一种光刻胶供应系统的制作方法

本技术涉及半导体制造，具体涉及一种光刻胶供应系统。

背景技术：

1、在半导体制程中，光刻胶中的气泡严重影响光刻胶喷涂在晶圆上的均匀性和光刻工艺质量，从而影响产品良品率。目前的光刻胶供应系统，当检测设备检测出气泡时，停止喷涂，然后人为将含有气泡的光刻胶排除后，再继续喷涂。因此，光刻胶供应系统存在依赖人工、效率低和不智能等问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种光刻胶供应系统，能够监控并自动排除光刻胶供应系统中的气泡，提高光刻胶供应的效率，实现光刻胶供应的智能化。

2、为了实现上述目的及其他相关目的，本实用新型是通过如下技术方案实现的。

3、本实用新型提供一种光刻胶供应系统，包括：

4、储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；

5、气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；

6、第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；

7、除泡单元，与所述储罐连接；

8、第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧，且所述第一接收罐分别与所述第一排气管路、所述除泡单元连接；

9、检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；

10、开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及

11、供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。

12、在本实用新型一实施例中，所述第一排气管路上至少设置一个第一排气阀，所述第一排气阀设置在所述罐底和所述第一接收罐之间的所述第一排气管路上。

13、在本实用新型一实施例中，所述第一排气阀的开关规律控制所述第一排气阀的开启，所述第一排气阀的开关规律为采用等间隔时间开启预设时间。

14、在本实用新型一实施例中，所述第一排气管路上至少设置一个第一截止阀，所述第一截止阀设置在所述第一排气阀和所述第一接收罐之间的所述第一排气管路上。

15、在本实用新型一实施例中，所述供应系统还包括第二排气管路，所述第二排气管路的一端与所述除泡单元和所述检测单元之间的所述供胶管路连接。

16、在本实用新型一实施例中，所述第二排气管路上至少设置一个第二排气阀。

17、在本实用新型一实施例中，所述检测单元分别与所述第二排气阀以及所述开关阀通信连接。

18、在本实用新型一实施例中，所述供应系统还包括第二接收罐，所述第二接收罐设置在所述第二排气管路远离所述供胶管路的一侧，且所述第二接收罐分别与所述第二排气管路以及所述除泡单元连接。

19、在本实用新型一实施例中，所述第二排气管路上至少设置一个第二截止阀，所述第二截止阀设置在所述第二排气阀和所述第二接收罐之间的所述第二排气管路上。

20、在本实用新型一实施例中，所述检测单元为红外气泡检测传感器、电容式气泡检测传感器或超声气泡检测传感器。

21、综上所述，本实用新型提出一种光刻胶供应系统，能够监控并自动排除光刻胶供应系统中的气泡，保证光刻胶供应系统输出无气泡的光刻胶，提高光刻胶供应的效率，使光刻胶供应智能化。

技术特征：

1.一种光刻胶供应系统，其特征在于，至少包括：

2.根据权利要求1所述的供应系统，其特征在于，所述第一排气管路上至少设置一个第一排气阀，所述第一排气阀设置在所述罐底和所述第一接收罐之间的所述第一排气管路上。

3.根据权利要求2所述的供应系统，其特征在于，所述第一排气阀的开关规律控制所述第一排气阀的开启，所述第一排气阀的开关规律为采用等间隔时间开启预设时间。

4.根据权利要求2所述的供应系统，其特征在于，所述第一排气管路上至少设置一个第一截止阀，所述第一截止阀设置在所述第一排气阀和所述第一接收罐之间的所述第一排气管路上。

5.根据权利要求1所述的供应系统，其特征在于，所述供应系统还包括第二排气管路，所述第二排气管路的一端与所述除泡单元和所述检测单元之间的所述供胶管路连接。

6.根据权利要求5所述的供应系统，其特征在于，所述第二排气管路上至少设置一个第二排气阀。

7.根据权利要求6所述的供应系统，其特征在于，所述检测单元与所述第二排气阀以及所述开关阀通信连接。

8.根据权利要求6所述的供应系统，其特征在于，所述供应系统还包括第二接收罐，所述第二接收罐设置在所述第二排气管路远离所述供胶管路的一侧，且所述第二接收罐与所述第二排气管路以及所述除泡单元连接。

9.根据权利要求8所述的供应系统，其特征在于，所述第二排气管路上至少设置一个第二截止阀，所述第二截止阀设置在所述第二排气阀和所述第二接收罐之间的所述第二排气管路上。

10.根据权利要求1所述的供应系统，其特征在于，所述检测单元为红外气泡检测传感器、电容式气泡检测传感器或超声气泡检测传感器。

技术总结
本技术公开了一种光刻胶供应系统，至少包括：储罐，包括罐口以及与所述罐口相对设置的罐底；气体供应管路，所述气体供应管路的一端延伸至所述罐口内；第一排气管路，所述第一排气管路的一端由所述罐口延伸至所述罐底；第一接收罐，设置在所述第一排气管路远离所述罐底的一侧；除泡单元，与所述储罐连接；检测单元，设置在所述除泡单元远离所述储罐的一侧；开关阀，设置在所述检测单元远离所述除泡单元的一侧；以及供胶管路，连接所述储罐、所述除泡单元、所述检测单元和所述开关阀。通过本技术提供的供应系统，能够监控并自动排除光刻胶供应系统中的气泡，提高光刻胶供应的效率，实现光刻胶供应的智能化。

技术研发人员：陈卫军,欧阳增图,刘凌海
受保护的技术使用者：深圳市辰中科技有限公司
技术研发日：20231225
技术公布日：2024/11/14