专利名称：一种等离子处理设备的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种等离子处理设备，具体来说涉及这种设备的壳体屏蔽层构造。
背景技术：
等离子处理设备广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰 化和表面活化、改性等场合。通过其处理，能够改善材料的润湿能力，使多种材料能够进行 涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。长期以来，等离子 处理设备的壳体与其腔体内部的电极之间的屏蔽一直都是采用传统的方法，即，将壳体与 腔体之间距离增大，因此存在屏蔽不完全的缺陷，而且增大了壳体的体积，从而增加了设备 成本，导致运输困难。
实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种等离子处理设备，既能明显改善产品的包装性 能，又能有效地防止设备烧坏及操作人员人身安全事故的发生。为实现上述目的，本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体 和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，所述屏蔽层包括了固定板和 绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴 于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。作为本实用新型的一个方面，所述固定板、绝缘氟胶板和壳体上分别设有相互连 通的连接孔，所述连接孔处穿设有紧固件。较好地，所述连接孔处还设有可供所述紧固件穿 过的氟胶管，所述紧固件与所述固定板之间设有可完全覆盖所述连接孔的氟胶垫片。作为本实用新型的另一个方面，所述绝缘氟胶板粘贴于所述壳体的内壁，所述固 定板粘贴于所述绝缘塑胶板的靠近所述电极的表面上。优选地，所述绝缘氟胶板和固定板的厚度均为2mm。优选地，所述固定板与所述电极之间绝缘。优选地，所述固定板为金属板，当然也可以是由非金属材料制成，只要能够起到将 绝缘氟胶板固定在壳体内壁上，以防止绝缘氟胶板变形弯曲的作用即可。与现有技术相比，本实用新型具有以下优点。1.由于壳体内壁的屏蔽层采用了绝缘氟胶板，不但具有一定的柔韧性，而且还可 以耐高温(最高可达300摄氏度)而不变形、不变质。2.利用固定板将绝缘氟胶板固定在壳体内壁上，可防止绝缘氟胶板变形弯曲。3.屏蔽绝缘效果更好。
图1是本实用新型等离子处理设备的实施例一的立体图。
3[0015]图2是图1的A局部放大图。图3是本实用新型等离子处理设备的实施例二的正视图。图4是图3的B局部放大图。
以下结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步详细说明。
具体实施方式
实施例一如图1和图2所示的一种等离子处理设备10，包括具有腔体的壳体1和 位于该腔体内部的正电极2和负电极3，壳体1的内壁上固定有由金属板4和绝缘氟胶板5 构成的屏蔽层，绝缘氟胶板5位于金属板4与壳体1之间，金属板4用于将绝缘氟胶板5固 定在壳体1内壁上，防止绝缘氟胶板5变形弯曲。金属板5与正电极2、负电极3之间相互 绝缘。绝缘氟胶板4紧贴于壳体1的内壁，金属板4紧贴于绝缘氟胶板5的朝向正电极2和 负电极3的表面上。在本实施例中，绝缘氟胶板5和金属板4的厚度均为2mm。这样，在保 障设计效果的前提下可以尽量减少金属板4和绝缘氟胶板5对腔体内部空间的影响。由于 绝缘氟胶板5属于软性的塑胶材质，故其包裹在壳体1内壁上容易发生弯曲，使用金属板4 使其总是平整牢固地紧贴在壳体1内壁上，壳体1与腔体内部的正负电极完全绝缘。在金 属板4和绝缘氟胶板5的角部或合适的位置分别制有若干个大小和位置相适配的通孔，壳 体1上则制有对应的通孔或盲孔，金属板5、绝缘氟胶板4上的通孔与壳体1上的对应通孔 或盲孔相互连通，从而形成了若干个贯穿金属板4、绝缘氟胶板5以及壳体1的至少一部分 的连接孔6。利用氟胶管穿过连接孔6，再利用穿过氟胶管6的诸如螺丝或铆钉等紧固件， 将金属板5及绝缘氟胶板4牢固地固定在壳体1内壁上，紧固件与金属板5之间最好还设 置可完全覆盖连接孔6的氟胶垫片。实施例二 如图3和图4所示的另一种等离子处理设备20，同样包括具有腔体的 壳体11和位于该腔体内部的正电极12和负电极13，壳体11的内壁上固定的屏蔽层也是由 金属板14和绝缘氟胶板15构成，金属板14的大小和形状与绝缘氟胶板15相适配。与实 施例一当中采用连接孔和紧固件所不同的是，所述绝缘氟胶板15通过粘贴的方式紧固于 壳体11的内壁，而金属板14采用粘贴的方式紧固于绝缘塑胶板15的靠近电极的表面上， 这样同样可以实现将金属板14和绝缘氟胶板15牢固地固定在壳体11内壁上的目的。
权利要求一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，其特征在于所述屏蔽层包括了固定板和绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。
2.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于所述固定板、绝缘氟胶板和壳 体上分别设有相互连通的连接孔，所述连接孔处穿设有紧固件。
3.根据权利要求2所述的等离子处理设备，其特征在于所述连接孔处还设有可供所 述紧固件穿过的氟胶管，所述紧固件与所述固定板之间设有可完全覆盖所述连接孔的氟胶 垫片。
4.根据权利要求1所述的等离子处理设备，其特征在于所述绝缘氟胶板粘贴于所述 壳体的内壁，所述固定板粘贴于所述绝缘塑胶板的靠近所述电极的表面上。
5.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于所述绝缘氟胶板 和固定板的厚度均为2mm。
6.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于所述固定板与所 述电极之间绝缘。
7.根据权利要求1至4任一项所述的等离子处理设备，其特征在于所述固定板为金 属板。专利摘要本实用新型提供了一种等离子处理设备，包括具有腔体的壳体和位于该腔体内部的电极，所述壳体的内壁上固定有屏蔽层，所述屏蔽层包括了固定板和绝缘氟胶板，所述绝缘氟胶板位于所述固定板与所述壳体之间；其中，所述绝缘氟胶板紧贴于所述壳体的内壁，所述固定板紧贴于所述绝缘氟胶板的表面上。与现有技术相比，本实用新型等离子处理设备的壳体内壁上的屏蔽层采用了绝缘氟胶板，其屏蔽绝缘效果更好，具有一定的柔韧性，而且还可以耐高温而不变形、不变质。
文档编号H01J37/02GK201655739SQ20102014376
公开日2010年11月24日 申请日期2010年3月29日 优先权日2010年3月29日
发明者丁雪苗 申请人:珠海彼得氏等离子科技有限公司