用于曝光机的电池片上下料装置的制作方法

本技术涉及曝光机设备，尤其涉及一种用于曝光机的电池片上下料装置。

背景技术：

1、曝光机是集电子光学、电气、机械、真空、计算机技术等于一体的复杂的半导体加工设备，70年代以后广泛应用于半导体集成电路制造业，是在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，它常用于半导体制造，光电电子，平板，射频微波，衍射光学，微机电系统，凹凸或覆晶设备和其他要求精细印制领域。

2、目前，大多数曝光机的作业方式是通过人工操作上下料，速度慢，导致生产效率低，因此出现了如公告号为cn211628004u的实用新型专利，该专利公开了一种曝光机自动上下料装置，包括支撑台、升降单元、安装块、移动单元、真空单元和控制器，所述支撑台的顶面设有成品收集槽和未成品收集槽，所述升降单元的背板与支撑台右侧顶面的滑孔滑动连接，所述安装块固定在背板的顶端，所述移动单元安装在安装块的侧面，所述真空单元安装在移动单元的底部，所述控制器固定在支撑台的侧面，所述控制器的输入端与外部电源的输出端电连接。

3、现有技术中至少存在如下问题：一是人工操作及现有上下料装置的上下料速度慢，导致生产效率低；二是人工操作及现有上下料装置的上料精度差，非常容易出现差错，可靠性低；三是人工及现有上下料装置对不合格电池片的筛选效果差，导致产品的合格率低。

技术实现思路

1、本实用新型针对现有技术的不足，研制一种用于曝光机的电池片上下料装置，本实用新型既能代替人工进行电池片的上下料，又可保证上料精度以及精准筛选并剔除不合格电池片，有效提高了生产效率以及产品的合格率。

2、本实用新型解决技术问题的技术方案为：一种用于曝光机的电池片上下料装置，包括两组曝光机本体，还包括p面上下料单元和n面上下料单元，p面上下料单元的进料端设有前端调整检测单元，p面上下料单元的出料端通过中端调整检测单元与n面上下料单元的进料端连接，n面上下料单元的出料端设有后端检测单元，p面上下料单元的一侧与一组曝光机本体连接，n面上下料单元的一侧与另一组曝光机本体连接。

3、作为优化，前端调整检测单元包括沿输送方向依次设置的pl检测装置、第一aoi检测装置、长边归正装置和第一顶升旋转装置。通过设置pl检测装置，能够采用红外技术对电池片上的裂纹、孔洞、微结晶、杂质和其他硬质点等进行检测；通过设置第一aoi检测装置，能够对电池片上的检测焊点进行扫描，采集图像，与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出电池片上的缺陷；通过设置长边归正装置，可以将电池片在长度方向进行校正，实现对电池片的预定位；通过设置第一顶升旋转装置，能够将电池片水平旋转90°，方便电池片进入p面上下料单元。

4、作为优化，p面上下料单元包括沿输送方向依次设置的定位光电检测装置、短边归正装置、交叉模组、四工位旋转上下料装置和转向装置，交叉模组的上方设有相机定位装置。通过设置定位光电检测装置，可以通过光电传感器对电池片进行检测定位，从而对电池片的前后位置进行补偿；通过设置短边归正装置，可以将电池片在宽度方向进行校正，实现对电池片的预定位；通过设置交叉模组，能够交叉从输送带上进行取片，电池片脱离皮带面并到达预设的高度后，由相机定位装置进行拍照，对电池片位置进一步校正；通过设置四工位旋转上下料装置，能够四工位协调作业，实现曝光机本体的上下料的同时进行，且上下料精度高，满足上下料要求；通过设置转向装置，能够使电池片的前进方向发生90°改变，方便进入中端调整检测单元。

5、作为优化，中端调整检测单元包括沿输送方向依次设置的第一ng剔除装置、第二顶升旋转装置、长边进翻转装置、第二aoi检测装置。通过设置第一ng剔除装置，能够剔除不合格的电池片；通过设置第二顶升旋转装置，能够将电池片水平旋转90°后送往下一工位；通过设置长边进翻转装置，能够将电池片翻转180°后送向下一工位；通过设置第二aoi检测装置，能够对翻转后的电池片焊点进行扫描，采集图像，与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出电池片上的缺陷，并剔除不合格的电池片。

6、作为优化，n面上下料单元与p面上下料单元完全相同。

7、作为优化，后端检测单元包括沿输送方向依次设置的第二ng剔除装置和第三aoi检测装置。通过设置第二ng剔除装置，能够剔除不合格的电池片；通过设置第三aoi检测装置，能够对n面曝光后的电池片进行扫描，采集图像，与数据库中的合格的参数进行比较，经过图像处理，检查出电池片上的缺陷，并剔除不合格的电池片。

8、作为优化，交叉模组包括模组主体，模组主体的两侧均设有滑动装置，滑动装置的滑块上设有升降装置，升降装置升降端的顶部载平台上设有高精密多轴纠偏平台。通过设置模组主体，能够搭载滑动装置和升降装置；通过设置滑动装置，能够使水平移动升降装置，从而带动高精密多轴纠偏平台在短边归正装置和四工位旋转上下料装置之间水平移动，进行送料和复位；通过设置升降装置，能够升降高精密多轴纠偏平台，使高精密多轴纠偏平台可以从短边归正装置上进行取片，并将电池片升至预设的高度，方便相机定位装置上的高精度工业ccd相机对电池片进行拍照定位；通过设置高精密多轴纠偏平台，能够根据相机定位装置传输的电池片位置数据，可以对电池片的位置进行最后纠正，满足曝光机本体对上料的高精度要求。

9、与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

10、通过设置前端调整检测单元，能够在曝光前对电池片进行检测，从而剔除不合格的电池片，并对合格电池片进行归正和转向，方便进入p面上下料单元；通过设置p面上下料单元，能够进一步对电池片进行定位和归正，并将合格电池片上料至曝光机本体对电池片进行p面曝光，还能将p面曝光结束的电池片从曝光机本体下料位重新转移至输送机上，进入中端调整检测单元；通过设置中端调整检测单元，能够对p面曝光后的电池片进行位置调整以及质量检测，将p面曝光不合格的电池片进行剔除，并将电池片送至n面上下料单元；通过设置n面上下料单元，能够进一步对电池片进行定位和归正，并将电池片上料至曝光机本体对电池片进行n面曝光，还能将n面曝光结束的电池片从曝光机本体下料位重新转移至输送机上，进入后端检测单元；通过设置后端检测单元，能够检测n面曝光后的电池片进行检测，并将n面曝光不合格的电池片进行剔除；通过设置多重检查装置，能够保证曝光后的电池片质量合格。本实用新型既能代替人工进行电池片的上下料，又可保证上料精度以及精准筛选并剔除不合格电池片，有效提高了生产效率以及产品的合格率。

技术特征：

1.一种用于曝光机的电池片上下料装置，包括两组曝光机本体(1)，其特征是：还包括p面上下料单元(3)和n面上下料单元(5)，p面上下料单元(3)的进料端设有前端调整检测单元(2)，p面上下料单元(3)的出料端通过中端调整检测单元(4)与n面上下料单元(5)的进料端连接，n面上下料单元(5)的出料端设有后端检测单元(6)，p面上下料单元(3)的一侧与一组曝光机本体(1)连接，n面上下料单元(5)的一侧与另一组曝光机本体(1)连接。

2.根据权利要求1所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：前端调整检测单元(2)包括沿输送方向依次设置的pl检测装置(7)、第一aoi检测装置(8)、长边归正装置(9)和第一顶升旋转装置(10)。

3.根据权利要求2所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：p面上下料单元(3)包括沿输送方向依次设置的定位光电检测装置(11)、短边归正装置(12)、交叉模组(13)、四工位旋转上下料装置(14)和转向装置(15)，交叉模组(13)的上方设有相机定位装置(16)。

4.根据权利要求3所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：中端调整检测单元(4)包括沿输送方向依次设置的第一ng剔除装置(17)、第二顶升旋转装置(18)、长边进翻转装置(19)、第二aoi检测装置(20)。

5.根据权利要求4所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：n面上下料单元(5)与p面上下料单元(3)完全相同。

6.根据权利要求5所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：后端检测单元(6)包括沿输送方向依次设置的第二ng剔除装置(21)和第三aoi检测装置(22)。

7.根据权利要求1～6任一项所述的用于曝光机的电池片上下料装置，其特征是：交叉模组(13)包括模组主体(131)，模组主体(131)的两侧均设有滑动装置(132)，滑动装置(132)的滑块上设有升降装置(133)，升降装置(133)升降端的顶部载平台上设有高精密多轴纠偏平台(134)。

技术总结
本技术涉及曝光机设备技术领域，公开了一种用于曝光机的电池片上下料装置，包括两组曝光机本体，还包括P面上下料单元和N面上下料单元，P面上下料单元的进料端设有前端调整检测单元，P面上下料单元的出料端通过中端调整检测单元与N面上下料单元的进料端连接，N面上下料单元的出料端设有后端检测单元，P面上下料单元的一侧与一组曝光机本体连接，N面上下料单元的一侧与另一组曝光机本体连接。本技术既能代替人工进行电池片的上下料，又可保证上料精度以及精准筛选并剔除不合格电池片，有效提高了生产效率以及产品的合格率。

技术研发人员：吴滨,巩喜然,高国伟
受保护的技术使用者：苏州沃特维自动化系统有限公司
技术研发日：20231229
技术公布日：2024/12/17