一种光路切换装置的制作方法

本技术涉及光学设备，更具体的说是涉及一种光路切换装置。

背景技术：

1、由于膜厚仪等光学设备各项功能对于光的强度和配件的使用不一致，常用的膜厚测量等光学仪器只能进行单项测试功能。

2、如现有技术：专利号为202010275953.4，专利名称为一种可局部测量的显微成像膜厚测量装置，包括：光路组件、载物组件及机架组件，载物组件设置在机架组件上；光路组件连接在机架组件上；光路组件用于对载物组件上的薄膜进行光学测量；光源可同时作为测量光源和照明光源，不仅能发出测量光束，同时能提供对测量区域标记的光束，不需要另外设置照明光源，可避免对测量光源带来杂散光，提高了测量结果的准确性；该装置虽然能够提高测量准确性，但是其结构设置复杂，同时仅能实现对膜厚的单项检测，如果想要实现对射率的测量，就需要将被检测件移动至对射率测量装置上，影响测试效率。

3、因此，如何提供一种结构简单、在不移动被检测件的情况下，能够分别实现对膜厚和对射率进行测量的测量装置，是本领域技术人员亟需解决的问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本实用新型提供了一种光路切换装置，旨在解决上述技术问题。

2、为了实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

3、一种光路切换装置，包括：

4、箱体；所述箱体内部具有容纳腔，且其顶面开设有凹槽，所述凹槽上置有检测台；所述检测台中部开设有通孔；

5、悬臂；所述悬臂底端固定在所述容纳腔的一侧，顶端穿出所述箱体顶面延伸至所述检测台上方，并与所述通孔对应；

6、光路切换机构；所述光路切换机构位于所述容纳腔内部，且所述光路切换机构的输出端连接有光纤组件；所述光纤组件与所述通孔对应；

7、控制器；所述控制器固定在所述容纳腔内，控制所述光路切换机构的光路切换，并通过光纤组件分别实现对膜厚和对射率的检测。

8、通过上述技术方案，本实用新型公开提供的一种光路切换装置，将被检测件放置在检测台上，通过控制器控制光路切换机构光路切换，通过与光纤组件的配合，实现对被检测件膜厚和对射率，本实用新型结构简单，可在不移动被检测件的情况下，实现对被检测件不同项目的测试，提高了检测效率。

9、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述光路切换机构包括步进电机一、步进电机二和电池组；

10、所述步进电机一和所述步进电机二均安装在所述容纳腔；所述步进电机一的输入端连接有主光路一，所述主光路一与所述控制器连接；所述步进电机一的输出端连接有分光路一和分光路二；所述分光路一和所述分光路二分别与所述主光路一连通；

11、所述步进电机二的输入端连接有主光路二，所述主光路二与所述控制器连接；所述主光路二的输出端连接有分光路三和分光路四；所述分光路三和所述分光路四分别与所述主光路二连通；

12、所述电池组为所述步进电机一和所述步进电机二提供电力。

13、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述光纤组件包括上光纤组和下光纤；所述上光纤组包括第一上光纤、第二上光纤和第三上光纤；所述第一上光纤、所述第二上光纤和所述第三上光纤的一端分别与所述分光路一、所述分光路二和所述分光路三连接；另一端均穿过所述悬臂内部，并与所述通孔对应；所述下光纤的一端与所述分光路四连接，另一端与所述通孔对应。主光路一与分光路一连通对应的第一上光纤，主光路二和分光路三连通对应的第二上光纤，实现对膜厚的测量；主光路一与分光路二连通对应的第三上光纤，主光路二与分光路四连通对应的下光纤实现对对射率的测量。

14、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述容纳腔内部固定有主电源；所述主电源为所述控制器、所述电池组提供电力。

15、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述箱体的一侧壁上安装有控制开关，所述控制开关控制所述主电源。

16、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述箱体的一侧壁上安装有切换开关，所述切换开关与所述控制器电连接。启动切换开关，控制器接收启动信号，控制打开步进电机一和步进电机二；控制步进电机一的主光路一与分光路一或分光路二连通；控制步进电机二的主光路二与分光路三或分光路四连通。

17、优选的，在上述一种光路切换装置中，所述容纳腔中固定有光强调节器，所述光强调节器的开关安装在所述箱体的侧壁上。通过调节开关，可对光源强度进行调整。

18、经由上述的技术方案可知，与现有技术相比，本实用新型公开提供了一种光路切换装置，具有以下有益效果：

19、1、本实用新型结构简单。

20、2、本实用新型在不移动被检测件的情况下，即可实现对膜厚和对射率的测量，提升了检测效率；规避了现有技术中仅能实现单向测量的技术问题。

21、3、本实用新型通过调节控制切换开关即可实现光路切换，操作简单便捷。

技术特征：

1.一种光路切换装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述光路切换机构(4)包括步进电机一(41)、步进电机二(42)和电池组(43)；

3.根据权利要求2所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述光纤组件包括上光纤组(6)和下光纤(7)；所述上光纤组(6)包括第一上光纤、第二上光纤和第三上光纤；所述第一上光纤、所述第二上光纤和所述第三上光纤的一端分别与所述分光路一(412)、所述分光路二(413)和所述分光路三(422)连接；另一端均穿过所述悬臂(3)，并与所述通孔(21)对应；所述下光纤(7)的一端与所述分光路四(423)连接，另一端与所述通孔(21)对应。

4.根据权利要求2所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述容纳腔内部固定有主电源(8)；所述主电源(8)为所述控制器(5)、所述电池组(43)提供电力。

5.根据权利要求4所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧壁上安装有控制开关(81)，所述控制开关(81)控制所述主电源(8)。

6.根据权利要求1所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述箱体(1)的一侧壁上安装有切换开关(11)，所述切换开关(11)与所述控制器(5)电连接。

7.根据权利要求1所述的一种光路切换装置，其特征在于，所述容纳腔中固定有光强调节器(9)，所述光强调节器(9)的开关(91)安装在所述箱体(1)的侧壁上。

技术总结
本技术公开了一种光路切换装置，涉及光学设备技术领域；包括箱体；箱体内部具有容纳腔，且其顶面开设有凹槽，凹槽上置有检测台；检测台中部开设有通孔；悬臂；悬臂底端固定在容纳腔的一侧，顶端穿出箱体顶面延伸至检测台上方，并与通孔对应；光路切换机构；光路切换机构位于容纳腔内部，且光路切换机构的输出端连接有光纤组件；光纤组件与通孔对应；控制器；控制器固定在容纳腔内，控制光路切换机构的光路切换，并通过光纤组件分别实现对膜厚和对射率的检测，本技术结构简单，便于操作，可在不移动被检测件的情况下，实现对被检测件不同项目的测试，提高了检测效率。

技术研发人员：陈鑫荣
受保护的技术使用者：翌颖科技（上海）有限公司
技术研发日：20230530
技术公布日：2024/1/13