设置在所述基座(1)上，所述伺服电机(2)设置在基座(1)上，所述气缸(6)设置在所述转台(4)上，所述气缸(6)的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构(7)设置在所述气缸(6)的活塞杆的端部。

2.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述基座(1)内设置有齿轮一和齿轮二，所述齿轮一和齿轮二互相啮合，所述电机的转子与所述齿轮一连接，所述齿轮二与转轴连接，所述固定台(3)上设置有轴承，所述转轴穿过所述轴承，所述转轴的另一端与所述固定台(3)连接。

3.根据权利要求1所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述气缸(6)活塞杆顶部设置有角钢(5)，所述辅助拿取机构(7)设置在所述角钢(5)上。

4.根据权利要求3所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述辅助拿取机构(7)包括壳体(71)、驱动电机(72)、联轴器(73)、丝杆(74)、滑轨(75)、滑块(76)和拿取臂(77)，所述壳体(71)与所述角钢(5)连接，所述驱动电机(72)设置在所述壳体(71)内，所述驱动电机(72)的转子通过所述联轴器(73)与所述丝杆(74)的端部连接，所述丝杆(74)的另一端与所述壳体(71)的内壁转动连接，所述滑块(76)内设置有螺母套，所述螺母套设置在所述丝杆(74)上，所述滑块(76)设置有两组，两组所述滑块(76)互相间隔设置，所述滑块(76)与所述滑轨(75)滑动配合。

5.根据权利要求4所述的一种匀胶显影机的晶片转移装置，其特征在于：所述拿取臂(77)设置在所述滑块(76)上，所述拿取臂(77)与所述滑块(76)互相垂直设置。

技术总结
本技术涉及一种匀胶显影机的晶片转移装置，其包括基座、伺服电机、固定台、转台、转轴、气缸和辅助拿取机构，所述固定台设置在所述基座上，所述转台设置在所述基座上，所述伺服电机设置在基座上，所述气缸设置在所述转台上，所述气缸的活塞杆竖直向上设计，所述辅助拿取机构设置在所述气缸的活塞杆的端部，所述辅助拿取机构包括壳体、驱动电机、联轴器、丝杆、滑轨、滑块和拿取臂，启动驱动电机带动丝杆转动，丝杆转动时，两组滑块在螺母套和丝杆的作用下互相反向移动，从而调节两组拿取臂之间的距离，便于适配不同规格尺寸的的晶片。

技术研发人员：杜国强,董金良,姜永明,张浩
受保护的技术使用者：无锡环亚微电子有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/14