专利名称：金属敷层的形成装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及用于形成带有金属敷层的荧光面的装置，更详细地说，涉及场致放射显示器(以下称为“FED”)等平面型图像显示装置中在荧光面上形成金属敷层用的金属敷层的形成装置。
背景技术：
以往，阴极射线管(CRT)或FED等图像显示装置的荧光面，广泛采用在荧光体层的内面(与面板相反侧的面)形成Al等金属膜的金属敷层方式的结构。
这种金属敷层方式的目的在于，把从被电子源放出的电子所激发的荧光体层发射到金属膜(金属敷层)侧的光反射，更高效地将发光能量送到面板前面，或赋予荧光面导电性使其也起到电极功能。这里，作为简便的金属敷层的形成方法，提出了预先在涂有脱模剂的薄膜上形成金属蒸镀膜，用粘接剂将该金属膜转印在荧光体层上的转印方式(例如，参照专利文献1)。
在这种转印方式中，在面板周边部的非显示区域用贴附屏蔽带等方法实施了屏蔽后，通过一边对转印薄膜加热一边对其按压的热印法进行转印。并且在该热印法中，往往使用如下方式在裁断为规定尺寸的基膜上形成金属膜，制作转印薄膜，在该转印薄膜的金属膜上用专用的涂布装置涂布粘接剂，再使其干燥。
专利文献1日本专利特开昭63-102139号公报但是，在上述的转印方式中，需要较多的劳力和时间，在生产效率方面有问题。
另外，在当涂布粘接剂时转印薄膜发生皱纹后，在该皱纹发生部分就产生粘接剂涂布不均。此时，在以后的转印工序中，粘接剂涂布不均就这样体现为金属敷层不均，故有不能形成均质的金属敷层的问题。
因此，为了转印薄膜不发生皱纹，在粘接剂的涂布工序中，需要使转印薄膜张紧的工作等，在采用例如使用屏蔽带等、一边拉紧薄膜边缘一边固定转印薄膜的方法等场合，张紧作业因作业者的熟练程度会产生误差，在转印薄膜中难以确保规定以上的质量。并且，在不避免转印薄膜皱纹发生的状态下如果实施转印后，在金属敷层的皱纹发生部分产生龟裂，或产生无法正确形成金属敷层等不良情况，是使合格率下降的因素。
另外，在作为处理对象的转印薄膜的初期状态为卷筒片状的场合，在从滚轮拉出转印薄膜时或利用转印滚轮进行加热按压时，往往产生静电，若转印薄膜带静电，则有使周边环境中的异物附着在转印薄膜上、因该异物而发生粘接剂涂布不均或金属膜转印不良的问题。
发明内容
为解决上述问题，本发明的目的在于提供一种在形成金属敷层的工序中可提高生产效率的金属敷层的形成装置。
为实现上述目的，本发明的金属敷层的形成装置的特点是具有薄膜拉出机构，该薄膜拉出机构从在基膜上至少形成有金属膜的转印薄膜的卷绕体上的一端部侧将该转印薄膜拉出；薄膜输送机构，该薄膜输送机构将利用所述薄膜拉出机构从一端部侧拉出的所述转印薄膜输送到下游侧；转印机构，该转印机构一边将由所述薄膜输送机构输送来的所述转印薄膜按压在设于面板的荧光面上一边加热，通过粘接剂层来转印所述金属膜；薄膜卷绕机构，该薄膜卷绕机构从利用所述转印机构转印了所述金属膜后的转印薄膜上剥离所述基膜并进行卷绕。
另外，本发明的金属敷层的形成装置在所述转印机构的前段还可具有将粘接剂涂布在所述转印薄膜的所述金属膜上的粘接剂涂布机构；使利用所述粘接剂涂布机构所涂布的粘接剂干燥的粘接剂干燥机构。另外，在所述薄膜拉出机构附近的下游侧位置及所述转印机构的设置位置附近，还可设有将所述转印薄膜上可能发生的皱纹予以除去的皱纹除去机构。此外，在所述薄膜拉出机构附近的下游侧位置、所述粘接剂涂布机构下游侧的所述转印薄膜的粘接剂涂布面相反侧的基膜表面侧及所述转印机构的设置位置附近，还可设有将所述转印薄膜所带的静电予以除去的静电除去机构。
采用本发明，可通过将转印薄膜上的金属膜及粘接剂层转印在面板的荧光体层上而实现的金属敷层的形成工序大致自动化，可提高生产效率。
图1是大致表示本发明实施形态的金属敷层的形成装置的示图。
图2是模式表示对FED的非显示区域实施屏蔽并在荧光体屏幕上配置转印薄膜后状态的剖视图。
图3是具有利用图1所示的金属敷层的形成装置所形成的带有金属敷层的荧光面的FED的剖视图。
符号说明
1是金属敷层的形成装置，2是薄膜拉出滚轮，6是粘接剂涂布装置，7是送风机，8是干燥机，9是变向滚轮，10、11、19是静电除去装置，12是转印滚轮，14是滑动台，21是FED，22是荧光体屏幕，29是金属敷层，26a是金属膜，26b是基膜，27是面板具体实施方式
下面根据
用于实施本发明的最佳的实施形态。
图1是大致表示本发明实施形态的金属敷层的形成装置，图2是模式表示对FED非显示区域实施屏蔽并在荧光面(荧光体屏幕)上配置了转印薄膜后状态的剖视图，图3是具有带有金属敷层的荧光面的FED的剖视图。
如这些图所示，金属敷层的形成装置1是形成例如FED21的金属敷层29用的，是将形成为长尺寸的转印薄膜F进行输送并进行转印的装置。该金属敷层的形成装置1具有将驱动力赋予输送转印薄膜F用的各种滚轮的电动机，具有将张力赋予输送中的转印薄膜F的反张力功能。
图2表示在荧光体屏幕22上配置了转印薄膜F后的状态。在该图中，符号27表示面板，22表示荧光体屏幕，23表示周边黑底，24表示外框部，25表示屏蔽带。另外，符号F表示转印薄膜，26b表示转印薄膜F的基膜，26a表示金属膜。转印薄膜F的脱模剂层及薄膜粘接剂层的图示省略。
金属敷层的形成装置1主要包括薄膜拉出滚轮2；配置在上游侧的薄膜皱纹除去装置3及配置在下游侧的薄膜皱纹除去滚轮5；粘接剂涂布装置6；送风机7及干燥机8；将转印薄膜F的输送方向折返的变向滚轮9；静电除去装置10、11、19；将转印薄膜加热并按压在金属敷层上的橡胶制的转印滚轮12；滑动台14；配置在上游侧的薄膜按压滚轮15和配置在下游侧的薄膜按压滚轮16；张紧滚轮17；以及薄膜卷绕滚轮18。
薄膜拉出滚轮2是这样一种滚轮从卷绕体上将该转印薄膜F自一端部侧拉出，该卷绕体将通过剥离层在基膜26b上形成有金属膜26a的转印薄膜F卷绕成卷筒状。薄膜皱纹除去滚轮3、5是将输送中的转印薄膜F向其宽度方向拉紧而将皱纹除去的滚轮，例如是扩张滚轮等。这里，薄膜皱纹除去滚轮3设在薄膜拉出滚轮2附近的下游侧位置，而薄膜皱纹除去滚轮5设在转印滚轮12的设置位置周缘。
粘接剂涂布装置6是将粘接剂涂布在转印薄膜F的金属膜上用的装置，具有杆式涂料器滚轮6a等。送风机7将常温(20℃)的风吹在涂布有粘接剂的转印薄膜F上。干燥机8将温风吹在涂布有粘接剂的转印薄膜F上使之干燥。变向滚轮9使转印薄膜F的输送方向反转(折返)。包含该变向滚轮9的各种滚轮将利用薄膜拉出滚轮2从一端部侧拉出的转印薄膜F输送到下游侧。静电除去装置10、11以非接触方式将输送中的转印薄膜F所发生的静电予以除去。这里，静电除去装置10设在薄膜拉出滚轮2附近的下游侧位置，静电除去装置19设在粘接剂涂布装置6的下游侧即与转印薄膜F的粘接剂涂布面相反侧的基膜表面侧。另外，静电除去装置11设在转印滚轮12的设置位置周缘。
转印滚轮12是一边对转印薄膜F加热一边将其按压在面板27的荧光面(荧光体屏幕)22上的橡胶制滚轮。滑动台14设在隔着转印薄膜F与转印滚轮12相对的位置上，且搭载有形成有荧光体屏幕22的面板27。此外，滑动台14起到由转印滚轮12进行的按压转印薄膜F时的支承台作用，可向转印薄膜F的顺向输送方向及其逆向方向移动。薄膜按压滚轮15、16通过将输送中的转印薄膜F向输送导向侧(未图示)按压来限制转印薄膜F在厚度方向的输送位置。张紧滚轮17将规定的张力赋予输送中的转印薄膜F。薄膜卷绕滚轮18一边从实施了转印处理后的转印薄膜F上剥离基膜26b一边从其输送方向的前端侧依次进行卷绕。
这里，说明本实施形态中制作的FED21的大致结构。
该FED21具有带有金属敷层的荧光面，要形成带有金属敷层的荧光面，则首先利用光刻法将由黑色颜料构成的例如条纹状的光吸收层(遮光层)形成在面板27的内面。接着，涂布包含ZnS系、Y2O3系、Y2O2S系等各色荧光体的浆液并将其干燥，用光刻法进行图案形成。这样，将红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的荧光体层形成在光吸收层的图形间，形成荧光体屏幕22。另外，各色的荧光体层的形成也可用喷涂法或印刷法进行。在面板27的内面，在这种荧光体屏幕22周围的非显示区域，分别形成由黑色颜料构成的周边黑底23和由银膏膜构成的外框部24。
接着，在形成周边黑底23及外框部24的非显示区域，将荧光体屏幕22的外周缘部遮住地贴附屏蔽带25。然后，在这种被屏蔽后的荧光体屏幕22上配置在由聚酯树脂等构成的基膜26b上依次层叠有脱模剂层、Al等的金属膜26a及薄膜粘接剂层的转印薄膜F，转印金属膜26a。
作为转印薄膜的脱模剂，可例举出醋酸纤维素、石蜡、脂肪酸、脂肪酸酰胺、脂肪酸酯、松脂、丙烯树脂、硅、氟类树脂等，从这些当中，根据与基膜及后述的保护膜等之间的剥离性进行适当选择使用。另外，作为薄膜粘接剂，可使用醋酸乙烯树脂、乙烯醋酸乙烯异分子聚合物、苯乙烯-丙烯树脂、乙烯-醋酸乙烯-丙烯酸三元聚合物树脂等。此外，在脱模剂层与金属膜之间，也可设置以热硬化性树脂、热可塑性树脂、光硬化性树脂等为基础配合有柔软剂的保护膜。
接着，说明将转印薄膜F配置成从荧光体屏幕22上跨至非显示区域的屏蔽带25、利用本实施形态的金属敷层的形成装置1转印金属膜26a并形成金属敷层的方法。
首先，通过脱模剂层在基膜26b上形成有金属膜26a的转印薄膜F卷筒状地被卷绕在薄膜拉出滚轮2上，从非接触式的静电除去装置10、11、19将具有除电效果的风吹向从该薄膜拉出滚轮2拉出的转印薄膜F，将转印薄膜F所带的静电予以除去，或使其减少。这里，在转印薄膜F上带有静电时的弊端是，会将周边的漂浮物(尘埃等)吸到转印薄膜F上，在以后的粘接剂涂布时附着物诱发粘接剂涂布不均，使粘接剂层产生缺陷，不能得到正常的粘接剂层。这种弊端可通过静电除去装置10、11、19来抑制。
所带静电被除去后的转印薄膜F通过与薄膜皱纹除去滚轮3、5滑动而除去其薄膜表面的皱纹。在通过了薄膜皱纹除去滚轮3后的转印薄膜F的形成有金属膜26a的面上利用粘接剂涂布装置6而涂布粘接剂。由粘接剂涂布装置6进行的涂布方法，除了本实施形态的利用杆式喷涂滚轮6a的涂布方法外，可采用使用了凹版滚轮的涂布方法等。这样，由送风机7及干燥机8使通过粘接剂涂布装置6如此在转印薄膜F的金属膜26a上形成的粘接剂干燥。此时，从干燥机8吹出热风。并且，最好使送风机7的风速降低，将干燥机8的风速设定得较高。
另外，通过从静电除去装置19将具有除电效果的风吹在与转印薄膜F的粘接剂涂布面相反侧的基膜侧，从而在粘接剂干燥过程中可防止周边漂浮物(尘埃等)被吸附在转印薄膜F的粘接剂涂布面上，抑制因附着物而发生的粘接剂涂布不均的情况。
另外，从转印薄膜F被拉出、至粘接剂涂布、干燥为止的一系列的工序是联动的，转印薄膜F的输送速度可按每分钟0.1m单位进行设定，且可在每分钟0.1m～每分钟10m的范围内进行调整。而粘接剂涂布时间可按1秒单位进行设定。粘接剂相对于转印薄膜F的涂布长度，可通过从转印薄膜F的输送速度与粘接剂涂布时间的关系式(粘接剂涂布长度＝[薄膜输送速度]×[粘接剂涂布时间])将粘接剂涂布时间设定成任意值来调整。
接着，将具有荧光体屏幕22的面板27载放在滑动台14上，并使荧光体屏22面朝上，该荧光体屏幕22条纹状地排列有光吸收层(遮光层)及红、绿、蓝的荧光体层。在面板27的内面，在这种荧光体屏幕22周围的非显示区域，形成有由黑色颜料构成的周边黑底23和有银膏膜构成的外框部24。将荧光体屏幕22外周缘部遮住地将屏蔽带25贴附在形成有该周边黑底23和外框部24的非显示区域上。在该滑动台14上装备有面板27的偏位防止机构，成为根据面板27的尺寸可将其位置变更的结构。
接着，使这种在金属膜26a上形成有粘接剂层的转印薄膜F输送到滑动台14上的规定位置，将薄膜按压滚轮15向下方下降。此时，转印薄膜F的方向因薄膜按压滚轮15、16而相对于地面成为水平。然后，利用转印滚轮12对转印薄膜F进行加热并将其按压在荧光体屏幕22面上后，剥去转印薄膜F的基膜26b。
这里，作为转印滚轮12，应用了将天然橡胶或硅酮橡胶的被覆层形成在铁制等金属制的芯材的外周面上的橡胶滚轮等。橡胶被覆层的硬度最好作成70～100度，厚度作成5～30mm。此外，将该转印滚轮12加热以使按压部即橡胶层表面的温度为150℃至240℃，并一边对其按压一边按每分钟1.0m至8.0m的速度使其在转印薄膜F的基膜26b的表面上移动，使金属膜26a粘接。另外，按压力最好作成300kgf/cm2至1500kgf/cm2的范围(例如500kgf/cm2)。
对于转印滚轮12的表面温度和按压力及按压速度的所述范围，是为了通过转印滚轮12接触而在充分加热的状态下按压转印薄膜F的充分必要条件，若脱离该范围，就有图2所示的荧光体屏幕22与金属膜26a之间的紧贴性不足、产生金属膜26a转印不良或在热烘处理后发生龟裂之虞。即，当转印滚轮12的表面温度过高时，橡胶因热量而受到损伤，不能发挥按压功能，而当按压速度过慢，则基膜26b过分被加热产生软化或熔化，剥去时会产生断裂，故不是希望的。另外，当转印滚轮12的表面温度过低或按压速度过快时，薄膜粘接剂的加热就不充分，金属膜26a的粘接就不充分，产生局部转印不良或合格率下降，故不是希望的。
此外，转印滚轮12具有使滚轮本体向上下移动的升降机构，按压值可在0～1500kgf/cm2的范围内调整。滑动台14如前所述具有在转印薄膜F的输送方向上朝前后方向移动的滑动机构，滑动台14的移动速度即转印速度在每分钟0.1m～每分钟10.0m的范围内可按每分钟0.1m单位任意设定变更设定值。
假如在转印薄膜F上存在较多皱纹的状态下强制转印时，金属敷层上就产生龟裂或皱纹状的缺陷，不能形成实施正常的金属敷层，明显损害规定的功能。但是，在本实施形态的金属敷层的形成装置1中，在利用转印滚轮12一边进行加热一边进行按压时，利用薄膜皱纹除去滚轮3、5的作用，可除去转印薄膜F的皱纹，其结果，所获得的金属敷层29的质量良好。
另外，在将转印薄膜F的基膜26b剥离时，通过从静电除去装置11将具有除电效果的风吹向剥离面，从而可抑制静电的发生。此时，若对静电的发生不处理，则有使周边的漂浮物等附着在所转印后的金属敷层上之虞，一旦这样进入下一个冲压过程，则使金属敷层发生龟裂或裂口等缺陷，明显损害规定的功能。
转印处理结束后的转印薄膜F的基膜26b，在转印结束后与在输送方向的后部进行粘接剂涂布作业联动而通过薄膜按压滚轮16，再通过张紧滚轮17，利用薄膜卷绕滚轮18进行卷绕。该薄膜卷绕滚轮18具有电动机等驱动功能，且具有对张力进行保持的反张力功能，以在待机时不输送薄膜。
在本实施形态中，在如此将转印薄膜F配置在荧光体屏幕22上后，一边利用转印滚轮12对其进行加热一边进行按压，从而将薄膜粘接剂层粘接在荧光体屏幕22的上面。这样，从屏蔽带25上将Al等金属膜26a转印到面板27的荧光体屏幕22上后，将屏蔽带25连同形成在其上面的金属膜26a一起剥取，仅在屏蔽带25的非形成区域残留金属膜26a。
可有效进行粘接剂的涂布及其干燥作业并抑制在转印薄膜上可能产生的皱纹发生，此外，通过降低静电所产生的异物在转印薄膜上的附着，从而可提高形成金属敷层工序的生产率。
在冲压工序中，可利用冲压滚轮等一边对转印后的金属膜26a进行加热一边进行按压。接着，连同面板27一起烧成至450℃左右的温度(热烘)将有机成分分解及除去。这样，可获得荧光体屏幕22与金属敷层29的紧贴性优异的带有金属敷层的荧光面。
下面，根据图3说明将如此形成的带有金属敷层的荧光面作为正电极的FED21。
在该FED21中，具有以前述实施形态形成的带有金属敷层的荧光面的面板27和具有排列成矩阵状的电子放出元件28a的后板28，通过几毫米程度的狭窄的间隙而相对配置，在面板27与后板28之间施加5～15kV的高电压。图中符号22表示具有条纹状的光吸收层及荧光体层的荧光体屏幕，29表示金属敷层。而符号31表示支承框(侧壁)。
面板27与后板28的间隙极其狭小，在该之间容易发生放电(绝缘破坏)，但在该FED21中，具有无凹凸或龟裂、皱纹等、而是平滑、平坦的金属敷层29，金属敷层29与下层的荧光体屏幕22之间的紧密性好。此外，可实现高辉度、色纯度高且可靠性优异的显示。
实施例1下面根据实施例进一步详细说明本发明。本发明并不限于下面的实施例。这里，为形成金属敷层，使用上述的图1所示的金属敷层的形成装置1。
首先，当利用光刻法在面板27的内面形成由黑色颜料构成的条纹状光吸收层(遮光层)后，涂布浆液并使其干燥，该浆液包含ZnS系、Y2O3系、Y2O2系等各色的荧光体，用光刻法进行了图案形成。并且，在与遮光部之间，使红(R)、绿(G)、蓝(B)三色的荧光体层分别相邻地形成条纹状，作成了荧光体屏幕22。另外，面板27的内面，在这种荧光体屏幕周围的非显示区域，依次形成了由黑色颜料构成的周边黑底23及银膏膜构成的外框部24。
接着，在图2所示的转印薄膜F即在薄膜厚度为20μm的聚酯制基膜26b上形成0.5μm厚度的脱模剂层，在其上蒸镀Al，形成有厚度80nm的金属膜(Al膜)26a的卷筒状的转印薄膜F安装在图1所示的金属敷层形成装置1最上游侧的薄膜拉出滚轮2上。接着，将该转印薄膜F经过薄膜皱纹除去滚轮3、5、变向滚轮9、薄膜按压滚轮15、16、张紧滚轮17而到最下游侧的薄膜卷绕滚轮18，通过所述张紧滚轮17作用了张力。然后，在该转印薄膜F的金属膜(Al膜)26a上，通过粘接剂涂布装置6的杆式喷涂滚轮6a涂布了由甲苯90份、醋酸乙烯10份构成的树脂组成物。此后，从送风机7将常温(20℃)的风送向涂布后的粘接剂，再从干燥机8送出温风(温度为80℃)，形成了粘接剂膜。
接着，将该转印薄膜F输送到滑动台14，配置成与载放在该滑动台14上的面板27内面的荧光体屏幕(荧光体层)22接触。此后，利用橡胶硬度为80度、表面温度加热到200℃的橡胶制的转印滚轮12，以每分钟4.0m的速度及500kgf/cm2的压力进行按压、压接，然后剥离了基膜26b。这样，在面板27的荧光体屏幕22上形成了金属敷层(Al膜层)29。
接着，利用橡胶硬度为80度、表面温度加热到175℃的橡胶制的冲压滚轮(未图示)，以每分钟1.0m的速度及900kgf/cm2的压力进行按压，使转印后的金属敷层(Al膜层)29紧贴在面板27内面的荧光体层22上。此外，将如此通过转印而形成有金属敷层(Al膜层)29的面板27用450℃温度加热(热烘)而将有机成分分解除去，形成了带有金属敷层的荧光面。然后，使用具有如此形成的带有金属敷层的荧光面的面板27，通过常用方法制作了FED21。
即，把在基板上矩阵状形成有多个表面传导型电子放出元件的电子发生源固定在玻璃基板上，制作了后板28。接着，通过支承框26及隔板将该后板28和所述面板27相对配置，并通过熔合玻璃进行封接。然后，实施封止、排气等必要的处理，制作了10型彩色FED。对于如此制作的FED21，用电子线加速电压5kV进行了1000小时驱动试验后，未发生放电现象。
以上，通过实施形态(及实施例)具体说明了本发明，但本发明不限定于该实施形态，在不脱离本发明宗旨的范围内可作各种变形。
例如，也可在金属膜26a上预先形成粘接剂层，将如此形成有粘接剂层的转印薄膜F以在卷绕层之间夹入剥离纸等的方法进行卷绕，从拉出滚轮2将其拉出并转印在荧光体屏幕上。
产业上的实用性采用本发明，可使通过将转印薄膜上的金属膜及粘接剂层转印在面板的荧光体层上而实现的金属敷层的形成工序大致自动化，可提高生产效率。
权利要求
1.一种金属敷层的形成装置，其特征在于，具有薄膜拉出机构，该薄膜拉出机构从在基膜上至少形成有金属膜的转印薄膜的卷绕体上的一端部侧将该转印薄膜拉出；薄膜输送机构，该薄膜输送机构将利用所述薄膜拉出机构从一端部侧拉出的所述转印薄膜输送到下游侧；转印机构，该转印机构将由所述薄膜输送机构输送的所述转印薄膜一边按压在设于面板的荧光面上一边将其加热，通过粘接剂层来转印所述金属膜；薄膜卷绕机构，该薄膜卷绕机构从利用所述转印机构转印了所述金属膜后的转印薄膜上一边剥离所述基膜一边进行卷绕。
2.如权利要求1所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，在所述转印机构的前段，还具有将粘接剂涂布在所述转印薄膜的所述金属膜上的粘接剂涂布机构；使通过所述粘接剂涂布机构所涂布的粘接剂干燥的粘接剂干燥机构。
3.如权利要求1或2所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，在所述薄膜拉出机构附近的下游侧位置及所述转印机构的设置位置附近，还具有将所述转印薄膜上可能发生的皱纹予以除去的皱纹除去机构。
4.如权利要求2或3所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，在所述薄膜拉出机构附近的下游侧位置、所述粘接剂涂布机构下游侧的与所述转印薄膜的粘接剂涂布面相反侧的基膜表面侧、以及所述转印机构的设置位置附近，还设有将所述转印薄膜所带的静电予以除去的静电除去机构。
5.如权利要求1至4中任一项所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，利用所述薄膜输送机构而进行的所述转印薄膜的输送速度可在每分钟0.1m～每分钟10m的范围内调整，并能以1秒为单位设定粘接剂涂布时间。
6.如权利要求1至5中任一项所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，所述转印机构的对所述转印薄膜的按压力设定在300～1500kg/cm2的范围，加热温度设定在150℃～240°的范围。
7.如权利要求1至6中任一项所述的金属敷层的形成装置，其特征在于，具有滑动台，该滑动台设置在隔着由所述薄膜输送机构所输送的所述转印薄膜而与所述转印机构相对的位置上，一边载放形成有所述荧光面的面板一边与所述转印薄膜的输送方向平行地可滑动，所述滑动台的移动速度为每分钟0.5m～每分钟10m的范围。
全文摘要
本发明的金属敷层的形成装置(1)，具有薄膜拉出滚轮(2)，该薄膜拉出机构(2)从在基膜(26b)上至少形成有金属膜(26a)的转印薄膜(F)的卷绕体上的一端部侧将该转印薄膜(F)拉出；将从卷绕体拉出的转印薄膜(F)输送到下游侧的变向滚轮(9)等的薄膜输送机构；一边将该输送来的转印薄膜(F)按压在设于面板(27)的荧光体屏幕(22)上一边加热而转印金属膜(26a)的转印滚轮(12)；从结束了转印处理的转印薄膜(F)上一边剥离基膜(26b)一边进行卷绕的薄膜卷绕滚轮(18)。
文档编号H01J29/18GK1902722SQ20048004017
公开日2007年1月24日 申请日期2004年12月24日 优先权日2004年1月13日
发明者蒲生保则, 田中肇, 吉井正之, 稻村昌晃, 伊藤武夫 申请人:株式会社东芝