一种改善金属线端点光刻工艺窗口的OPC方法及装置与流程

本发明涉及光学邻近修正领域，特别是涉及一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法及装置。

背景技术：

1、常规的光学邻近修正（opc修正），会根据修正规则将长线端打断，形成端面线端远小于侧边长度的线端。而在后续根据给定的opc模型进行opc修正的过程中，常规工艺会在线端处造成缩头行为，而为了抵消缩头行为导致的最终得到的掩膜图案对应的版图图案与预设的目标版图图案差距过大，opc对线端处的处理一般是主动向外扩张，以便最终得到的掩膜图案的线端处有更好的光刻工艺窗口，如当线端处没有图形或比较空旷，opc可以根据线端处的缩头行为，尽可能的往外修正，以尽可能减少缩头或者达到没有缩头的目的，但这种情况毕竟是少数，在多数情况下，线端附近还会出现其他线端，而在掩膜版规则的限制下，导致opc在线端处不能正常修正，从而使线端出现较大的缩头，导致光刻工艺较差。

2、相关技术中上述解决问题的方法，就是放宽掩膜版规则的限制，以便线端在opc过程中向外扩展修正，但放松掩膜版规则的限制，会快速提升相邻线端的桥接风险，还是会降低成品的良率。

3、因此，如何在降低线端缩头的同时，满足掩膜版规则的限制，保持成品的高良率，是本领域技术人员亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本发明的目的是提供一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法及装置，以解决现有技术中不能同时兼顾掩膜版规则与较低线端缩头的问题。

2、为解决上述技术问题，本发明提供一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，包括：

3、接收待处理版图；

4、在所述待处理版图中确定待处理线端组；所述待处理线端组包括两个间距不满足掩膜版规则的待调线端，且所述待调线端对应的临边至少包括两个opc分段；

5、根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近opc分段；

6、将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离，得到修正版图；所述修正版图中的临边最近opc分段的位置不能移动。

7、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，在将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离之前，还包括：

8、将所述待处理版图进行opc处理，得到所述待调线端的缩头值；

9、根据两个所述待调线端的缩头值及线端长度，确定各个所述待调线端对应的调整距离。

10、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，所述根据两个所述待调线端的缩头值及线端长度，确定各个所述待调线端对应的调整距离包括：

11、根据下式，确定各个所述待调线端对应的调整距离：

12、d=a*l+b*s；

13、其中，d表示所述调整距离，l表示所述线端长度，s表示所述缩头值，a表示第一系数，b表示第二系数。

14、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，所述将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离包括：

15、将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动预设的调整距离。

16、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，所述将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离包括：

17、将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动相同的调整距离。

18、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，所述临边最近opc分段对应的边与所述待调线端垂直。

19、可选地，在所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法中，所述根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近opc分段包括：

20、根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的两个临边；

21、计算对应同一个所述待调线端的两个临边与同一所述待处理线端组内的另一个待调线端的距离；

22、确定到同一所述待处理线端组内的另一个待调线端的距离最近的临边为目标临边；

23、确定所述目标临边上最靠近对应的待调线端的opc分段为所述临边最近opc分段。

24、一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc装置，包括：

25、接收模块，用于接收待处理版图；

26、寻端模块，用于在所述待处理版图中确定待处理线端组；所述待处理线端组包括两个间距不满足掩膜版规则的待调线端，且所述待调线端对应的临边至少包括两个opc分段；

27、opc分段模块，用于根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近opc分段；

28、移动模块，用于将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离，得到修正版图；所述修正版图中的临边最近opc分段的位置不能移动。

29、一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc设备，包括：

30、存储器，用于存储计算机程序；

31、处理器，用于执行所述计算机程序时实现如上述任一种所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法的步骤。

32、一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如上述任一种所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法的步骤。

33、本发明所提供的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，通过接收待处理版图；在所述待处理版图中确定待处理线端组；所述待处理线端组包括两个间距不满足掩膜版规则的待调线端，且所述待调线端对应的临边至少包括两个opc分段；根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近opc分段；将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离，得到修正版图；所述修正版图中的临边最近opc分段的位置不能移动。

34、本发明中，在确定待调线端之后，分别将两待调线端最靠近对面的待调线端的opc分段向图形内方向移动，在线端无需缩头的情况下，实现两线端角对角的间距增加，满足了掩膜版规则的限制，也即保障了高良品率。本发明同时还提供了一种具有上述有益效果的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc装置、设备及计算机可读存储介质。

技术特征：

1.一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，在将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离之前，还包括：

3.如权利要求2所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，所述根据两个所述待调线端的缩头值及线端长度，确定各个所述待调线端对应的调整距离包括：

4.如权利要求1所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，所述将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离包括：

5.如权利要求1所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，所述将所述临边最近opc分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离包括：

6.如权利要求1所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，所述临边最近opc分段对应的边与所述待调线端垂直。

7.如权利要求1至6所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法，其特征在于，所述根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近opc分段包括：

8.一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc装置，其特征在于，包括：

9.一种改善金属线端点光刻工艺窗口的opc设备，其特征在于，包括：

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的改善金属线端点光刻工艺窗口的opc方法的步骤。

技术总结
本发明涉及光学邻近修正领域，特别是涉及一种改善金属线端点光刻工艺窗口的OPC方法及装置，通过接收待处理版图；在所述待处理版图中确定待处理线端组；所述待处理线端组包括两个间距不满足掩膜版规则的待调线端，且所述待调线端对应的临边至少包括两个OPC分段；根据所述待处理线端组确定两个所述待调线端各自对应的临边最近OPC分段；将所述临边最近OPC分段向对应的待调线端的图形内方向分别移动对应的调整距离，得到修正版图；所述修正版图中的临边最近OPC分段的位置不能移动。本发明分别将两待调线端最靠近对面的待调线端的OPC分段向图形内方向移动，实现两线端角对角的间距增加，满足了掩膜版规则的限制。

技术研发人员：吴青
受保护的技术使用者：华芯程（杭州）科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/7/15