光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质与流程

本申请涉及光刻机，特别涉及一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质。

背景技术：

1、光刻机中的曝光系统是光刻过程中的核心部分，其主要作用是将掩模上的图案精确地转移到硅片上的光刻胶上。

2、现有技术中，为了确保曝光系统中控制版卡与传感器之间信号传输的准确性和实时性至关重要，往往采用离线标定方法进行补偿。

3、但由于离线标定方法比较简单，因此，无法进行实时补偿，适用性较差。

技术实现思路

1、本申请的目的在于，针对上述现有技术中的不足，提供一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质，可以在曝光系统中实现动态补偿，提高曝光系统的稳定性和可靠性。

2、为实现上述目的，本申请实施例采用的技术方案如下：

3、第一方面，本发明提供一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法，应用于曝光剂量控制单元，所述曝光剂量控制单元与前端模块通信连接，所述前端模块与光源模块通信连接，且所述前端模块设置有光强探测器，所述方法包括：

4、接收前端模块发送的光强探测器感应的光强信号；

5、根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，所述补偿参数包括下述至少一种：电压补偿参数、时间补偿参数，所述电压补偿参数，用于表征所述曝光剂量控制单元和所述前端模块之间传输线路的压降，所述时间补偿参数，用于表征所述曝光剂量控制单元和所述前端模块之间传输线路的传输延时；

6、根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令，以使所述前端模块根据所述调节指令调节所述光源模块的光源强度和/或曝光时间。

7、在可选的实施方式中，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令，包括：

8、根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，计算所述光强信号对应的目标曝光剂量；

9、根据所述目标曝光剂量与预设曝光剂量，向所述前端模块发送调节指令。

10、在可选的实施方式中，所述补偿参数包括：电压补偿参数，所述根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，包括：

11、基于第一探测频率，向所述前端模块发送第一探测电压信号；

12、接收所述前端模块根据所述第一探测电压信号发送的第二探测电压信号；

13、计算所述第一探测电压信号和所述第二探测电压信号之间的电压差值作为所述电压补偿参数。

14、在可选的实施方式中，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，计算所述光强信号对应的目标曝光剂量，包括：

15、获取所述光强信号对应的初始电压值；

16、根据所述初始电压值和所述电压补偿参数，计算目标电压值；

17、根据所述目标电压值，计算所述光强信号对应的目标曝光剂量。

18、在可选的实施方式中，所述补偿参数包括：时间补偿参数，所述根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，包括：

19、基于第二探测频率，向所述前端模块发送第一探测脉冲信号，并记录所述第一探测脉冲信号的第一发送时间；

20、接收所述前端模块根据所述第一探测脉冲信号发送的第二探测脉冲信号，并记录所述第二探测脉冲信号的第二接收时间；

21、接收所述前端模块发送的所述光强探测器根据所述第一探测脉冲信号感应的光强信号，并记录所述光强信号对应的第三接收时间；

22、根据所述第一发送时间、所述第二接收时间以及所述第三接收时间，确定所述时间补偿参数。

23、在可选的实施方式中，所述根据所述第一发送时间、所述第二接收时间以及所述第三接收时间，确定所述时间补偿参数，包括：

24、根据所述第一发送时间和所述第二接收时间，计算第一时间差值；

25、根据所述第二接收时间和所述第三接收时间，计算第二时间差值；

26、根据所述第一时间差值和所述第二时间差值，确定所述时间补偿参数。

27、在可选的实施方式中，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令，包括：

28、获取所述光强信号对应的初始曝光剂量；

29、根据所述初始曝光剂量和所述时间补偿参数，计算目标曝光剂量；

30、根据所述目标曝光剂量和预设曝光剂量，向所述前端模块发送调节指令。

31、第二方面，本发明提供一种光刻机，包括：曝光剂量控制单元、前端模块以及光源模块，所述曝光剂量控制单元与前端模块通信连接，所述前端模块与光源模块通信连接，且所述前端模块设置有光强探测器；

32、所述前端模块，用于获取所述光强探测器感应的光强信号并发送给所述曝光剂量控制单元；

33、所述曝光剂量控制单元，用于根据所述光强信号，根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，所述补偿参数包括下述至少一种：电压补偿参数、时间补偿参数，所述电压补偿参数，用于表征所述曝光剂量控制单元和所述前端模块之间传输线路的压降，所述时间补偿参数，用于所述曝光剂量控制单元和所述前端模块之间传输线路的传输延时；根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令；

34、所述光源模块，用于根据所述调节指令调节光源强度和/或曝光时间。

35、第三方面，本发明提供一种电子设备，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如前述实施方式任一所述光刻机中曝光系统的动态补偿方法的步骤。

36、第四方面，本发明提供一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如前述实施方式任一所述光刻机中曝光系统的动态补偿方法的步骤。

37、本申请的有益效果是：

38、本申请实施例提供的光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质中，该方法应用于曝光剂量控制单元，曝光剂量控制单元与前端模块通信连接，前端模块与光源模块通信连接，且前端模块设置有光强探测器，该方法包括：接收前端模块发送的光强探测器感应的光强信号；根据预设补偿算法获取光强信号对应的补偿参数，补偿参数包括下述至少一种：电压补偿参数、时间补偿参数，电压补偿参数，用于表征曝光剂量控制单元和前端模块之间传输线路的压降，时间补偿参数，用于表征曝光剂量控制单元和前端模块之间传输线路的传输延时；根据光强信号和光强信号对应的补偿参数，向前端模块发送调节指令，以使前端模块根据调节指令调节光源模块的光源强度和/或曝光时间，可以在曝光系统中实现动态补偿，使得实际曝光更加符合预期设计要求，从而提高最终产品的质量，提高曝光系统的稳定性和可靠性。

技术特征：

1.一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法，其特征在于，应用于曝光剂量控制单元，所述曝光剂量控制单元与前端模块通信连接，所述前端模块与光源模块通信连接，且所述前端模块设置有光强探测器，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令，包括：

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述补偿参数包括：电压补偿参数，所述根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，包括：

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，计算所述光强信号对应的目标曝光剂量，包括：

5.根据权利要求1或3所述的方法，其特征在于，所述补偿参数包括：时间补偿参数，所述根据预设补偿算法获取所述光强信号对应的补偿参数，包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述第一发送时间、所述第二接收时间以及所述第三接收时间，确定所述时间补偿参数，包括：

7.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述根据所述光强信号和所述光强信号对应的补偿参数，向所述前端模块发送调节指令，包括：

8.一种光刻机，其特征在于，包括：曝光剂量控制单元、前端模块以及光源模块，所述曝光剂量控制单元与前端模块通信连接，所述前端模块与光源模块通信连接，且所述前端模块设置有光强探测器；

9.一种电子设备，其特征在于，包括：处理器、存储介质和总线，所述存储介质存储有所述处理器可执行的机器可读指令，当电子设备运行时，所述处理器与所述存储介质之间通过总线通信，所述处理器执行所述机器可读指令，以执行如权利要求1-7任一所述光刻机中曝光系统的动态补偿方法的步骤。

10.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器运行时执行如权利要求1-7任一所述光刻机中曝光系统的动态补偿方法的步骤。

技术总结
本申请提供一种光刻机中曝光系统的动态补偿方法、光刻机、设备及介质，涉及光刻机技术领域。该方法包括：接收前端模块发送的光强探测器感应的光强信号；根据预设补偿算法获取光强信号对应的补偿参数，补偿参数包括下述至少一种：电压补偿参数、时间补偿参数；根据光强信号和光强信号对应的补偿参数，向前端模块发送调节指令，以使前端模块根据调节指令调节光源模块的光源强度和/或曝光时间，可以在曝光系统中实现动态补偿，使得实际曝光更加符合预期设计要求，从而提高最终产品的质量，提高曝光系统的稳定性和可靠性。

技术研发人员：张琪,符友银,靳雪仪,陈钰思阳
受保护的技术使用者：上海新毅东半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/3/3