内置式ccd安防监控滤光片的制备方法
【技术领域】
[0001] 本发明涉一种内置式c⑶安防监控滤光片的制备方法。
【背景技术】
[0002] 近年来，由于反恐、国土安全、社会安全以及发展智能交通的需要，世界上各个国 家都在安防监控领域加大了投入，其中图像识别技术包括人脸识别和车牌识别技术是重要 的一个发展方向。我国人口规模巨大，经济增长迅速，对可靠的人脸识别技术以及安全的智 能交通的需求也越来越迫切。几年前，人脸识别在生物识别中的市场份额微不足道，到2007 年，市场份额迅速上升到12. 9%，仅小于指纹识别，并且比重还在不断增加。车牌照的识别 是一项新型技术，众多企业已立项了产品的研发，相信在不久的将来，车牌识别产品就会面 世。也正是图像识别产品的产业化发展，极大地促进了作为图像摄取系统中核心元件之一 的光学窄带滤光片的研发和产业化。
[0003] 真空镀膜生产窄带滤光片以欧洲、美国的技术最为先进，欧、美国家研制的镀膜设 备能够在无色玻璃基片上镀制各种复杂的薄膜，实现小型化，集成化，有些公司还能直接将 薄膜镀制在CCD传感器上，但相对较高的制造成本导致的低性价比，又大大限制了产品的 市场。在国内，镀膜设备、镀膜技术水平普遍较低，大多数光学薄膜生产厂都只能制备膜层 相对简单的滤光片，能生产窄带滤光片的厂家极少，而且还只能依赖颜色玻璃片作为基底， 进行膜层数较少的设计与镀制，与国外水平想距甚远。潜在市场的巨大需求和技术实现上 的差距，促进了国内窄带光学滤光片的研究，深圳飞莱特光电技术有限公司就是正在研发 超薄型小面积的窄带滤光片的企业之一。
【发明内容】
[0004] 本发明要解决的技术问题是提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，旨 在充分利用自有的技术优势，研发出小型化、成本低的用于图像识别系统的产品，参与全球 竞争，实现良好经济效益、社会效益。
[0005] 为解决上述技术问题，本发明的实施例提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制 备方法，包括如下步骤：
[0006]步骤 1 :将玻璃片加工成：455_X355_X0? 55mm-60mmX60mmX0. 55mm的玻璃基 片；
[0007] 步骤2 :步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有 机或无机的吸附物；
[0008] 步骤3:将步骤2所得玻璃基片进行干燥；
[0009] 步骤4:在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上， 再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；
[0010] 步骤5 :将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；
[0011] 步骤6 :将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；
[0012] 步骤7 :对成品进行清洗、检验，最后包装入库。
[0013] 作为优选，所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
[0014] 作为优选，所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
[0015] 作为优选，所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实 时状态进行动态修正。
[0016] 作为优选，所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
[0017] 本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制，使之能满足CCD安 防监控用的光学性能要求。由于其超薄特性，这种滤光片适合内置于CCD传感器前方，这种 内置式滤光片的优点是成本低，安装方便，占空小。在需要彩色和黑白滤光片进行频繁切换 的场合，只有这种超薄型的滤光片才能满足切换速度快，能耗低，使用寿命长的要求。
【附图说明】
[0018] 图1为本发明的工艺流程图示意图。
【具体实施方式】
[0019] 为使本发明要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具 体实施例进行详细描述。
[0020] 本发明针对现有的不足提供一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，如图1 所示，包括如下步骤：
[0021] 步骤 1 :将玻璃片加工成：455_X355_X0. 55mm-60_X60_X0. 55mm的玻璃基 片；
[0022] 步骤2 :步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有 机或无机的吸附物；
[0023] 步骤3 :将步骤2所得玻璃基片进行干燥；
[0024] 步骤4 :在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上， 再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；
[0025] 步骤5 :将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品；
[0026] 步骤6:将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品；
[0027] 步骤7 :对成品进打清洗、检验，最后包装入库。
[0028] 所述步骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
[0029] 所述步骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
[0030] 所述步骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行 动态修正。
[0031] 所述沉积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
[0032] 其中，本发明采用
[0033] (1)光控和晶控相结合的技术控制薄膜沉积厚度，对窄带滤光片膜系结构中的非 耦合层膜层采用光控技术，对耦合层膜层采用晶控技术。为减少耦合层光学厚度的误差，取 了离耦合层最近的一层已经镀制过的、与耦合层材料相同的膜层物理厚度做为耦合层监控 的实际厚度。该技术已申请国家发明专利，该专利技术的直接效果是，使得"内置式CCD安 防监控滤光片"的产业化成为可能，产品的成功率达到95%以上。而常规的光控技术或常 规的晶控技术只有理论上的可行性，在实际生产控制过程中，产品成功率不到10%。
[0034] (2)采用了自行设计的干燥设备对超声波清洗过的玻璃基片进行干燥。干燥设 备采用洁净强冷风吹干的方式对玻璃基片进行风干，避免了干燥过程中在玻璃表面出现水 印。设备的制造成本低、运行成本低、操作方便。洁净强冷风干与普通热风烘干的效果对比 见表1
【主权项】
1. 内置式CXD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，包括如下步骤： 步骤1 :将玻璃片加工成：455_X355_X0. 55mm-60_X60_X0. 55mm的玻璃基片； 步骤2 :步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或 无机的吸附物； 步骤3 :将步骤2所得玻璃基片进行干燥； 步骤4 :在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转 移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空； 步骤5 :将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品； 步骤6 :将半成品裁切成客户需要的小尺寸，得成品； 步骤7 :对成品进行清洗、检验，最后包装入库。
2. 根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步 骤3的干燥方式是洁净强冷风干燥。
3. 根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步 骤5中采用光控和晶控相结合的技术控制膜沉积的厚度。
4. 根据权利要求1所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述步 骤5中的真空镀膜过程中，对沉积参数进行动态跟踪并根据实时状态进行动态修正。
5. 根据权利要求4所述的内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，其特征在于，所述沉 积参数包括真空度、折射率和沉积速率。
【专利摘要】本发明公开了一种内置式CCD安防监控滤光片的制备方法，包括如下步骤：将玻璃片加工成：455mm×355mm×0.55mm-60mm×60mm×0.55mm的玻璃基片；步骤1所得的玻璃基片进行超声波清洗，去除表面的灰尘、脏印及其他有机或无机的吸附物；将步骤2所得玻璃基片进行干燥；在局部100级超净的环境中，将步骤3所得玻璃基片转移到镀膜夹具上，再转移到镀膜伞上，进入真空室进行烘烤以及抽真空；将步骤4所得玻璃基片两面进行离子束辅助电子束真空镀膜，得半成品。本发明能在超薄的无色玻璃基片上完成异常复杂的薄膜镀制，使之能满足CCD安防监控用的光学性能要求，切换速度快，能耗低，使用寿命长的要求。
【IPC分类】C23C14-02, G02B1-10, C23C14-30
【公开号】CN104849778
【申请号】CN201410053079
【发明人】朱凯敏
【申请人】上海雄汉实业有限公司
【公开日】2015年8月19日
【申请日】2014年2月17日