专利名称：引线框架在线等离子清洗反应仓结构的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构。
背景技术：
引线框架作为集成电路的芯片载体，是一种借助于键合金丝实现芯片内部电路引出端与外引线的电气连接，形成电气回路的关键结构件，它起到了和外部导线连接的桥梁作用，绝大部分的半导体集成块中都需要使用引线框架，因而，引线框架是是电子信息产业中重要的基础材料。引线框架产品类型有TO、DIP、ZIP、SIP、SOP、SSOP, QFP (QFJ)、SOD、SOT 等。主要用模具冲压法和化学刻蚀法进行生产。引线框架表面的微颗粒、有机物及表面氧化物等污染物无法采用传统的清洗方法去除，一般采用射频等离子清洗技术，而现有的引线框架在线等离子清洗反应仓自动化程度低，容易造成二次污染。
实用新型内容本实用新型需要解决的技术问题就在于克服现有技术的缺陷，提供一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，它解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案本实用新型提供了一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板。本实用新型结构简单，效率高，解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。
图1为本实用新型结构示意图。
具体实施方式
如图1所示，本实用新型提供了一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓1，所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀2，反应仓内设置有电源正极引入端3，所述电源正极引入端连接电源正极板4，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪5和气动角阀6。所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板7。本实用新型结构简单，效率高，解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。 最后应说明的是显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明本实用新型所作的举例， 而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引申出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型的保护范围之中。
权利要求1.一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，其特征在于所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。
2.如权利要求1所述的引线框架在线等离子清洗反应仓结构，其特征在于所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板。
专利摘要本实用新型公开了一种引线框架在线等离子清洗反应仓结构，包括反应仓，所述反应仓一端设置有等离子清洗气体进气阀，反应仓内设置有电源正极引入端，所述电源正极引入端连接电源正极板，所述电源正极板安装于反应仓内，反应仓顶部设置有真空测量仪和气动角阀。所述电源正极板和反应仓顶面之间设置有一个绝缘板。本实用新型结构简单，效率高，解决了现有设备自动化程度低、易造成二次污染的问题。
文档编号H01J37/32GK202259152SQ20112031749
公开日2012年5月30日 申请日期2011年8月29日 优先权日2011年8月29日
发明者吴旺春, 孙华, 朱贵节, 谢艳, 陈忠, 黄玉红 申请人:江阴康强电子有限公司