专利名称：悬粱式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器及其制作工艺的制作方法
技术领域：
本发明属于平板显示技术领域、纳米科学与技术领域以及真空科学与技术领域的
相互交叉领域，涉及到平板场致发射显示器的器件制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平板 场致发射显示器的器件制作，特别涉及一种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器 及其制作工艺。
背景技术：
显示器件的主要功能就是进行图像显示。在目前的平板显示器件中，场致发射显 示器无疑是最引人注目的一款平板显示设备，它不仅具有CRT显示器的高图像质量，同时 还兼顾具有低制作成本、低功耗、宽适用温区、薄型化、完全平板化等优点，已经得到了众多 科研人员的青睐。作为显示器件中的重要组成部分_阴极材料，碳纳米管无疑是最佳的选 择，它可以在外加较低的电场强度下发射出大量的电子，且制作工艺简单。碳纳米管材料的 加入，使得场致发射平板显示器的研究进展得到了极大的加速。但是，在目前所研发的三极 结构的、碳纳米管阴极的场致发射显示器中，普遍都存在着栅极工作电压过高、栅极工作电 流偏大等不利之处，在加之对栅极制作材料要求比较苛刻，对栅极制作工艺过于复杂化等 缺陷，使得场致发射显示器的研究进展出现了阻碍，也极大推迟了场致发射显示器进行市 场产品化的进程。这不仅不符合低压低成本平板器件的要求和原则，而且还迫使整体器件 的制作成本居高不下。而对于碳纳米管阴极的制作工艺以及制作结构也没有一个令人满意 的方案，都还需要进行大量的研究和开发。此外，对于整体平板显示器件的制作，制作工艺 简单、制作过程稳定可靠也是不可忽视的一个重要方面。
发明内容
本发明的目的在于克服上述平板显示器件中存在的缺点和不足而提供一种成本 低廉、制作过程稳定可靠、制作工艺简单的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器 及其制作工艺。 本发明的目的是这样实现的 —种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板1、阳 极玻璃面板21和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层 20、阳极连线层22、阳极绝缘层18以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层19 ;位于阳极玻 璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器16和消气剂15 ;其特征在于
所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃 面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡层2 ;阻挡层上面存在阴极底层3 ;阴极底层的周围 存在阴极连线层4 ;阴极连线层和阴极底层是相互连通的；阴极底层上面存在阴极提升一
层5，阴极提升二层6和阴极提升三层7 ;阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的形 状相同，均为圆柱体形状，且圆柱体的高度和横截面直径相同；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的上下表面均为平面，下表面均和阴极底层相接触；阴极提升一层，阴极 提升二层和阴极提升三层排成一列，呈现一条直线形，其中阴极提升一层位于直线形排列 的一端，阴极提升三层位于直线形排列的另一端，阴极提升二层位于阴极提升一层和阴极 提升三层的中间位置；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的上面存在阴极连续 层8 ;阴极连续层呈现长条形形状，其一端位于阴极提升一层的上表面，端头呈现半圆型形 状，其半圆型形状的直径与阴极提升一层上表面的直径相同，其半圆型形状的边缘与阴极 提升一层的上表面的边缘相重合，阴极连续层的另一端位于阴极提升三层的上表面，端头 呈现半圆型形状，其半圆型形状的直径与阴极提升三层上表面的直径相同，其半圆型形状 的边缘与阴极提升三层的上表面的边缘相重合；阴极连续层的其余两个边缘为相互平行的 直线型，两个平行边之间的宽度与阴极提升二层上表面的直径相同；阴极连续层的中间位 置位于阴极提升二层上表面上；阴极连续层中位于阴极提升一层和阴极提升二层之间的部 位是呈现悬空状态的，阴极连续层中位于阴极提升二层和阴极提升三层之间的部位是呈现 悬空状态的；阴极连续层的上面存在阴极牺牲层9，阴极牺牲层布满阴极连续层的上表面； 阴极底层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成阻滞一层10 ;阻滞一层的上下表面均为平面，其 下表面和阴极底层相接触；阻滞一层中存在矩形电子孔，暴露出下面的部分阴极底层，阴极 提升一层，阴极提升二层，阴极提升三层，阴极连续层，阴极牺牲层；阻滞一层中的矩形电子 孔的侧壁是垂直于阴极底层表面的；阻滞一层中矩形电子孔的侧壁和上表面交界处存在向 内凹陷的斜坡面，斜坡面为倾斜的平面，斜坡面和矩形电子孔侧壁的交界处位置低，斜坡面 和阻滞一层上表面的交界处位置高；阻滞一层上面存在栅极传导层ll，栅极传导层要布满 阻滞一层中矩形电子孔侧壁与阻滞一层上表面交界处的斜坡面，其前端延伸到矩形电子孔 中，呈现悬空状态；栅极传导层的周围存在栅极连线层12，栅极连线层和栅极传导层是相 互连通的；阻滞一层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成阻滞二层13，阻滞二层覆盖栅极传导 层和栅极连线层；碳纳米管14制备在阴极牺牲层的上面。 所述的阴极底层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连线层为金属 金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升一层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之 一 ；阴极提升二层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升三层为金属金、银、 铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连续层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极 牺牲层为金属铁、钴、镍之一 ；栅极传导层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；栅极 连线层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一；栅极传导层的走向和阴极底层的走向是 相互垂直的。 —种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其 制作步骤如下 1)阴极玻璃面板1的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；
2)阻挡层2的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阻挡层； 3)阴极底层3的制作在阴极玻璃面板上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成 阴极底层； 4)阴极连线层4的制作在阴极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阴极连线层；
5)阴极提升一层5、阴极提升二层6、阴极提升三层7的制作在阴极底层的上 面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三 层； 6)阴极连续层8的制作在阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三层的上面制 备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极连续层； 7)阴极牺牲层9的制作在阴极连续层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后 形成阴极牺牲层； 8)阻滞一层10的制作在阴极底层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阻滞一层； 9)栅极传导层11的制作在阻滞一层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形 成栅极传导层； 10)栅极连线层12的制作在栅极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺 后形成栅极连线层； 11)阻滞二层13的制作在阻滞一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阻滞二层； 12)悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的表面清洁处理对悬梁式单条阴极型矩形 栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 13)碳纳米管14的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；
14)阳极玻璃面板21的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；
15)阳极传导层20的制作在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻 蚀工艺后形成阳极传导层； 16)阳极连线层22的制作在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阳极连线层； 17)阳极绝缘层18的制作在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工 艺后形成阳极绝缘层； 18)荧光粉层19的制备在阳极传导层的上面制备出荧光粉，经常规烘烤工艺后 形成荧光粉层； 19)器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、分隔支撑器16、玻璃边框17装配
到一起，并将消气剂15安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定； 20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。 所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空余位
置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度22(TC，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进
行高温烧结，烧结温度58(TC，保持时间10分钟。 所述步骤18具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在 烘箱当中进行烘烤，烘烤温度12(TC，保持时间10分钟。 所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入 烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机 上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。 本发明具有如下的积极效果本发明中的主要特点在于制作了具有悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的、碳纳米管阴极的平板场致发射平板显示器件。将高性能的制作材料 和低成本的制作工艺有机结合起来，制作出性能更加优良的平板发光器件。其一，采用了悬 梁式单条阴极型结构，能够极大地提升碳纳米管的发射效率；其二，采用了矩形栅控结构， 不仅简化了栅极结构的制作工艺，降低了制作难度，而且还进一步縮减了栅极-阴极之间 的有效距离，从而达到降低器件工作电压的目的；其三，在本发明中，碳纳米管阴极的制作 不受其它制作器件工艺的影响，极大减少了碳纳米管阴极的损伤，提高了显示器件制作的 成功率。 此外，在本发明中的器件制作过程中，并没有采用特殊的器件制作材料以及特殊 的器件制作工艺，降低了器件制作成本，具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠 的优越之处。
图1给出了悬梁式单条阴极型矩形栅
图2给出了悬梁式单条阴极型矩形栅
图3给出了悬梁式单条阴极型矩形栅 器的结构示意图。
控结构的纵向结构示意图。 控结构的横向结构示意图。 [控结构的、碳纳米管阴极场致发射平板显示
具体实施例方式
下面结合附图和实施例对本发明进一步说明，但本发明并不局限于实施例。
如图1、2、3所示，一种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器，包括由阴 极玻璃面板1、阳极玻璃面板21和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板 上的阳极传导层20、阳极连线层22、阳极绝缘层18以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层 19 ;位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器16和消气剂15 ;其特征在于
所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的基底材料为阴极玻璃面板；阴极玻璃面 板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡层；阻挡层上面存在阴极底层；阴极底层的周围存在 阴极连线层；阴极连线层和阴极底层是相互连通的；阴极底层上面存在阴极提升一层，阴 极提升二层和阴极提升三层；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的形状相同，均 为圆柱体形状，且圆柱体的高度和横截面直径相同；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提 升三层的上下表面均为平面，下表面均和阴极底层相接触；阴极提升一层，阴极提升二层和 阴极提升三层排成一列，呈现一条直线形，其中阴极提升一层位于直线形排列的一端，阴极 提升三层位于直线形排列的另一端，阴极提升二层位于阴极提升一层和阴极提升三层的中 间位置；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的上面存在阴极连续层；阴极连续 层呈现长条形形状，其一端位于阴极提升一层的上表面，端头呈现半圆型形状，其半圆型形 状的直径与阴极提升一层上表面的直径相同，其半圆型形状的边缘与阴极提升一层的上表 面的边缘相重合，阴极连续层的另一端位于阴极提升三层的上表面，端头呈现半圆型形状， 其半圆型形状的直径与阴极提升三层上表面的直径相同，其半圆型形状的边缘与阴极提升 三层的上表面的边缘相重合；阴极连续层的其余两个边缘为相互平行的直线型，两个平行 边之间的宽度与阴极提升二层上表面的直径相同；阴极连续层的中间位置位于阴极提升二 层上表面上；阴极连续层中位于阴极提升一层和阴极提升二层之间的部位是呈现悬空状态的，阴极连续层中位于阴极提升二层和阴极提升三层之间的部位是呈现悬空状态的；阴极 连续层的上面存在阴极牺牲层，阴极牺牲层布满阴极连续层的上表面；阴极底层上面印刷 并烧结的绝缘浆料形成阻滞一层；阻滞一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极底层相 接触；阻滞一层中存在矩形电子孔，暴露出下面的部分阴极底层，阴极提升一层，阴极提升 二层，阴极提升三层，阴极连续层，阴极牺牲层；阻滞一层中的矩形电子孔的侧壁是垂直于 阴极底层表面的；阻滞一层中矩形电子孔的侧壁和上表面交界处存在向内凹陷的斜坡面， 斜坡面为倾斜的平面，斜坡面和矩形电子孔侧壁的交界处位置低，斜坡面和阻滞一层上表 面的交界处位置高；阻滞一层上面存在栅极传导层，栅极传导层要布满阻滞一层中矩形电 子孔侧壁与阻滞一层上表面交界处的斜坡面，其前端延伸到矩形电子孔中，呈现悬空状态； 栅极传导层的周围存在栅极连线层，栅极连线层和栅极传导层是相互连通的；阻滞一层上 面印刷并烧结的绝缘浆料形成阻滞二层，阻滞二层覆盖栅极传导层和栅极连线层；碳纳米 管制备在阴极牺牲层的上面。 所述的阴极底层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连线层为金属 金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升一层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之 一 ；阴极提升二层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升三层为金属金、银、 铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连续层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极 牺牲层为金属铁、钴、镍之一 ；栅极传导层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；栅极 连线层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一；栅极传导层的走向和阴极底层的走向是 相互垂直的。 —种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于，其 制作步骤如下 1)阴极玻璃面板1的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；
2)阻挡层2的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阻挡层； 3)阴极底层3的制作在阴极玻璃面板上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成 阴极底层； 4)阴极连线层4的制作在阴极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阴极连线层； 5)阴极提升一层5、阴极提升二层6、阴极提升三层7的制作在阴极底层的上 面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三 层； 6)阴极连续层8的制作在阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三层的上面制 备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极连续层； 7)阴极牺牲层9的制作在阴极连续层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后 形成阴极牺牲层； 8)阻滞一层10的制作在阴极底层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阻滞一层； 9)栅极传导层11的制作在阻滞一层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形 成栅极传导层；
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10)栅极连线层12的制作在栅极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺 后形成栅极连线层； 11)阻滞二层13的制作在阻滞一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阻滞二层； 12)悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的表面清洁处理对悬梁式单条阴极型矩形 栅控结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘； 13)碳纳米管14的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；
14)阳极玻璃面板21的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；
15)阳极传导层20的制作在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻 蚀工艺后形成阳极传导层； 16)阳极连线层22的制作在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阳极连线层； 17)阳极绝缘层18的制作在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工 艺后形成阳极绝缘层； 18)荧光粉层19的制备在阳极传导层的上面制备出荧光粉，经常规烘烤工艺后 形成荧光粉层； 19)器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、分隔支撑器16、玻璃边框17装配
到一起，并将消气剂15安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定； 20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。 所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空余位
置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度22(TC，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉中进
行高温烧结，烧结温度58(TC，保持时间10分钟。 所述步骤18具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉，在 烘箱当中进行烘烤，烘烤温度12(TC，保持时间10分钟。 所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放入 烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消机 上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。 所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板1、阳 极玻璃面板21和玻璃边框17所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层 20、阳极连线层22、阳极绝缘层18以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层19 ;位于阳极玻 璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器16和消气剂15。所述的悬梁式单条阴极型矩形 栅控结构包括阴极玻璃面板1 、阻挡层2、阴极底层3、阴极连线层4、阴极提升一层5、阴极提 升二层6、阴极提升三层7、阴极连续层8、阴极牺牲层9、阻滞一层10、栅极传导层11、栅极 连线层12、阻滞二层13、碳纳米管14部分。所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的基底 材料为钠钙玻璃、硼硅玻璃之一。
权利要求
一种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器，包括由阴极玻璃面板(1)、阳极玻璃面板(21)和玻璃边框(17)所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层(20)、阳极连线层(22)、阳极绝缘层(18)以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层(19)；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器(16)和消气剂(15)；其特征在于所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的基底材料为阴极玻璃面板；在阴极玻璃面板上印刷并烧结的绝缘浆料形成阻挡层(2)；阻挡层上面存在阴极底层(3)；阴极底层的周围存在阴极连线层(4)；阴极连线层和阴极底层是相互连通的；阴极底层上面存在阴极提升一层(5)，阴极提升二层(6)和阴极提升三层(7)；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的形状相同，均为圆柱体形状，且圆柱体的高度和横截面直径相同；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的上下表面均为平面，下表面均和阴极底层相接触；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层排成一列，呈现一条直线形，其中阴极提升一层位于直线形排列的一端，阴极提升三层位于直线形排列的另一端，阴极提升二层位于阴极提升一层和阴极提升三层的中间位置；阴极提升一层，阴极提升二层和阴极提升三层的上面存在阴极连续层(8)；阴极连续层呈现长条形形状，其一端位于阴极提升一层的上表面，端头呈现半圆型形状，其半圆型形状的直径与阴极提升一层上表面的直径相同，其半圆型形状的边缘与阴极提升一层的上表面的边缘相重合，阴极连续层的另一端位于阴极提升三层的上表面，端头呈现半圆型形状，其半圆型形状的直径与阴极提升三层上表面的直径相同，其半圆型形状的边缘与阴极提升三层的上表面的边缘相重合；阴极连续层的其余两个边缘为相互平行的直线型，两个平行边之间的宽度与阴极提升二层上表面的直径相同；阴极连续层的中间位置位于阴极提升二层上表面上；阴极连续层中位于阴极提升一层和阴极提升二层之间的部位是呈现悬空状态的，阴极连续层中位于阴极提升二层和阴极提升三层之间的部位是呈现悬空状态的；阴极连续层的上面存在阴极牺牲层(9)，阴极牺牲层布满阴极连续层的上表面；阴极底层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成阻滞一层(10)；阻滞一层的上下表面均为平面，其下表面和阴极底层相接触；阻滞一层中存在矩形电子孔，暴露出下面的部分阴极底层，阴极提升一层，阴极提升二层，阴极提升三层，阴极连续层，阴极牺牲层；阻滞一层中的矩形电子孔的侧壁是垂直于阴极底层表面的；阻滞一层中矩形电子孔的侧壁和上表面交界处存在向内凹陷的斜坡面，斜坡面为倾斜的平面，斜坡面和矩形电子孔侧壁的交界处位置低，斜坡面和阻滞一层上表面的交界处位置高；阻滞一层上面存在栅极传导层(11)，栅极传导层要布满阻滞一层中矩形电子孔侧壁与阻滞一层上表面交界处的斜坡面，其前端延伸到矩形电子孔中，呈现悬空状态；栅极传导层的周围存在栅极连线层(12)，栅极连线层和栅极传导层是相互连通的；阻滞一层上面印刷并烧结的绝缘浆料形成阻滞二层(13)，阻滞二层覆盖栅极传导层和栅极连线层；碳纳米管(14)制备在阴极牺牲层的上面。
2. 根据权利要求1所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器，其特征在于所述的阴极底层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连线层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升一层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升二层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极提升三层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极连续层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；阴极牺牲层为金属铁、钴、镍之一 ；栅极传导层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一 ；栅极连线层为金属金、银、铬、锡、铜、铝、钼、铅、铟之一；栅极传导层的走向和阴极底层的走向是相互垂 直的。
3. —种如权利要求1所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工 艺，其特征在于，其制作步骤如下1) 阴极玻璃面板(1)的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阴极玻璃面板；2) 阻挡层(2)的制作在阴极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后形成 阻挡层；3) 阴极底层(3)的制作在阴极玻璃面板上制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴 极底层；4) 阴极连线层(4)的制作在阴极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形成 阴极连线层；5) 阴极提升一层(5)、阴极提升二层(6)、阴极提升三层(7)的制作在阴极底层的上 面印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后分别形成阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三 层；6) 阴极连续层(8)的制作在阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三层的上面制备 出金属层，经常规刻蚀工艺后形成阴极连续层；7) 阴极牺牲层(9)的制作在阴极连续层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形 成阴极牺牲层；8) 阻滞一层(10)的制作在阴极底层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阻滞一层；9) 栅极传导层(11)的制作在阻滞一层的上面制备出金属层，经常规刻蚀工艺后形成 栅极传导层；10) 栅极连线层(12)的制作在栅极传导层的周围印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后 形成栅极连线层；11) 阻滞二层(13)的制作在阻滞一层的上面印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺后 形成阻滞二层；12) 悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的表面清洁处理对悬梁式单条阴极型矩形栅控 结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；13) 碳纳米管(14)的制备将碳纳米管制备在阴极牺牲层的上面；14) 阳极玻璃面板(21)的制作对整体平板玻璃进行切割，制作出阳极玻璃面板；15) 阳极传导层(20)的制作在阳极玻璃面板上制备出锡铟氧化物膜层，经常规刻蚀 工艺后形成阳极传导层；16) 阳极连线层(22)的制作在阳极玻璃面板上印刷银浆，经常规烘烤、烧结工艺后形 成阳极连线层；17) 阳极绝缘层(18)的制作在阳极玻璃面板上印刷绝缘浆料，经常规烘烤、烧结工艺 后形成阳极绝缘层；18) 荧光粉层(19)的制备在阳极传导层的上面制备出荧光粉，经常规烘烤工艺后形 成荧光粉层；19) 器件装配将阳极玻璃面板、阴极玻璃面板、分隔支撑器(16)、玻璃边框(17)装配到一起，并将消气剂(15)安装到空室当中，用低熔点玻璃粉固定；20)成品制作对已经装配好的器件进行封装工艺，形成成品件。
4. 根据权利要求3所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工艺， 其特征在于所述步骤17具体为在阳极玻璃面板的非显示区域以及阳极传导层中间的空 余位置印刷绝缘浆料；经过烘烤，烘烤温度22(TC，保持时间5分钟，之后，放置在烧结炉 中进行高温烧结，烧结温度58(TC，保持时间10分钟。
5. 根据权利要求3所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤18具体为在阳极玻璃面板显示区域中阳极传导层上面印刷荧光粉， 在烘箱当中进行烘烤，烘烤温度12(TC，保持时间10分钟。
6. 根据权利要求3所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器的制作工艺，其特征在于所述步骤20具体为对已经装配好的器件进行如下的封装工艺将样品器件放 入烘箱当中进行烘烤；放入烧结炉当中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离，在烤消 机上对器件内部的消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。
全文摘要
本发明特别涉及一种悬梁式单条阴极型矩形栅控结构的平板显示器及其制作工艺，包括由阴极玻璃面板、阳极玻璃面板和玻璃边框所构成的密封真空室；设置在阳极玻璃面板上的阳极传导层、阳极连线层、阳极绝缘层以及制备在阳极传导层上面的荧光粉层；位于阳极玻璃面板和阴极玻璃面板之间的分隔支撑器和消气剂；所述的悬梁式单条阴极型矩形栅控结构包括阴极玻璃面板、阻挡层、阴极底层、阴极连线层、阴极提升一层、阴极提升二层、阴极提升三层、阴极连续层、阴极牺牲层、阻滞一层、栅极传导层、栅极连线层、阻滞二层、碳纳米管部分；具有成本低廉、制作工艺简单、制作过程稳定可靠的优点。
文档编号H01J29/02GK101728188SQ20091022734
公开日2010年6月9日 申请日期2009年12月8日 优先权日2009年12月8日
发明者李玉魁 申请人:中原工学院