一种六波长窄带微型滤光片的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及光学技术领域，具体涉及一种六波长窄带微型滤光片。
【背景技术】
[0002]多工业领域的市场要求在不同波长条件下获取相应的多幅图像，传统单色光获取的器械有两个主要部件:一个是单色图像传感器；第二是一个昂贵庞大的光学滤光或分光元件，滤光、分光元件需要很大的空间距离才能把不同波长的光分开，这使得采用传统多光谱成像技术所形成的器械体积庞大、分量重，无法实时输出。对需要获得多个波长的图像数据时，需要不断重复调整滤光器通过光谱带的中心波长，直到对应于多个不同波长的图像全部生成。同时，分光、滤光机械结构极易受损，无法在恶劣环境(如强冲击、震荡、爆炸环境)使用。
[0003]使用微多光谱技术将窄带微型滤光器件与光学图像传感器集成，可实现一次曝光同时获取多幅不同波长的图像，获取的图像中任何一个像素都含有几个波长相应的灰度值，能够直接获取不同波长的图像。
【实用新型内容】
[0004]本实用新型要解决的技术问题是提供一种六波长窄带微型滤光片，可实现一次同时获取不同波长的图像，并有效避免交叉串扰问题，及光透过透光基片造成的像差问题。
[0005]为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案:一种六波长窄带微型滤光片，包括透光基片，所述透光基片的一个表面上按一定排列方式呈周期性排列镀制若干微滤单元，所述微滤单元有分别镀制窄带膜系形成的六个像素。
[0006]作为优选，所述像素的几何形状和尺寸相同。
[0007]作为优选，所述像素间镀有铬膜层。
[0008]本实用新型的有益效果是:由于透光基片上规则镀有微滤单元，每个微滤单元镀有六个像素，可同时获取六个不同波长的图像，因每个像素间镀有铬膜层，避免了不同像素之间缝隙的透光及像素之间的交叉串扰问题，又因微滤单元镀制在透光基片的同一侧，避免了光透过透光基片造成的像差。
【附图说明】
[0009]图1为本实用新型的结构示意图；
[0010]图2为本实用新型中微滤单元的结构示意图；
【具体实施方式】
[0011]下面结合附图和【具体实施方式】对本实用新型作进一步说明:
[0012]如图1所示，本实用新型提供了一种六波长窄带微型滤光片，包括透光基片1，透光基片I的一个表面上按一定排列方式呈周期性排列镀制若干微滤单元2，微滤单元2分别有镀制窄带膜系形成的六个像素31、32、33、34、35、36。
[0013]透光基片I由直径为15mm、厚0.5mm的圆形JGS2石英玻璃制成。
[0014]在透光基片I的一个表面镀制若干微滤单元2，微滤单元2沿X轴或Y轴方向按一定排列方式呈周期性排列，微滤单元2为直径为1.03mm的圆形。
[0015]如图2所示，每个微滤单元2中包含六个像素31，32，33，34，35和36，各个像素之间以铬膜层4作为间隔。
[0016]像素31、32、33、34、35、36分别镀制有不同中心透过波长的窄带膜系，几何形状和尺寸都一样，优选的是圆形，直径范围约几十微米，每个像素只允许相应波段的光透过。
[0017]铬膜层4采用离子辅助，电子枪蒸发的物理气相沉积技术镀制，镀制的厚度由晶控片监控，厚度为2.5ym。
[0018]镀制有窄带膜系的像素31、32、33、34、35、36均是由F-P法布里_拍罗干涉技术构建的滤光膜。
[0019]采用F-P法布里-珀罗干涉技术构建的滤光膜中心波长分别为520、560、585、625、670 和 710，透过率 T > 75%o
[0020]520像素31在除主峰外，波长位置450-720nm的透过率< 0.01%。
[0021]560像素32在除主峰外，波长位置480_730nm的透过率< 0.01%。
[0022]585像素33在除主峰外。波长位置470_720nm的透过率< 0.01 %。
[0023]625像素34在除主峰外，波长位置480_740nm的透过率< 0.01%。
[0024]670像素35在除主峰外，波长位置490_770nm的透过率< 0.01%。
[0025]710像素36在除主峰外，波长位置490_820nm的透过率< 0.01%。
[0026]因各像素间镀制具有一定宽度的铬膜层4，避免了不同像素之间缝隙的透光及像素之间的交叉串扰问题。
[0027]由像素31、32、33、34、35、36组成的微滤单元2镀制在透光基片I的同一侧，避免了光透过透光基片造成的像差。
[0028]在使用时配合外置镜头片，外置镜头片的光谱特性满足:200-500nm和720-1200nm透过率< 0.01 %，515_715nm透过率> 90%，过滤掉主峰外的杂散光。
[0029]以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
【主权项】
1.一种六波长窄带微型滤光片，其特征在于:包括透光基片，所述透光基片的一个表面上按一定排列方式呈周期性排列镀制若干微滤单元，所述微滤单元有分别镀制窄带膜系形成的六个像素。
2.根据权利要求1所述的一种六波长窄带微型滤光片，其特征在于:所述像素的几何形状和尺寸相同。
3.根据权利要求1所述的一种六波长窄带微型滤光片，其特征在于:所述像素间镀有铬膜层。
【专利摘要】本实用新型公开了一种六波长窄带微型滤光片，包括透光基片，所述透光基片的一个表面上按一定排列方式呈周期性排列镀制若干微滤单元，所述微滤单元有分别镀制窄带膜系形成的六个像素，所述像素的几何形状和尺寸相同，所述像素间镀有铬膜层。本实用新型可同时获取六个不同波长的图像，因每个像素间镀有铬膜层，避免了不同像素之间缝隙的透光及像素之间的交叉串扰问题，又因微滤单元镀制在透光基片的同一侧，避免了光透过透光基片造成的像差。
【IPC分类】G02B5-20
【公开号】CN204479784
【申请号】CN201520194278
【发明人】颜晶
【申请人】北京京仪博电光学技术有限责任公司
【公开日】2015年7月15日
【申请日】2015年4月2日