双台面曝光机的制作方法

本申请涉及曝光机，尤其涉及一种双台面曝光机。

背景技术：

1、随着科技的发展，在工业生产中对产品的生产精度要求越来越高。

2、在传统的曝光机中，控制器通常是固定安装于机架的。而由于控制器的散热量较大，因此若将控制器固定于曝光机的某个固定位置，则会导致曝光机受热不均匀，从而导致曝光机产生不均匀的形变，导致曝光机的精度降低。而且由于曝光头在工作中过程中需要移动，因此若将控制器固定于曝光机的某个固定位置，不仅会导致曝光头光纤的长度过长，从而导致光信号在传播过程中能量损耗大，进一步增大控制器的发热量，进而降低曝光机的精度，而且还会导致光纤反复折弯，进而导致光纤与曝光头的连接处产生松动，进而导致光纤传输中断降低曝光机的可靠性。光纤反复折弯还会降低光纤的使用寿命并影响光纤传递光信号的精度。并且曝光机对产品的定位精度较高，对于不同型号的待曝光件，曝光机的定位基准不一样，因此当对待曝光件进行唤醒时，也要调整对待曝光件的定位结构，这样比较效率低，而且难以保证定位精度，进而导致曝光机的生产精度降低。

3、可见，如何保证曝光机精度及可靠性是亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本申请提供的一种双台面曝光机，旨在解决现有技术中如何保证曝光机精度及可靠性的技术问题。

2、本申请提供的一种双台面曝光机，包括：

3、至少两个装载机构，所述装载机构用于装载待曝光件，所述装载机构并排布置；

4、曝光机构，所述曝光机构用于对所述待曝光件进行曝光；

5、控制器，所述控制器用于控制所述曝光机构；

6、移动机构，所述移动机构用于带动所述曝光机构移动；

7、其中，所述控制器随所述曝光机构在至少一个移动方向上同步移动。

8、更进一步地，所述移动机构包括：

9、第一移动组件，所述第一移动组件带动所述曝光机构沿第一方向移动；

10、第二移动组件，所述第二移动组件带动所述曝光机构沿第二方向移动；

11、其中，所述第一方向配置为沿所述曝光机构的扫描方向，所述第二方向配置为沿所述曝光机构的出光方向。

12、更进一步地，所述控制器随所述曝光机构在所述第一方向上同步移动。

13、更进一步地，所述第一移动组件包括：

14、第一基座；

15、第一驱动组件，所述第一驱动组件安装于所述第一基座，所述第一驱动组件沿所述曝光机构的扫描方向布置；

16、第一直线导轨组件，所述第一直线导轨组件的数量至少为两个，所述第一直线导轨组件安装于所述第一基座，所述第一直线导轨组件与所述第一驱动组件平行布置；

17、第一安装座，所述第一安装座安装于所述第一驱动组件的动力输出端，所述第一安装座与所有所述第一直线导轨组件相连，所述第一直线导轨组件对所述第一安装座进行导向；

18、其中，所述第二移动组件和所述控制器均安装于所述第一安装座；

19、所述曝光机构安装于所述第二移动组件的动力输出端。

20、更进一步地，所述移动机构还包括导向装置，所述导向装置包括：

21、第二基座，所述第二基座与所述第一基座平行布置，所述第二基座与所述第一基座分别位于所述曝光机构的两侧；

22、第二驱动组件，所述第二驱动组件安装于所述第二基座，所述第二驱动组件与所述第一驱动组件平行布置，所述第二驱动组件与所述第一驱动组件同步运行；

23、第二直线导轨组件，所述第二直线导轨组件安装于所述第二基座，所述第二直线导轨组件与所述第一直线导轨组件平行布置；

24、第二安装座，所述第二安装座安装于所述第二直线导轨组件；

25、第三直线导轨组件，所述第三直线导轨组件安装于所述第二安装座，所述第三直线导轨组件平行于所述第二移动组件，所述第三直线导轨组件与所述曝光机构相连。

26、更进一步地，本申请提供的一种双台面曝光机还包括：

27、液冷系统，所述液冷系统用于冷却所述控制器。

28、更进一步地，本申请提供的一种双台面曝光机还包括：

29、机罩，所述机罩至少罩设于所述曝光机构和所述控制器；

30、风冷系统，所述风冷系统用于使所述机罩内部空间降温。

31、更进一步地，所述机罩设置有进风口和出风口，所述进风口高度高于所述控制器高度，所述出风口高度低于所述控制器高度。

32、更进一步地，所述曝光机构包括：

33、安装支架，所述安装支架安装于所述移动机构；

34、曝光头，所述曝光头固定安装于所述安装支架；

35、检测装置，所述检测装置用于检测所述曝光头的倾斜角度。

36、更进一步地，其特征在于，所述检测装置包括：

37、悬挂支架，所述悬挂支架固定安装于所述安装支架；

38、触点支架，所述触点支架的内壁为半球形，所述触点支架不具有导电性，所述触点支架的内壁的经纬线处设置有多个触点件；

39、悬挂绳，所述悬挂绳的第一端部安装于所述悬挂支架，所述第一端部与所述触点支架的球心重合，所述悬挂绳具有导电性；

40、配重球，所述配重球安装于所述悬挂绳的第二端部，所述配重球具有导电性；

41、运算单元，所述运算单元与所述悬挂绳、所述配重球以及所述触点件相连；

42、其中，所述曝光头的光轴处于竖直状态时，所述悬挂绳的中心线与所述曝光头的光轴共线；

43、所述悬挂绳处于绷直状态时，所述配重球与所述触点支架的内壁相切，所述配重球接触所述触点件后触发所述触点件；

44、所述运算单元被配置为根据被触发的触点件的编号计算所述曝光头的倾斜角度。

45、本申请所达到的有益效果是：

46、本申请提出的一种双台面曝光机，通过至少两个装载机构分别对待曝光件进行装载，进而使一台曝光机能同时对多个待曝光件进行曝光操作。通过使控制器随曝光机构同步移动，进而减小控制器与曝光机构之间的距离，进而减小光纤的长度，从而降低光源在传播过程中的光损，降低控制器的功率，进而降低控制器的发热量，从而降低曝光机因受热产生形变的风险。通过使控制器随曝光机构同步移动，进而避免控制器散发的热量对曝光机的局部加热，从而使曝光机的受热更加均匀，进而降低曝光机产生热形变的风险。通过使控制器随曝光机构同步移动，从而避免控制器与曝光机构产生相对移动，从而降低光纤与曝光机构及控制器连接处产生松动的风险，进而提高曝光机的可靠性。如此，通过降低控制器的发热量及使控制器随曝光机构同步移动使曝光机散热更加均匀，进而降低曝光机产生热形变的风险，进而避免曝光机因产生热形变而降低曝光机的精度。如此，保证曝光机精度及可靠性。

技术特征：

1.一种双台面曝光机，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，所述移动机构包括：

3.根据权利要求2所述的双台面曝光机，其特征在于，所述控制器随所述曝光机构在所述第一方向上同步移动。

4.根据权利要求2所述的双台面曝光机，其特征在于，所述第一移动组件包括：

5.根据权利要求4所述的双台面曝光机，其特征在于，所述移动机构还包括导向装置，所述导向装置包括：

6.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，还包括：

8.根据权利要求7所述的双台面曝光机，其特征在于，所述机罩设置有进风口和出风口，所述进风口高度高于所述控制器高度，所述出风口高度低于所述控制器高度。

9.根据权利要求1所述的双台面曝光机，其特征在于，所述曝光机构包括：

10.根据权利要求9所述的双台面曝光机，其特征在于，所述检测装置包括：

技术总结
本申请涉及曝光机技术领域，尤其涉及一种双台面曝光机。通过至少两个装载机构分别对待曝光件进行装载，进而使一台曝光机能同时对多个待曝光件进行曝光操作。通过使控制器随曝光机构同步移动，进而避免控制器散发的热量对曝光机的局部加热，从而使曝光机的受热更加均匀，进而降低曝光机产生热形变的风险，进而避免曝光机因产生热形变而降低曝光机的精度。通过使控制器随曝光机构同步移动，从而避免控制器与曝光机构产生相对移动，从而降低光纤与曝光机构及控制器连接处产生松动的风险，进而提高曝光机的可靠性。如此，保证曝光机精度及可靠性。

技术研发人员：陈志特,王华,冯明瑞
受保护的技术使用者：广东科视光学技术股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/6/23