感光性树脂组合物、硬化物及其制造方法、树脂图案制造方法、硬化膜、有机el显示装置 ...的制作方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉及一种感光性树脂组合物（以下，有时简称为"本发明的组合物"）。另 外，本发明涉及一种使上述感光性树脂组合物硬化而成的硬化物及其制造方法、使用上述 感光性树脂组合物的树脂图案制造方法、使上述感光性组合物硬化而成的硬化膜、以及使 用上述硬化膜的各种图像显示装置。
[0002] 更详细而言，本发明涉及一种适合于形成液晶显示装置、有机电致发光 (Electroluminescence，EL)显示装置、触摸屏显示装置、集成电路元件、固体摄影元件等的 电子零件的平坦化膜、保护膜或层间绝缘膜的感光性树脂组合物、及使用其的硬化膜的制 造方法。
【背景技术】
[0003] 因固体摄影元件或液晶显示装置的发展，而开始广泛进行利用有机原材料（树 脂）来制作微透镜、光波导、抗反射膜等光学构件。
[0004] 为了使这些光学构件的折射率变高，而正在研宄添加氧化钛等粒子（参照下述专 利文献1)。
[0005]另外，作为现有的树脂组合物，已知有专利文献2~专利文献4中所记载的树脂组 合物。
[0006][现有技术文献]
[0007][专利文献]
[0008][专利文献1]日本专利特开2006-98985号公报
[0009][专利文献2]日本专利特开2009-258723号公报 [0010][专利文献3]日本专利特开2011-127096号公报
[0011][专利文献4]日本专利特开2000-193983号公报
【发明内容】
[0012] 发明要解决的课题
[0013] 本发明的目的在于提供一种可获得折射率高、黄色着色少、耐化学品性优异的硬 化物的感光性树脂组合物。
[0014] 解决问题的技术手段
[0015] 本发明的上述课题通过以下的〈1>、〈8>~〈11>、或〈13>~〈15>中所记载的手段 来解决。以下一并记载作为优选的实施形态的〈2>~〈7>及〈12>。
[0016] 〈1>一种感光性树脂组合物，其特征在于包括：（成分A)含有具有酸基由酸分解性 基保护的基的构成单元的聚合物，（成分B)不具有芳香族醚键及酚基、且具有环氧基和/或 氧杂环丁基的化合物，（成分C)金属氧化物粒子，（成分D)光酸产生剂，以及（成分E)溶 剂；
[0017] 〈2>根据上述〈1>所述的感光性树脂组合物，其中成分C为氧化钛粒子或氧化锆粒 子；
[0018] 〈3>根据上述〈1>或〈2>所述的感光性树脂组合物，其还包括（成分F)分散剂；
[0019] 〈4>根据上述〈3>所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有具有至少一种酸基的 分散剂；
[0020] 〈5>根据上述〈4>所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有由下述式（S)表示、 且具有至少一种酸基的分散剂；
[0021] [化 1]
[0022]
【主权项】
1. 一种感光性树脂组合物，其特征在于包括： (成分A)含有具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物， (成分B)不具有芳香族醚键及酚基、且具有环氧基和/或氧杂环丁基的化合物， (成分C)金属氧化物粒子， (成分D)光酸产生剂，以及 (成分E)溶剂。
2. 根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中成分C为氧化钛粒子或氧化锆粒子。
3. 根据权利要求1或2所述的感光性树脂组合物，其还包括（成分F)分散剂。
4. 根据权利要求3所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有具有至少一种酸基的分 散剂。
5. 根据权利要求4所述的感光性树脂组合物，其中成分F含有由下述式（S)表示、且具 有至少一种酸基的分散剂，
(式（S)中，R3表示（m+n)价的连结基，R4及R 5分别独立地表示单键或二价的连结基， A2表示含有至少一种如下的部分结构的一价的有机基，所述部分结构选自由有机色素结 构、杂环结构、酸基、具有碱性氮原子的基、脲基、氨基甲酸酯基、具有配位性氧原子的基、碳 数为4以上的烃基、烷氧基硅烷基、环氧基、异氰酸酯基及羟基所组成的群组，η个A 2、R4可 相同，也可不同，m表不O~8, η表不2~9, m+n为3~10, P2表不高分子骨架，m个P 2、R5 可相同，也可不同）。
6. 根据权利要求1至5中任一项所述的感光性树脂组合物，其中所述具有酸基由酸分 解性基保护的基的构成单元为由下述式所表示的构成单元，
(式中，R121表示氢原子或碳数为1~4的烷基，L 1表示羰基或亚苯基，R 122~R 128分别 独立地表示氢原子或碳数为1~4的烷基）。
7. 根据权利要求1至6中任一项所述的感光性树脂组合物，其中成分D为肟磺酸酯化 合物。
8. -种硬化物的制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤（a)~步骤（c): (a) 涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板 上； (b) 溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂；以及 (c) 热处理步骤，对去除了溶剂的树脂组合物进行热处理。
9. 一种树脂图案制造方法，其特征在于：至少依次包括步骤（1)~步骤（5): (1) 涂布步骤，将根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物涂布于基板 上； (2) 溶剂去除步骤，自所涂布的树脂组合物中去除溶剂； (3) 曝光步骤，利用光化射线将去除了溶剂的树脂组合物曝光成图案状； (4) 显影步骤，利用水性显影液对经曝光的树脂组合物进行显影；以及 (5) 热处理步骤，对经显影的树脂组合物进行热处理。
10. -种硬化物，其是利用根据权利要求8所述的硬化物的制造方法、或根据权利要求 9所述的树脂图案制造方法而获得。
11. 一种硬化膜，其是使根据权利要求1至7中任一项所述的感光性树脂组合物硬化而 形成。
12. 根据权利要求11所述的硬化膜，其为层间绝缘膜。
13. -种液晶显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
14. 一种有机电致发光显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
15. -种触摸屏显示装置，其包括根据权利要求11或12所述的硬化膜。
【专利摘要】本发明的目的在于提供一种可获得折射率高、黄色着色少、耐化学品性优异的硬化物的感光性树脂组合物。本发明的感光性树脂组合物的特征在于包括：(成分A)含有具有酸基由酸分解性基保护的基的构成单元的聚合物，(成分B)不具有芳香族醚键及酚基、且具有环氧基和/或氧杂环丁基的化合物，(成分C)金属氧化物粒子，(成分D)光酸产生剂，以及(成分E)溶剂。另外，成分C优选为氧化钛粒子或氧化锆粒子。
【IPC分类】G03F7-039, G03F7-004
【公开号】CN104756010
【申请号】CN201380055865
【发明人】藤盛淳一, 中村秀之, 铃木成一
【申请人】富士胶片株式会社
【公开日】2015年7月1日
【申请日】2013年10月24日
【公告号】WO2014065352A1