本技术涉及激光整形和匀光系统领域,特别涉及一种激光整形匀光器。
背景技术:
1、高质量激光输出的是轮廓旋转对称的光束,激光功率的径向分布是高斯分布。在一些医疗、加工、焊接、切割、打孔和半导体照明之中,需要平顶的矩形或者椭圆光束,且照明区域的光强均匀。因此需要对高斯激光进行椭圆整形和强度均匀化。高斯光束强度均匀化,目前一些平顶光束整形器,可以实现对激光的平顶化,但是输出的还是旋转对称的光斑,无法满足同时强度匀光和轮廓整形的市场需求。
技术实现思路
1、针对上述存在的问题,本申请提出了一种激光整形匀光器,该装置可以将旋转对称高斯光束转化为强度均匀且轮廓为椭圆形的光束。
2、本实用新型的技术方案是这样实现的:
3、一种激光整形匀光器,沿着激光入射至出射方向,依次包括第一非球面透镜、第二非球面透镜、平凹柱面透镜和平凸柱面透镜;激光整形匀光器的组合焦距f≧100m。
4、进一步地,所述第一非球面透镜和所述第二非球面透镜的组合焦距fab≧100m。
5、进一步地,所述第一非球面透镜和所述第二非球面透镜的表面矢高pv<100um。
6、进一步地,所述平凹柱面透镜和所述平凸柱面透镜的组合焦距fcd≧100m。
7、进一步地,所述第一非球面透镜、所述第二非球面透镜、所述平凹柱面透镜和所述平凸柱面透镜均为熔石英玻璃透镜。
8、本实用新型的有益效果:本实用新型可以将旋转对称高斯光束转化为强度均匀且轮廓为椭圆形的光束,并且光强匀化效果好,工作距离长和长短轴比例大。
1.一种激光整形匀光器,其特征在于:沿着激光入射至出射方向,依次包括第一非球面透镜、第二非球面透镜、平凹柱面透镜和平凸柱面透镜;激光整形匀光器的组合焦距f≧100m。
2.如权利要求1所述的激光整形匀光器,其特征在于:所述第一非球面透镜和所述第二非球面透镜的组合焦距fab≧100m。
3.如权利要求1所述的激光整形匀光器,其特征在于:所述第一非球面透镜和所述第二非球面透镜的表面矢高pv<100um。
4.如权利要求1所述的激光整形匀光器,其特征在于:所述平凹柱面透镜和所述平凸柱面透镜的组合焦距fcd≧100m。
5.如权利要求1所述的激光整形匀光器,其特征在于:所述第一非球面透镜、所述第二非球面透镜、所述平凹柱面透镜和所述平凸柱面透镜均为熔石英玻璃透镜。