AMOLED领域用水性光刻胶剥离液及其制备方法与流程

本发明涉及剥离液，特别是涉及一种amoled领域用水性光刻胶剥离液及其制备方法。

背景技术：

1、在全球显示技术领域的快速进步中，主动矩阵有机发光二极管(amoled)显示器作为一种领先的显示技术，正逐渐成为市场的主流。amoled显示器以其卓越的色彩表现、高对比度、快速响应时间和低功耗等特点，在智能手机、电视、笔记本电脑以及其他可穿戴设备和便携式电子产品中得到广泛应用。

2、随着科技的发展，剥离液在amoled领域需求量越来越大，技术水平要求越来越高。传统的剥离液对微电路上金属银或介质层会造成腐蚀，导致最终制成的半导体器件性能降低，无法满足高分辨率的要求。

3、因此，开发一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，剥膜速度快，对金属银无腐蚀，剥离后无光刻胶残留，是本发明亟需解决的问题。

技术实现思路

1、针对现有技术的不足，本发明提供了一种amoled领域用水性光刻胶剥离液及其制备方法。本发明的剥离液成分稳定，剥膜速度快，对金属银无腐蚀，操作简便，适应多种设备，工艺宽容度大，不含氟化物，生物可降解，水溶性好，产品可直接水洗，综合效益高。

2、本发明为实现上述目的，采取以下技术方案予以实现：

3、一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，包括按质量百分比计的以下成分：

4、

5、

6、优选地，所述2,2-二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚的金属离子均不高于100ppt。

7、更优选地，所述2,2-二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚均采用工业级原料经双塔蒸馏降低金属离子至100ppt。

8、优选地，所述金属保护剂为甲巯咪唑、水溶性咪唑啉、2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇、羧甲基纤维素钠、溴代十六烷基吡啶、山梨酸钾、氮氧自由基哌啶醇中的一种或组合。

9、优选地，所述金属保护剂通过以下步骤制备而成：在净化空间内，室温加入纯水、二乙醇胺搅拌20分钟，然后开启蒸汽，将温度升至65℃，加入水溶性咪唑啉和溴代十六烷基吡啶搅拌3小时，关闭蒸汽，开启冷却水将反应釜温度降至30℃，加入2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇，搅拌30分钟；

10、其中，纯水、二乙醇胺、水溶性咪唑啉、溴代十六烷基吡啶、2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇的质量比为5:3:0.5:(0.2-0.4):(0.19-0.33)。

11、更优选地，所述纯水、二乙醇胺、水溶性咪唑啉、溴代十六烷基吡啶、2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇的质量比为5:3:0.5:0.2:0.19。

12、优选地，所述表面活性剂为甘油、聚乙二醇、脂肪醇聚氧乙烯醚、硬脂酸单甘油酯、月桂酸、二辛基琥珀酸磺酸钠、乙撑基双硬脂酰胺中的一种或组合。

13、优选地，所述表面活性剂通过以下步骤制备而成：在净化空间内，室温条件下，将甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚混合后，搅拌1小时；其中，甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚的质量比为8:(2.0-4.5):(0.6-0.8):(0.12-0.22)。

14、更优选地，所述甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚的质量比为：8:2:0.6:0.12。

15、本发明的另一目的在于公开上述一种amoled领域用水性光刻胶剥离液的制备方法，包括以下步骤：

16、(1)在净化空间内加入纯水、2,2-二羟甲基丙酸、二乙醇胺，搅拌30分钟，

17、(2)接着加入二乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚，搅拌30分钟；

18、(3)最后加入金属保护剂和表面活性剂，搅拌2小时，取样检测含量及金属离子，合格后经过3级过滤器循环过滤2小时，取样检测颗粒，合格后分装制得目标产品。

19、与现有技术相比，本发明具备以下有益效果：

20、本发明的剥离液将原材料2,2-二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚通过双塔蒸馏降低金属离子至100ppt。成品配置过程中采用3级过滤模式去除颗粒，在百级净化空间内，使用全自动分装系统，排除污染可能性，使得剥离液生产过程中的金属杂质及颗粒度得到控制。

21、本发明的剥离液采用合适的金属保护剂，剥离的过程中在金属表面生成一层氧化膜，阻止其对金属层的腐蚀，实现剥离过程中对金属银的保护。

22、本发明的剥离液采用合适的表面活性剂，降低表面张力，增加溶液的渗透性，解决光刻胶残留问题。

技术特征：

1.一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，包括按质量百分比计的以下成分：

2.根据权利要求1所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述2,2-二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚的金属离子均不高于100ppt。

3.根据权利要求2所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述2,2-二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚均采用工业级原料经双塔蒸馏降低金属离子至100ppt。

4.根据权利要求1所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述金属保护剂为甲巯咪唑、水溶性咪唑啉、2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇、羧甲基纤维素钠、溴代十六烷基吡啶、山梨酸钾、氮氧自由基哌啶醇中的一种或组合。

5.根据权利要求4所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述金属保护剂通过以下步骤制备而成：在净化空间内，室温加入纯水、二乙醇胺搅拌20分钟，然后开启蒸汽，将温度升至65℃，加入水溶性咪唑啉和溴代十六烷基吡啶搅拌3小时，关闭蒸汽，开启冷却水将反应釜温度降至30℃，加入2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇，搅拌30分钟；

6.根据权利要求5所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述纯水、二乙醇胺、水溶性咪唑啉、溴代十六烷基吡啶、2,2'-[[(甲基-1h-苯并三氮唑-1-基)甲基]氨基]双乙醇的质量比为5:3:0.5:0.2:0.19。

7.根据权利要求1所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述表面活性剂为甘油、聚乙二醇、脂肪醇聚氧乙烯醚、硬脂酸单甘油酯、月桂酸、二辛基琥珀酸磺酸钠、乙撑基双硬脂酰胺中的一种或组合。

8.根据权利要求7所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述表面活性剂通过以下步骤制备而成：在净化空间内，室温条件下，将甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚混合后，搅拌1小时；其中，甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚的质量比为8:(2.0-4.5):(0.6-0.8):(0.12-0.22)。

9.根据权利要求8所述的一种amoled领域用水性光刻胶剥离液，其特征在于，所述甘油、聚乙二醇、月桂酸、脂肪醇聚氧乙烯醚的质量比为：8:2:0.6:0.12。

10.如权利要求1-7任一项所述一种amoled领域用水性光刻胶剥离液的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及剥离液技术领域，公开一种AMOLED领域用水性光刻胶剥离液，包括按质量百分比计的以下成分：2,2‑二羟甲基丙酸15‑20％，二乙二醇丁醚25‑30％，二乙二醇甲醚8‑10％，二乙醇胺5‑8％，金属保护剂1.5‑3％，表面活性剂0.5‑1％，纯水余量。本发明的剥离液将原材料2,2‑二羟甲基丙酸、二乙二醇甲醚、二乙二醇丁醚通过双塔蒸馏降低金属离子至100ppt，排除污染可能性，使得剥离液生产过程中的金属杂质及颗粒度得到控制。本发明采用合适的金属保护剂和表面活性剂，实现剥离过程中对金属银的保护，并且降低表面张力，增加溶液的渗透性，解决光刻胶残留问题。

技术研发人员：王润杰,许朱男,颜禧历
受保护的技术使用者：苏州博洋化学股份有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/1/13