专利名称：彩色阴极射线管的制造方法
技术领域：
本发明涉及一种彩色阴极射线管的制造，特别涉及在面板部的内表面具有荧光体像素和包围该荧光体像素的由光吸收物质层构成的黑底(black matrix)膜的平面(flat face)型彩色阴极射线管的制造方法。
背景技术：
彩色阴极射线管，例如用于彩色电视机、OA设备终端用彩色显示监视器等的彩色阴极射线管采用以下结构由在内表面具有黑底(BM)膜和包含点状或条状的多个荧光体像素的荧光面的大致矩形的面板部、收容电子枪的大致筒状的颈(neck)部、将该颈部和上述面板部与管轴大致同轴地连接起来并且在颈部和面板部的过渡区域的外周具有偏转线圈(yoke)的漏斗状的漏斗(funnel)部形成真空管壳，在该真空管壳内，接近上述荧光面地相对配置了具有多个电子束通过孔的作为色选择电极的荫罩。
作为该荫罩的构成材料，主要使用铝镇静钢。近来伴随着彩色阴极射线管的高清晰化，荫罩使用了板厚薄的荫罩。在采用了薄壁的荫罩的彩色阴极射线管中，在其工作中容易发生荫罩的一部分产生热变形，电子束点在荧光面上偏离预定位置的所谓荫罩隆起(maskdoming)的现象。作为对策，进行了荫罩悬挂结构的改善，并且作为上述结构材料，考虑到它的热膨胀率、物理硬度，使用了因瓦合金(invar)材料。
这样的荫罩是把通过蚀刻在预定位置设置了上述多个电子束通过孔的原料板冲裁成预定形状，然后进行压制修整，修整为具有呈大致球面状的主面、和连接在该主面的周围并且相对于主面弯曲为大致90度的裙(skirt)部的形状来使用。
此外，最近随着平面彩色电视和彩色显示监视器的普及，在它们所使用的彩色阴极射线管方面，也存在面板(面板玻璃)的外表面平坦化(平板化)的倾向。
图11是说明平面式的荫罩型彩色阴极射线管的构造例的概略剖视图。在图11中，由在内表面设置了具有荧光体像素和由非荧光性吸收物质层构成的黑底膜的荧光面50的面板部51、收容电子枪61的颈部52、连接面板部51和颈部52的漏斗部53构成真空管壳。
面板部51的外表面是大致平坦的，内表面弯曲成凹面，配置在该内表面的荧光面50一般具有把红(R)、绿(G)、蓝(B)3色荧光体分别涂敷为点状或条状而形成的荧光体像素、包围荧光体像素的由碳那样的非发光性吸收物质层构成的黑底膜、以及成为背金的金属反射膜。此外，接近荧光面50地配置有荫罩54。考虑到热膨胀率、物理硬度，该荫罩54由因瓦合金材料构成。
荫罩54是压制成形的自立形状保持型，把其周边与荫罩架57焊接，通过悬挂弹簧59悬挂支撑在固定于面板部51的裙部内壁上的柱销(stud pin)上。另外，在荫罩架57的电子枪侧固定有磁屏蔽58。在真空管壳的颈部52与漏斗部53的过渡区域安装偏转线圈55，通过使从电子枪61发射出的3束调制电子束B水平(X方向)和垂直(Y方向)地偏转，使电子束B在荧光面50上进行二维扫描，再现图像。
此外，形成在漏斗部53的内表面的内部导电膜62对电子枪61的形成主透镜的电极和荧光面50的金属反射膜施加从阳极帽(anodebutton)导入的高电压。63表示加强带，64表示管座，65表示整个彩色阴极射线管。
在这样结构的彩色阴极射线管中，如上所述，面板部51的外表面是大致平坦的，内表面弯曲为凹面。而荫罩54是通过压制成形把荫罩原料板修整为预定的曲面而形成的，所以依照面板部51的内表面弯曲。
这样，尽管面板部51的外表面是大致平坦的，但是使面板部51的内表面以及荫罩54形成为弯曲状，这是因为基于压制成形技术的荫罩54的制作方法简单并且成本低。
该荫罩54的曲面形状是曲率半径分别沿着长轴、短轴以及对角线从荫罩54的主面的中央向着周边渐渐减小的非球面。该非球面形状的荫罩的曲率，作为等效曲率半径Re，例如如下这样定义。
Re＝(z2+e2)/2z其中，e从荫罩主面的中央到任意的周边位置的垂直于管轴的方向的距离z上述任意的周边位置的从荫罩主面的中央沿管轴方向的凹陷量(mm)该规格能在实现作为彩色阴极射线管的画面的平面感的同时维持修整后的荫罩的机械强度。
图12是放大表示图11所示的彩色阴极射线管的主要部分的一部分的示意剖视图。在图12中，设置在面板部51的内表面的荧光面50具有把3色荧光体涂敷为点状或条状而形成的三色荧光体像素501、包围荧光体像素501的黑底膜502和金属反射膜503，接近荧光面50地相对配置有荫罩54。
三色的荧光体像素501由红(R)色荧光体像素501R、绿(G)色荧光体像素501G和蓝(B)色荧光体像素501B构成。荧光体像素501是在形成有黑底膜502的面板部内表面涂敷了荧光体浆料后，经过曝光工序，在黑底膜542的开口部(窗口部)形成的。曝光工序按各色进行。3个光源66G、66B、66R的位置分别不同，所以能在黑底膜542的开口部(窗口部)分别正确地形成3种荧光体像素。
图13表示用于形成这样的荧光面的以往的曝光装置的一个例子。图13所示的曝光装置是专利文献1、即日本特开平8-185798号公报的图1所公开的曝光装置。在图13中，1是点状光源，2是校正透镜，3是调光滤光片，4是荫罩，5是面板，6是导柱(guide pole)，7是XYθ台，8是位置调整机构，9是调光滤光片安装板，在使用曝光装置形成蓝、红、绿各自的BM时，使点状光源1的位置错开地曝光，但是，要预先把调光滤光片3的位置移动设定到BM径差为最佳的各位置来曝光。这样，由于使用同一调光滤光片3形成三原色用的BM，因此能防止产生由调光滤光片3的成品的偏差引起的BM径差，专利文献1公开了这样的技术。
另外，图14是表示以往的荧光面形成用曝光方法的概略图，是在专利文献2、即日本特开平7-122184号公报的图1中公开的。在图14中，使来自曝光用光源36的光通过透镜组35，并使透过该透镜组的光照射到阴极射线管的面板玻璃32的内表面，进行阴极射线管的荧光面34形成用曝光，通过这样的方法，能将透镜组中所包含的至少一个透镜或滤光片的周边区域的光透射率设定得比中心区域的光透射率高，能得到合适的面板部的周边区域对中心区域的曝光用光强度分布。
在专利文献2中公开了通过使用该方法和曝光装置，即使在特别是用于超广角的阴极射线管的面板玻璃的内表面，也能以正确的宽度和节距形成荧光面图案。
日本特开平8-185798号公报[专利文献2]日本特开平7-122184号公报发明内容在面板部的外表面大致平坦的图11所示的平板型彩色阴极射线管中，面板部的壁厚在中央部和周边部不同，由此，存在三色的亮度产生差异，有可能损害白色均匀性的问题。为了解决该问题，需要只校正一色的BM宽度。
可是，需要准备透射率不同的渐变滤光片(grading filter)，但如专利文献1、2所示，调光滤光片3或CAD滤光片42那样的渐变滤光片是三色公用的样式，在曝光中途更换困难。作为补偿方法，考虑组合渐变滤光片和局部调整滤光片来曝光，调整上述BM宽度。但是，如果增加上述局部调整滤光片，则由于两滤光片的相互干扰，难以得到所需的荧光面。
为了解决上述问题，在本发明中，校正滤光片采用渐变滤光片、三色公共局部校正滤光片以及单色局部校正滤光片的组合。此外，在各曝光工序中使校正滤光片和曝光光源位移地曝光。
根据本发明，能取得以下的显著效果能抑制滤光片彼此之间的干扰，能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素，能提高品质，并能同时实现三色公共校正和分色校正，能获得能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素的高品质的彩色阴极射线管。
此外，根据本发明，还能取得以下的显著效果能准确地进行整个面板内表面的校正，能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素，在三种曝光的各曝光中能容易地找到中心，能抑制BM膜和荧光体像素的尺寸变动，能准确地进行面板周边部的校正，能在整个荧光面进行所要的校正。
此外，根据本发明，通过确定相对位移量，在三种曝光的各曝光中能准确地找到中心，能抑制BM膜和荧光体像素的尺寸变动，并且能抑制滤光片彼此之间的干扰，能获得能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素的高品质的彩色阴极射线管。
此外，根据本发明，还能同时实现三色公共校正和分色校正，能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素，并且能抑制滤光片彼此之间的干扰，能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素的同时准确地进行整个面板内表面的校正，能获得能在整个荧光面得到所要尺寸的BM膜和荧光体像素的高品质的彩色阴极射线管。
下面简要说明附图。
图1是表示用于说明制造本发明的彩色阴极射线管的方法的实施例1的曝光装置的一个例子的示意俯视图。
图2是图1的A-A线剖视图。
图3是表示本发明实施例1的校正透镜-校正滤光片的组合结构例的示意剖视图。
图4A～图4C表示本发明实施例1的单色用局部校正滤光片的例子，图4A、图4C是旁侧射束(side beam)用局部校正滤光片的示意俯视图，图4B是中央光束(center beam)用局部校正滤光片的示意俯视图。
图5是表示本发明实施例1的多色用局部校正滤光片的一个例子的示意俯视图。
图6是表示本发明实施例1的渐变滤光片的一个例子的示意俯视图。
图7是表示在本发明实施例2的彩色阴极射线管的制造中使用的曝光装置的例子的示意剖视图。
图8是本发明实施例3的渐变滤光片的示意俯视图。
图9是图8所示的渐变滤光片的光透射率特性图。
图10是用于说明制造本发明的彩色阴极射线管的方法的实施例3的曝光装置的示意剖视图。
图11是说明平面式的荫罩型彩色阴极射线管的构造的概略结构图。
图12是图11的主要部分放大剖视图。
图13是表示以往的曝光装置的一个例子的概略结构图。
图14是表示以往的荧光面形成用曝光方法的概略图。
具体实施例方式
下面参照实施例的附图详细说明本发明的实施例。实施例1涉及使渐变滤光片在Z方向移动后进行曝光的阴极射线管的制造方法。
以下说明的实施例是包括面板部和荫罩的彩色阴极射线管的制造方法，所述面板部在内表面设置了具有多个开口部的黑底膜和配置在该黑底膜的上述开口部的具有3种荧光体像素的荧光面，所述荫罩与该面板部的内表面的上述荧光面相对配置并具有多个电子束通过孔。
黑底膜的形成工序包括第一荧光体像素用孔的曝光工序、第二荧光体像素用孔的曝光工序、第三荧光体像素用孔的曝光工序。在第一荧光体像素用孔的曝光工序中，在面板内表面和曝光光源之间，从光源离开第一距离B1G配置渐变滤光片进行曝光。在第二荧光体像素用孔的曝光工序中，在面板内表面和曝光光源之间，从光源离开第二距离B1B配置渐变滤光片进行曝光。在第三荧光体像素用孔的曝光工序中，在面板内表面和曝光光源之间，从光源离开第三距离B1R配置渐变滤光片进行曝光。这时，第三距离B1R与第一距离B1G或第二距离B1B不同。
此外，在第一荧光体像素用孔的曝光工序中，使绿色荧光体像素用的孔曝光，在第二荧光体像素用孔的曝光工序中，使蓝色荧光体像素用的孔曝光，在第三荧光体像素用孔的曝光工序中，使红色荧光体像素用的孔曝光。
图1和图2是用于说明制造本发明的彩色阴极射线管的方法的实施例1的图，图1是表示曝光装置的一个例子的示意俯视图，图2是图1的A-A线剖视图。在图1和图2中，11是曝光光源，12是渐变滤光片，13是中央射束用局部校正滤光片，13S1是第一旁侧射束用局部校正滤光片，13S2是第二旁侧射束用局部校正滤光片，把这些局部校正滤光片总称为单色用局部校正滤光片13。14是多色用局部校正滤光片，15是第一校正透镜；16C是中央射束用第二校正透镜，16S1是第一旁侧射束用第二校正透镜，16S2是第二旁侧射束用第二校正透镜。17是荫罩，18是面板部，19是面板定位部，20是突起，21是存放室，22是装置主体。
多色用局部校正滤光片14和第一校正透镜15是作为不同零件制造的，但是在曝光时重叠配置在相同的配置台上。此外，单色用局部校正滤光片13和第二校正透镜16是作为不同零件制造的，但是在曝光时一起移动。
此外，参照标号24是用于设置透镜和滤光片的配置台，25是用于设置渐变滤光片12的渐变滤光片配置台，26是在Z方向引导渐变滤光片配置台25的导柱。
设置了渐变滤光片12的渐变滤光片配置台能通过未图示的驱动机构在Z方向移动。在曝光时，为固定了渐变滤光片的位置的状态。
渐变滤光片在中央部的光透射率低，越到周边，光透射率越高。如果使渐变滤光片在Z方向变化，则在周边部，透射率的变化大，在中央部，透射率的变化小。当在接近光源11的位置配置了渐变滤光片时，对面板中央部照射的光通过渐变滤光片的透射率低的部位，对面板周边部照射的光也通过透射率低的部位。因此，在面板周边部，曝光量少。
而在远离光源11的位置配置了渐变滤光片时，对面板中央部照射的光通过渐变滤光片的透射率低的部位，对面板周边部照射的光通过透射率高的部位。因此，在面板周边部，曝光量多。因此，通过调整涂敷在面板内表面的显影液的灵敏度和曝光时间，使用一个渐变滤光片就能改变面板周边部的BM孔径。
通过使渐变滤光片能独立地在上下方向进行调整，可容易调节面板周边部的曝光量。由于用一个渐变滤光片就能调节面板周边部的曝光量，所以每次曝光时，不用改变渐变滤光片就能调节面板周边部的BM孔径。此外，即使按各色用BM孔来改变BM孔径的变化率，也能抑制白均匀性的劣化。在面板中央部，即使在Z方向改变渐变滤光片的位置，各孔用的曝光量的变化也较少。
使用这样的曝光装置，在面板部18的内侧安装了荫罩17的状态下，使外表面大致平坦、周边部的壁厚比中央部的壁厚厚的平面式的面板部18与装置主体22上的面板定位部19的突起20抵接地进行放置，用来自曝光光源11的光线曝光，形成具有预定图案的荧光面。
在本实施例中，在曝光时，作为校正滤光片，插入光透射率在中央和周边是变化的、三色公用的渐变滤光片12，校正一定的透射率的各色用的单色用局部校正滤光片13，以及校正一定的透射率的三色公用的多色用局部校正滤光片14，把它们与多个校正透镜组合起来进行曝光，形成所要的图案。
各色用的单色用局部校正滤光片13包括中央射束用局部校正滤光片13C、两个旁侧射束用局部校正滤光片13S1、13S2，分别与曝光光源11的位置配合使用。即在中央射束用曝光时，退到Y轴方向的存放室21C中的中央射束用局部校正滤光片13C从退避位置移动到管轴上的预定位置。移动后，与预先配置在管轴上的预定位置的渐变滤光片12、多色用局部校正滤光片14组合起来进行曝光，曝光结束后，退到存放室21C中存放，备用。
而两个旁侧射束用局部校正滤光片13S1、13S2在各自的旁侧射束用曝光时，分别从各存放室21S1、21S2移动到管轴上的预定位置，与预先配置在管轴上的预定位置的渐变滤光片12、多色用局部校正滤光片14组合起来进行曝光，曝光结束后，退到存放室21S1、21S2中存放，备用。在各自的曝光时，光源位置在X方向发生偏移。此外，BM孔为条状时，一边使光源在Y方向移动，一边进行曝光。
图3～图6表示在制造本发明的彩色阴极射线管的方法的实施例1中使用的校正透镜和校正滤光片的例子，图3是表示校正透镜-校正滤光片的组合结构的一个例子的示意剖视图，图4A、图4B、图4C表示单色用局部校正滤光片，图4A、图4C是旁侧光束用局部校正滤光片的示意俯视图，图4B是中央射束用局部校正滤光片的示意俯视图，图5是多色用局部校正滤光片的示意俯视图，图6是渐变滤光片的示意俯视图，在各图中，对与上述附图相同的部分赋予相同的标号。
首先，说明形成BM孔时的曝光工序。首先，进行用于形成绿色荧光体用的BM孔的曝光。分别在预定的位置配置多色用局部校正滤光片14、第一校正透镜、中央射束用局部校正滤光片13C、第二校正透镜16、渐变滤光片12，在曝光台22上配置安装了荫罩的面板，然后进行曝光。
接着，进行用于形成蓝色荧光体用的BM孔的曝光。使光源在X方向移动，使中央射束用局部校正滤光片13C和中央射束用第二校正透镜16从配置台24退下来，在配置台24上设置第一旁侧射束用局部校正滤光片13S1和第一旁侧射束用第二校正透镜16S1，然后进行曝光。
接着，进行用于形成红色荧光体用的BM孔的曝光。使光源在X方向移动，使第一旁侧射束用局部校正滤光片13S1和第一旁侧射束用第二校正透镜16S1从配置台24上退下来，在配置台24上设置第二旁侧射束用局部校正滤光片13S2和第二旁侧射束用第二校正透镜16S2，并使渐变滤光片12向面板侧移动，然后进行曝光。
通过这样曝光，在面板周边部形成大的红色用BM孔。
在图3中，渐变滤光片12、多色用局部校正滤光片14以及第一校正透镜15同轴配置，根据中央射束用的曝光和旁侧射束用的曝光，选择单色用局部校正滤光片13中的一个和与它成对的第二校正透镜16中的一个。
图4A、图4B、图4C表示局部校正滤光片13的校正图案的例子，图4A所示的旁侧射束用局部校正滤光片13S1具有半月状的图案13S1p，图4C所示的另一个旁侧射束用局部校正滤光片13S2具有矩形图案13S2p，图4B所示的中央射束用局部校正滤光片13C具有弓形的图案13Cp。
图5表示多色用局部校正滤光片14的校正图案的例子，是在X方向的两端具有三角形的透射率高的图案14p的结构。
图6表示渐变滤光片12的校正图案的例子。渐变滤光片12在中央部的光透射率最低，越向周边部，光透射率越高。渐变滤光片12由具有大致同心圆的图案12Ap、12Bp的渐变滤光片12A、12B构成。
根据实施例1的结构，通过使校正透镜与渐变滤光片12、单色用局部校正滤光片13以及多色用局部校正滤光片14进行组合，能同时实现三色公共校正和单色个别校正，能制造三色间没有发光亮度差的白色均匀性优异的彩色阴极射线管。
在实施例2的制造方法中，使渐变滤光片在Z方向移动后曝光。本实施例是包括面板部和荫罩的彩色阴极射线管的制造方法，所述面板部在内表面设置了具有多个开口部的黑底膜和配置在该黑底膜的上述开口部的具有3种荧光体像素的荧光面，所述荫罩与该面板部的内表面的上述荧光面相对配置并具有多个电子束通过孔。
黑底膜的形成工序包括第一荧光体像素用孔的曝光工序、第二荧光体像素用孔的曝光工序、第三荧光体像素用孔的曝光工序。在第一荧光体像素用孔的曝光工序中，在与面板面垂直地通过面板的中央部的面板轴上配置光源中心，在面板和曝光光源间配置校正透镜和渐变滤光片进行曝光。在第二荧光体像素用孔的曝光工序和第三荧光体像素用孔的曝光工序中，光源中心从面板轴沿水平方向移动。
此外，当设面板轴和光源中心的距离为S、面板轴和光源中心或渐变滤光片中心的距离为D、在面板轴上配置了光源时的面板和光源的距离为L、光源中心和上述校正透镜或上述渐变滤光片的距离为B时，下式成立。
D＝S×(L-B)/L此外，黑底膜的形成工序包括第一荧光体像素用孔的曝光工序、第二荧光体像素用孔的曝光工序、第三荧光体像素用孔的曝光工序。在第一荧光体像素用孔的曝光工序、第二荧光体像素用孔的曝光工序、第三荧光体像素用孔的曝光工序中，渐变滤光片和多色用局部校正滤光片配置在面板和曝光光源之间。曝光光源在上述各曝光工序中，在X轴方向位置不同，各曝光工序中的上述渐变滤光片的中心位置和上述多色用局部校正滤光片的中心位置位于上述面板内表面的中心与上述光源的中心的连线上。另外，面板部在X轴方向具有长轴，在Y轴方向具有短轴。
此外，在第一荧光体像素用孔的曝光工序中，第一荧光体像素用局部校正滤光片配置在面板和曝光光源之间，第一荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于面板内表面的中心与上述光源的中心的连线上。
此外，在第二荧光体像素用孔的曝光工序中，第二荧光体像素用局部校正滤光片配置在面板和曝光光源之间，第二荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于面板内表面的中心与光源的中心的连线上。
此外，在第三荧光体像素用孔的曝光工序中，第三荧光体像素用局部校正滤光片配置在面板和曝光光源之间，第三荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于面板内表面的中心与光源的中心的连线上。
图7是表示用于说明制造本发明的彩色阴极射线管的实施例2的曝光装置的例子的示意剖视图，对于与上述附图相同的部分赋予相同的标号。在图7中，在进行外表面大致平坦、周边部的壁厚比中央部的壁厚厚的平面式的面板部18的曝光时，曝光时的光源11和面板部18的内表面之间设定为间隔L。从光源11侧向面板侧按照渐变滤光片12、单色用局部校正滤光片13、多色用局部校正滤光片14的顺序配置各校正滤光片。渐变滤光片12和光源11的间隔为B1，单色用局部校正滤光片13和光源11的间隔为B2，多色用局部校正滤光片14和光源11的间隔为B3。
如图12所示，以荫罩为基准确定电子束以及从曝光光源照射的光的照射位置。荫罩和面板内表面的距离，是比电子束的偏转中心和面板内表面的距离或曝光光源和面板内表面的距离L小很多的值，所以可以忽略。因此，在实施例中，使用面板中心和光源的距离L。
在曝光工序中，特别是在旁侧射束用曝光中，各旁侧射束用曝光光源11S1以及11S2设定在距中央射束用光源11C为尺寸S的位置。因此，在使用旁侧射束用曝光光源时，使渐变滤光片12、单色用局部校正滤光片13以及多色用局部校正滤光片14与面板部18内表面大致平行地在X方向分别移动预定的尺寸。
渐变滤光片12的位移D1＝S×(L-B1)/L单色用局部校正滤光片13的位移D2＝S×(L-B2)/L多色用局部校正滤光片14的位移D3＝S×(L-B3)/L当然，在两个旁侧射束用曝光光源11S1和11S2中，移动方向相反。该移动机构可以利用凸轮方式或脉冲电机方式。此外，参照标号23是附属于光源装置的玻璃板。
在本实施例中，光源的间隔S最长，在靠近面板的位置配置的滤光片，越靠近面板，位移越小。即、S＞D1＞D2＞D3。
根据实施例2的结构，使校正滤光片和光源进行相对位移地曝光，从而容易找到三色的各曝光中的中心，能抑制曝光图案的变动，能制造三色间没有发光亮度差的白色均匀性优异的彩色阴极射线管。
图8～图10是用于说明本发明的彩色阴极射线管的制造方法的图。图8是渐变滤光片的示意俯视图，图9是图8的渐变滤光片的透射率特性图，图10是说明渐变滤光片的位移和光透射率变化的关系的曝光装置的示意剖视图，在各图中，对于与上述附图相同的部分赋予相同的标号。
渐变滤光片12具有大致同心圆状的图案12p，该图案12p具有如图9所示的一例那样，中央部的光透射率最低，越到周边部，光透射率越高的特性。在与管轴(Z轴)平行的方向，与光源11隔开B1的间隔配置渐变滤光片12。
在本实施例中，使用具有上述光源11和渐变滤光片12的位置相关关系的曝光装置。渐变滤光片12在B1～B1+ΔB1间位移地进行曝光。该ΔB1的值，根据面板的大小，可选择各种尺寸，但是，实用的是在B1尺寸的10％～70％左右。
根据该曝光方法，在位移到B1+ΔB1的状态下，从光源11发出的光E从图案12p的点P1透过光透射率高的点P2，据此，能控制被曝光面的曝光光量。
根据实施例3的结构，通过使渐变滤光片12和光源11的间隔在B1～B1+ΔB1间位移地进行曝光，能在整个面板内表面抑制曝光图案的变动，能制造三色间没有发光亮度差的白色均匀性优异的彩色阴极射线管。
另外，本发明并不限于上述实施例，在不脱离本发明的思想的范围中能进行各种变更。
权利要求
1.一种彩色阴极射线管的制造方法，该彩色阴极射线管包括面板部和荫罩，所述面板部在内表面设置了具有多个开口部的黑底膜和配置在该黑底膜的上述开口部的具有3种荧光体像素的荧光面，所述荫罩与上述面板部的内表面的上述荧光面相对配置并具有多个电子束通过孔，其特征在于上述黑底膜的形成步骤包括第一荧光体像素用孔的曝光步骤、第二荧光体像素用孔的曝光步骤、第三荧光体像素用孔的曝光步骤，在上述第一荧光体像素用孔的曝光步骤中，在面板内表面和曝光光源之间，从上述曝光光源离开第一距离配置渐变滤光片进行曝光，在上述第二荧光体像素用孔的曝光步骤中，在面板内表面和曝光光源之间，从上述曝光光源离开第二距离配置渐变滤光片进行曝光，在上述第三荧光体像素用孔的曝光步骤中，在面板内表面和曝光光源之间，从上述曝光光源离开第三距离配置渐变滤光片进行曝光；上述第一距离、上述第二距离、上述第三距离中的至少一个与其它的距离不同。
2.根据权利要求1所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于上述第三距离与上述第一距离或上述第二距离不同。
3.根据权利要求1或2所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于上述黑底膜的形成步骤包括在第一荧光体像素用孔的曝光步骤中对绿色荧光体像素用的孔进行曝光的步骤、在第二荧光体像素用孔的曝光步骤中对蓝色荧光体像素用的孔进行曝光的步骤、在第三荧光体像素用孔的曝光步骤中对红色荧光体像素用的孔进行曝光的步骤。
4.一种彩色阴极射线管的制造方法，该彩色阴极射线管包括面板部和荫罩，所述面板部在内表面设置了具有多个开口部的黑底膜和配置在该黑底膜的上述开口部的具有3种荧光体像素的荧光面，所述荫罩与上述面板部的内表面的上述荧光面相对配置并具有多个电子束通过孔，其特征在于上述黑底膜的形成步骤包括第一荧光体像素用孔的曝光步骤、第二荧光体像素用孔的曝光步骤、第三荧光体像素用孔的曝光步骤，在上述第一荧光体像素用孔的曝光步骤中，在与面板面垂直地通过面板的中央部的面板轴上配置光源中心，在面板和曝光光源之间配置校正透镜和渐变滤光片进行曝光；在上述第二荧光体像素用孔的曝光步骤和第三荧光体像素用孔的曝光步骤中，光源中心从面板轴沿水平方向位移，当设面板轴与光源中心的距离为S、面板轴与校正透镜中心或渐变滤光片中心的距离为D、在面板轴上配置光源时的面板与光源的距离为L、光源中心与上述校正透镜或上述渐变滤光片的距离为B时，D＝S×(L-B)/L成立。
5.一种彩色阴极射线管的制造方法，该彩色阴极射线管包括面板部和荫罩，所述面板部在内表面设置了具有多个开口部的黑底膜和配置在该黑底膜的上述开口部的具有3种荧光体像素的荧光面，所述荫罩与上述面板部的内表面的上述荧光面相对配置并具有多个电子束通过孔，其特征在于上述面板部，在X轴方向具有长轴，在Y轴方向具有短轴；上述黑底膜的形成步骤包括第一荧光体像素用孔的曝光步骤、第二荧光体像素用孔的曝光步骤、第三荧光体像素用孔的曝光步骤；在上述第一荧光体像素用孔的曝光步骤、上述第二荧光体像素用孔的曝光步骤和上述第三荧光体像素用孔的曝光步骤中，在上述面板和曝光光源之间配置渐变滤光片和多色用局部校正滤光片；上述曝光光源，在上述各曝光步骤中在X轴方向的位置是不同的；上述各曝光步骤中的上述渐变滤光片的中心位置和上述多色用局部校正滤光片的中心位置，位于上述面板内表面的中心与上述光源的中心的连线上。
6.根据权利要求5所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于在上述第一荧光体像素用孔的曝光步骤中，第一荧光体像素用局部校正滤光片配置在上述面板和曝光光源之间，上述第一荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于上述面板内表面的中心与上述光源的中心的连线上。
7.根据权利要求5所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于在上述第二荧光体像素用孔的曝光步骤中，第二荧光体像素用局部校正滤光片配置在上述面板和曝光光源之间，上述第二荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于上述面板内表面的中心与上述光源的中心的连线上。
8.根据权利要求5所述的彩色阴极射线管的制造方法，其特征在于在上述第三荧光体像素用孔的曝光步骤中，第三荧光体像素用局部校正滤光片配置在上述面板和曝光光源之间，上述第三荧光体像素用局部校正滤光片的中心位置位于上述面板内表面的中心与上述光源的中心连接的连线上。
全文摘要
本发明提供一种彩色阴极射线管的制造方法，在形成荧光面的曝光中使用的校正滤光片包括渐变滤光片(12)、单色用局部校正滤光片(13)和多色用局部校正滤光片(14)等3种校正滤光片。通过使用3种校正滤光片，能改善平面式彩色阴极射线管的由面板部中央和周边部的壁厚差引起的白色均匀性。
文档编号H01J9/227GK1812040SQ20061000279
公开日2006年8月2日 申请日期2006年1月28日 优先权日2005年1月28日
发明者伊藤洋一, 无藤里志 申请人:株式会社日立显示器