一种照明系统远心度补偿方法及补偿装置与流程

本发明涉及曝光装置，具体涉及一种照明系统远心度补偿方法及补偿装置。

背景技术：

1、随着cd(集成电路芯片最小特征线宽)尺寸减小，曝光装置曝光波长越来越短，波长缩短导致材料透过率降低，从而对曝光系统引入一些影响，如整体透过率降低，远心度增大等。

技术实现思路

1、针对短波长曝光下，因吸收能量所引起的能量偏差，能量偏差引起远心度增大的问题，本申请提供一种照明系统远心度补偿方法及补偿装置，通过调整聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形，使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移，通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿。

2、本发明提供的技术方案如下：

3、本发明提供一种照明系统远心度补偿方法，包括步骤：

4、根据待补偿的远心度调整聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形，调整后的面形使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移；

5、将聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形制作为调整后的面形，以通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿。

6、进一步优选地，所述能量偏差为聚焦镜组在深紫外波段范围内吸收能量所引起的能量偏差。

7、进一步优选地，采用角度分布质心计算方式对待补偿的远心度进行计算，具体为：

8、

9、其中，θc为远心度，θi为角度采样，e(θi)为θi处的能量。

10、进一步优选地，所述聚焦镜组沿光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，所述第六透镜为两面均为平面的平板玻璃。

11、进一步优选地，将所述第六透镜的一个平面调整为曲面，调整后的曲面使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移。

12、进一步优选地，将所述第六透镜的一个平面调整为球面。

13、进一步优选地，将所述第六透镜的一个平面调整为柱面。

14、进一步优选地，将所述第六透镜的一个平面调整为非球面。

15、进一步优选地，所述第一透镜为弯月透镜，所述第二透镜为双凸透镜，所述第三透镜为平凸透镜，所述第四透镜为弯月透镜，所述第五透镜为弯月透镜。

16、本发明还提供一种照明系统远心度补偿装置，包括聚焦镜组，所述聚焦镜组沿光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，所述第六透镜的一面为平面，另一面为根据待补偿的远心度进行调整所获得的曲面，所述曲面使所述聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移，以通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿；所述能量偏差为聚焦镜组在深紫外波段范围内吸收能量所引起的能量偏差。

17、通过本发明提供的照明系统远心度补偿方法及补偿装置，通过调整聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形，使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移，通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿。

技术特征：

1.一种照明系统远心度补偿方法，其特征在于，包括步骤：

2.如权利要求1所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，所述能量偏差为聚焦镜组在深紫外波段范围内吸收能量所引起的能量偏差。

3.如权利要求1所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，采用角度分布质心计算方式对待补偿的远心度进行计算，具体为：

4.如权利要求1-3任一项所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，所述聚焦镜组沿光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，所述第六透镜为两面均为平面的平板玻璃。

5.如权利要求4所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，将所述第六透镜的一个平面调整为曲面，调整后的曲面使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移。

6.如权利要求5所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，将所述第六透镜的一个平面调整为球面。

7.如权利要求5所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，将所述第六透镜的一个平面调整为柱面。

8.如权利要求5所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，将所述第六透镜的一个平面调整为非球面。

9.如权利要求4所述的照明系统远心度补偿方法，其特征在于，所述第一透镜为弯月透镜，所述第二透镜为双凸透镜，所述第三透镜为平凸透镜，所述第四透镜为弯月透镜，所述第五透镜为弯月透镜。

10.一种照明系统远心度补偿装置，其特征在于，包括聚焦镜组，所述聚焦镜组沿光轴方向依次包括第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜和第六透镜，所述第六透镜的一面为平面，另一面为根据待补偿的远心度进行调整所获得的曲面，所述曲面使所述聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移，以通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿；所述能量偏差为聚焦镜组在深紫外波段范围内吸收能量所引起的能量偏差。

技术总结
一种照明系统远心度补偿方法及补偿装置，补偿方法包括步骤：根据待补偿的远心度调整聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形，调整后的面形使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移；将聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形制作为调整后的面形，以通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿。通过调整聚焦镜组中最后一片镜片的任一面的面形，使聚焦镜组后焦面同一位置处对称光线入射角度位置发生偏移，通过对称光线入射角度位置的偏移来补偿吸收能量偏差，从而对能量偏差引起的远心度进行补偿。

技术研发人员：王莹,辛保云,张方
受保护的技术使用者：上海镭望光学科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/11