一种彩色光刻胶显影机冷却装置的制作方法

本技术涉及光刻胶生产设备，具体为一种彩色光刻胶显影机冷却装置。

背景技术：

1、在半导体行业中，光刻和显影是两个重要的步骤，显影过程在显影机上完成，显影过程就是将曝光后的光刻胶中与紫外光发生化学反应的部分取出或保留下来的过程，显影的基本过程是：对准曝光(光刻机)→曝光后烘→显影→坚膜→显影检测。

2、因显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23度左右，因此对匀胶显影机中冷板的温度检测精准度要求很高，而通常进行冷却是将硅片放置在冷盘上，在冷盘底部连接冷却机构，使硅片进行冷却，而这样硅片的底部与冷盘贴合，但硅片的上表面却与空气接触，导致硅片的降温不均匀，使得硅片产生一定损耗；所以我们提出了一种彩色光刻胶显影机冷却装置，以便于解决上述中提出的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种彩色光刻胶显影机冷却装置，以解决上述背景技术中提出的现有因显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23度左右，因此对匀胶显影机中冷板的温度检测精准度要求很高，而通常进行冷却是将硅片放置在冷盘上，在冷盘底部连接冷却机构，使硅片进行冷却，而这样硅片的底部与冷盘贴合，但硅片的上表面却与空气接触，导致硅片的降温不均匀，使得硅片产生一定损耗的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种彩色光刻胶显影机冷却装置，包括涂胶室；

3、还包括：

4、转轴，其设置在涂胶室的内部，所述转轴的上端设置有冷盘，且冷盘通过转轴进行转动，所述冷盘的内部设置有盘绕管，且盘绕管呈s型均匀缠绕在冷盘的内部上端，所述盘绕管的一端连接有进水口，且进水口连通冷盘的底端，所述盘绕管的另一端连接有出水口，且出水口连通冷盘的底端，所述涂胶室的内部上端设置有第一升降机，所述第一升降机的底端设置有第一伸缩杆，且第一伸缩杆通过第一升降机进行升降移动，所述第一伸缩杆的底端设置有连接盘的底端连接有盖盘，所述盖盘与冷盘之间形成密封空间。

5、优选的，所述涂胶室的内部底端设置有第二升降机，且第二升降机设置有两个并对称设置在转轴的两侧，所述第二升降机的上端设置有第二伸缩杆，且第二伸缩杆通过第二升降机进行移动，所述第二伸缩杆的上端固定有安装盘，所述安装盘的上端两侧设置有接口，接口与安装盘连通，接口设置有两个，且两个接口分别位于进水口和出水口的正下方，所述接口的上端外部设置有密封圈，且密封圈通过粘连固定在接口的上端外部。

6、优选的，所述接口的下方分别连接有出水管和进水管，出水管和进水管分别卡合在安装盘两侧的孔内与接口的底端接触，且出水管和进水管均为橡胶材质，所述出水管和进水管的另一端连通有冷却箱，所述冷却箱的内部设置有制冷机，所述冷却箱的内部左侧设置有水泵，且水泵与进水管贴合。

7、优选的，所述冷却箱的上端设置有风机，且风机与冷却箱的内部连通，所述风机的上端设置有进气管，且进气管的另一端与第一伸缩杆的一侧固定连接，所述第一伸缩杆的内部设置有通孔，且通孔与进气管连通，所述连接盘的内部设置有分流槽，且分流槽与通孔连通，所述连接盘的底端设置有进气槽，进气槽设置有若干，且进气槽贯穿盖盘并与密封空间连通。

8、优选的，所述密封空间的两侧设置有排气孔，且排气孔贯穿盖盘的内部两侧，所述排气孔的内部设置有单向阀口。

9、优选的，所述盖盘的底端设置有密封环，且密封环通过粘连固定安装在盖盘的底端。

10、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

11、1、本实用新型通过将盖盘盖住冷盘，使得硅片处于密封空间，通过盘绕管内部流动的冷却液使冷盘表面温度降低，从而对硅片的底端进行降温处理，同时通过风机将冷却箱内部产生的冷空气吹入密封空间内，使密封空间内保持低温，可以均匀的对硅片产生冷却效果，同时吹入的冷空气对硅片表面进行降温，使得硅片的上下两端和处在空间的温度都几乎一致，防止硅片因冷却温度不均匀导致硅片产生损耗的情况。

12、2、通过将制冷机始终对冷却箱内部的冷却液进行冷却，使得冷却液的温度始终保持一致，而盖盘的两侧始终出风口，可将降温的冷空气从排气孔排出，从而使密封空间始终保持冷空气进入。

技术特征：

1.一种彩色光刻胶显影机冷却装置，包括涂胶室（1）；

2.根据权利要求1所述的一种彩色光刻胶显影机冷却装置，其特征在于：所述涂胶室（1）的内部底端设置有第二升降机（12），且第二升降机（12）设置有两个并对称设置在转轴（13）的两侧，所述第二升降机（12）的上端设置有第二伸缩杆（14），且第二伸缩杆（14）通过第二升降机（12）进行移动，所述第二伸缩杆（14）的上端固定有安装盘（15），所述安装盘（15）的上端两侧设置有接口（16），接口（16）与安装盘（15）连通，接口（16）设置有两个，且两个接口（16）分别位于进水口（18）和出水口（17）的正下方，所述接口（16）的上端外部设置有密封圈（28），且密封圈（28）通过粘连固定在接口（16）的上端外部。

3.根据权利要求2所述的一种彩色光刻胶显影机冷却装置，其特征在于：所述接口（16）的下方分别连接有出水管（10）和进水管（11），出水管（10）和进水管（11）分别卡合在安装盘（15）两侧的孔内与接口（16）的底端接触，且出水管（10）和进水管（11）均为橡胶材质，所述出水管（10）和进水管（11）的另一端连通有冷却箱（7），所述冷却箱（7）的内部设置有制冷机（8），所述冷却箱（7）的内部左侧设置有水泵（9），且水泵（9）与进水管（11）贴合。

4.根据权利要求3所述的一种彩色光刻胶显影机冷却装置，其特征在于：所述冷却箱（7）的上端设置有风机（6），且风机（6）与冷却箱（7）的内部连通，所述风机（6）的上端设置有进气管（5），且进气管（5）的另一端与第一伸缩杆（3）的一侧固定连接，所述第一伸缩杆（3）的内部设置有通孔（4），且通孔（4）与进气管（5）连通，所述连接盘（20）的内部设置有分流槽（23），且分流槽（23）与通孔（4）连通，所述连接盘（20）的底端设置有进气槽（22），进气槽（22）设置有若干，且进气槽（22）贯穿盖盘（19）并与密封空间（21）连通。

5.根据权利要求1所述的一种彩色光刻胶显影机冷却装置，其特征在于：所述密封空间（21）的两侧设置有排气孔（24），且排气孔（24）贯穿盖盘（19）的内部两侧，所述排气孔（24）的内部设置有单向阀口（25）。

6.根据权利要求1所述的一种彩色光刻胶显影机冷却装置，其特征在于：所述盖盘（19）的底端设置有密封环（27），且密封环（27）通过粘连固定安装在盖盘（19）的底端。

技术总结
本技术公开了一种彩色光刻胶显影机冷却装置，涉及光刻胶生产设备技术领域，为解决现有因显影机需要对曝光后烘干的硅片降温到23度左右，因此对匀胶显影机中冷板的温度检测精准度要求很高，而通常进行冷却是将硅片放置在冷盘上，在冷盘底部连接冷却机构，使硅片进行冷却，而这样硅片的底部与冷盘贴合，但硅片的上表面却与空气接触，导致硅片的降温不均匀，使得硅片产生一定损耗的问题，包括涂胶室；还包括：转轴，其设置在涂胶室的内部，所述转轴的上端设置有冷盘，且冷盘通过转轴进行转动，所述冷盘的内部设置有盘绕管，且盘绕管呈S型均匀缠绕在冷盘的内部上端，所述盘绕管的一端连接有进水口，且进水口连通冷盘的底端。

技术研发人员：宗健,李红岩
受保护的技术使用者：江苏博砚电子科技股份有限公司
技术研发日：20230828
技术公布日：2024/3/27