一种双路线传感器自动对焦系统的制作方法

本发明涉及半导体，具体为一种双路线传感器自动对焦系统。

背景技术：

1、目前针对制程上的缺陷高精度，对焦方式皆多是使用低单价、点状红外光制造对焦光路，其缺点是物镜反射至感应传感器区域只有唯一一个点状作标准去分辨焦聚，光斑及光晕不稳定性多与光衰不稳误判有关，且对于多层次的工艺制程，取图上可能会有问题发生，而且单线感应传感器红外反射换算方式反映时间误差大，景深差异也大；如图1所示的目前市面点状与单线红外对焦系统，虽然价格低，但是针对晶圆堆层或其它堆产品堆层制程工艺，取像2d缺陷种类高度落差很大，高速取像中针对断捱式高低落差表面时会误判与软件系统掉线停机不稳，对焦效果差。

技术实现思路

1、为了解决上述技术问题，本发明提供了一种双路线传感器自动对焦系统，其能够使追焦动作顺畅，提高对焦效率，拍摄清楚不歪斜的照片。

2、其技术方案是这样的：一种双路线传感器自动对焦系统，其特征在于，其包括光源、条纹状图案、反射镜、半反射镜、透镜、分束器、光路差分系统、线传感器、取像装置；对焦过程为：光源照射条纹状图案，经过反射镜、半反射镜、透镜后透射到物体上，物体的图形经过透镜、半反射镜、成像镜头、分束器后分成两路，一路直接进入取像装置，另一路经过光路差分系统再次分成两路，一路经过线传感器a使光聚焦于线传感器a的前侧，另一路经过线传感器b使光聚焦于线传感器b的后侧，线传感器a和线传感器b将信号送至对焦控制器，对焦控制器以线传感器a的信号和线传感器b的信号强度相等作为准焦信号，对焦控制器持续控制驱动器调整镜头与观察物体的距离从而调节光路距离，维持准焦信号状态。

3、采用本发明后，利用线传感器a和线传感器b去对前后位置，持续控制驱动器调整光路距离来维持准焦信号状态，在追焦动作中能够实现更顺畅的动作，由于是连续工作，减少了震动造成的影响，提高对焦效率，能够拍摄出清楚不歪斜的照片。

技术特征：

1.一种双路线传感器自动对焦系统，其特征在于，其包括光源、条纹状图案、反射镜、半反射镜、透镜、分束器、光路差分系统、线传感器、取像装置；对焦过程为：光源照射条纹状图案，经过反射镜、半反射镜、透镜后透射到物体上，物体的图形经过透镜、半反射镜、成像镜头、分束器后分成两路，一路直接进入取像装置，另一路经过光路差分系统再次分成两路，一路经过线传感器a使光聚焦于线传感器a的前侧，另一路经过线传感器b使光聚焦于线传感器b的后侧，线传感器a和线传感器b将信号送至对焦控制器，对焦控制器以线传感器a的信号和线传感器b的信号强度相等作为准焦信号，对焦控制器持续控制驱动器调整镜头与观察物体的距离从而调节光路距离，维持准焦信号状态。

技术总结
本发明涉及半导体技术领域，具体为一种双路线传感器自动对焦系统，其能够使追焦动作顺畅，提高对焦效率，拍摄清楚不歪斜的照片，对焦过程为：光源照射条纹状图案，经过反射镜、半反射镜、透镜后透射到物体上，物体的图形经过透镜、半反射镜、成像镜头、分束器后分成两路，一路直接进入取像装置，另一路经过光路差分系统再次分成两路，一路经过线传感器A使光聚焦于线传感器A的前侧，另一路经过线传感器B使光聚焦于线传感器B的后侧，线传感器A和线传感器B将信号送至对焦控制器，对焦控制器以线传感器A的信号和线传感器B的信号强度相等作为准焦信号，对焦控制器持续控制驱动器调整镜头与观察物体的距离从而调节光路距离，维持准焦信号状态。

技术研发人员：林邦羽,黄国梁,翁鑫晶
受保护的技术使用者：立川（无锡）半导体设备有限公司
技术研发日：
技术公布日：2025/2/10