专利名称：一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种具有单晶片注入要求的离子注入机晶片盒翻转系统，特别涉及一种该系统中用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，属于半导体器件制造领域。
背景技术：
近年来，随着半导体集成电路技术和芯片技术的发展，半导体集成电路制造技术中，集成度越来越高，电路规模越来越大，电路中单元器件尺寸越来越小，对各种半导体工艺设备提出了更高的要求。离子注入机作为半导体离子掺杂工艺线的关键设备之一，也对它提出了很高的要求，要求离子注入机具有整机可靠性好、生产效率高、多种电荷态离子宽能量范围注入、精确控制束纯度、低尘粒污染、整机全自动控制、注片均匀性和平行度好等多种功能和特征。为了满足以上精确控制束注入能量精度要求，就要实现对束流进行取样分析的工作，以获知终端束流大小，从而控制晶片上精确的注入剂量。
发明内容
本实用新型即是针对现有技术中存在的问题而提出的一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，通过本装置对束流的取样分析，可以获知终端的束流大小，从而控制晶片上精确的注入剂量，是一种具有自冷却效果的，针对靶室终端而设计的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置。
本实用新型通过以下技术方案实现一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，固定法拉第筒包括在一法拉第外腔体内，一法拉第内腔体通过一绝缘瓷固定在法拉第外腔体上、其相互绝缘，在法拉第内腔体和法拉第外腔体之间设置一固定在绝缘瓷上的抑制极，所述抑制极与法拉第内腔体之间保持一定的空隙，法拉第外腔体外固定连接有一水冷板，所述法拉第筒通过水冷板悬挂在起固定整个装置的大法兰下部，大法兰上设有一个起密封作用的O型密封圈。
本实用新型还可以是所述法拉第内腔体为积累电荷的金属腔体，所述大法兰上部设有连接给排水管一端的小法兰，给排水管的另一端连接至所述水冷板的底部，固定给排水管的连接块固定在大法兰上面，在所述给排水管上套有起隔热保护作用的石墨管，在所述法拉第外腔体一侧设有开口，在开口处盖有一盖板，从法拉第筒引出的导线通过固定导线的小盖板、接线筒和走线管与大法兰连接。
本实用新型具有如下显著优点1.固定法拉第筒是用于束流取样测量的装置，2.能够精确的进行束流的取样测量。
3.结构简单，运行可靠。
图1表示本实用新型一种用于束流取样测量的固定法拉第简装置的一个实施例结构示意图。
图2表示图1的右视图。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步介绍，但不作为对本实用新型的限定。
如图1、图2所示，一种用于束流取样测量的固定法拉第简装置，固定法拉第筒是在一法拉第外腔体3内，一法拉第内腔体2通过一绝缘瓷13固定在法拉第外腔体3上、使法拉第外腔体3和法拉第内腔体2相互绝缘，所述法拉第内腔体2为积累电荷的金属腔体，在所述法拉第外腔体3一侧设有开口，在开口处盖有一盖板1，起防尘和保护的作用，在法拉第内腔体2和法拉第外腔体3之间设置一固定在绝缘瓷13上的抑制极4，所述抑制极4与法拉第内腔体2之间保持一定的空隙，法拉第外腔体3外固定连接有一水冷板14，所述法拉第筒通过水冷板14悬挂在起固定整个装置及密封作用的大法兰7下部，大法兰7上设有一个起密封作用的O型密封圈15，所述大法兰7上部设有连接给排水管10一端的小法兰8，给排水管10的另一端连接至所述水冷板14的底部，固定给排水管10的连接块9固定在大法兰7上面，在所述给排水管10上套有起隔热保护作用的石墨管11，从法拉第筒引出的导线通过固定导线的小盖板5、接线筒12和走线管6与大法兰7连接，主要是固定走线的作用。
本实用新型的特定实施例已对本实用新型的内容做了详尽说明。对本领域一般技术人员而言，在不背离本实用新型构思的前提下对它所做的任何显而易见的改动，都不会超出本实用新型所附权利要求的保护范围。
权利要求1.一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于固定法拉第筒包括在一法拉第外腔体(3)内，一法拉第内腔体(2)通过一绝缘瓷(13)固定在法拉第外腔体(3)上，其相互绝缘，在法拉第内腔体(2)和法拉第外腔体(3)之间设置一固定在绝缘瓷(13)上的抑制极(4)，所述抑制极(4)与法拉第内腔体(2)之间保持一定的空隙，法拉第外腔体(3)外固定连接有一水冷板(14)，所述法拉第筒通过水冷板(14)悬挂在起固定整个装置的大法兰(7)下部，大法兰(7)上设有一个起密封作用的O型密封圈(15)。
2.根据权利要求1所述的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于所述法拉第内腔体(2)为积累电荷的金属腔体。
3.根据权利要求2所述的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于所述大法兰(7)上部设有连接给排水管(10)一端的小法兰(8)，给排水管(10)的另一端连接至所述水冷板(14)的底部，固定给排水管(10)的连接块(9)固定在大法兰(7)上面。
4.根据权利要求3所述的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于在所述给排水管(10)上套有起隔热保护作用的石墨管(11)。
5.根据权利要求4所述的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于在所述法拉第外腔体(3)一侧设有开口，在开口处盖有一盖板(1)。
6.根据权利要求5所述的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，其特征在于从法拉第筒引出的导线通过固定导线的小盖板(5)、接线筒(12)和走线管(6)与大法兰(7)连接。
专利摘要本实用新型涉及一种用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，属于半导体器件制造领域，通过本装置对束流的取样分析，可得知终端的束流大小，控制晶片上精确的注入剂量，是一种具有自冷却效果的，针对靶室终端而设计的用于束流取样测量的固定法拉第筒装置，固定法拉第筒包括在一法拉第外腔体内，一法拉第内腔体通过一绝缘瓷固定在法拉第外腔体上、在法拉第内腔体和法拉第外腔体之间设置一固定在绝缘瓷上的抑制极，所述抑制极与法拉第内腔体之间保持一定的空隙，法拉第外腔体外固定连接一水冷板，所述法拉第筒通过水冷板悬挂在起固定整个装置的大法兰下部，大法兰上设一起密封作用的O型密封圈，能够精确的进行束流的取样测量，结构简单，运行可靠。
文档编号H01J37/317GK2906915SQ20062000817
公开日2007年5月30日 申请日期2006年3月17日 优先权日2006年3月17日
发明者易文杰, 郭健辉, 彭立波, 谢均宇 申请人:北京中科信电子装备有限公司