电离规阳极结构的制作方法
【专利摘要】本发明涉及一种电离规阳极结构，包括：球网电极、阳极环、辅助阳极环和多个连接支撑件，每个所述连接支撑件分别支撑所述球网电极、阳极环、辅助阳极环；其中，所述球网电极为由导电材料制成的球形网状结构，所述阳极环和所述辅助阳极由所述连接支撑件支撑在所述球网电极的内部，所述辅助阳极环环绕所述阳极环，并且所述球网电极、阳极环和辅助阳极环彼此绝缘。球网电极采用球形结构，其形成的电场具有更良好的对称性和均匀性；阳极环和球网电极能够形成马鞍形电场，辅助阳极环使马鞍形电场的形状更陡峭，整个电场对电子有束缚作用，使电子在本发明的电离规阳极结构中运动轨迹的长度会变大，由此提高了电离规的灵敏度。
【专利说明】电离规阳极结构
【技术领域】
[0001]本发明涉及真空计量领域，尤其涉及一种电离规阳极结构。
【背景技术】
[0002]工艺随着科学技术迅猛发展，高新【技术领域】对极高真空测量提出了更高的要求，尤其是航空航天、高能物理、表面科学等高新【技术领域】，对真空测量提出了更加迫切的要求。
[0003]电离规是目前最有希望解决超高/极高真空测量问题的规型，根据电离规的工作原理可知，电离规灵敏度提高，是延伸其测量下限的关键所在。而电离规灵敏度是与规管结构相关的系数，其定义式如下:
[0004]
【权利要求】
1.一种电离规阳极结构，其特征在于，包括: 球网电极、阳极环、辅助阳极环和多个连接支撑件，每个所述连接支撑件分别支撑所述球网电极、阳极环、辅助阳极环； 其中，所述球网电极为由导电材料制成的球形网状结构，所述阳极环和所述辅助阳极由所述连接支撑件支撑在所述球网电极的内部，所述辅助阳极环环绕所述阳极环，并且所述球网电极、阳极环和辅助阳极环彼此绝缘。
2.根据权利要求1所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述球网电极由导电丝编织缠绕制成球形，并且球形呈网状结构。
3.根据权利要求1所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述球网电极的材料为钥、钨、铜、不锈钢、碳纳米管中的一种或几种。
4.根据权利要求2所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述球网电极的直径为30-40毫米，和/或所述导电丝的直径为0.3-0.6毫米。
5.根据权利要求1所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述阳极环有两个，其中一个的直径为6-9毫米，另一个的直径为14-16毫米，两个所述阳极环中，直径较大的所述阳极环环绕直径较小的所述阳极环； 所述辅助阳极环有一个，其直径为17-20毫米。
6.根据权利要求1所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述阳极环和所述辅助阳极环是钥、钨、铜、不锈钢、纳米线束、碳纳米管束中的一种或几种。
7.根据权利要求1所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述连接支撑件具有导电芯体，以及包裹所述导电芯体周壁的绝缘外壳。
8.根据权利要求7所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述电离规阳极结构还包括法兰盘； 每个所述连接支撑件的导电芯体的一端都单独连接所述球网电极、阳极环或辅助阳极环，另一端连接至法兰盘，并且将所述球网电极、阳极环、辅助阳极环支撑在所述法兰盘上。
9.根据权利要求8所述的电离规阳极结构，其特征在于， 沿所述球网电极上设置一圈加固环，所述导电芯体的一端连接于所述加固环。
10.根据权利要求9所述的电离规阳极结构，其特征在于， 所述加固环镶嵌于所述球网电极，并且所述加固环将所述球网电极分割为对称的两部分。
【文档编号】H01J41/02GK103762147SQ201310722445
【公开日】2014年4月30日 申请日期:2013年12月24日 优先权日:2013年12月24日
【发明者】张虎忠, 李得天, 冯焱, 王永军, 习振华, 赵澜, 管保国 申请人:兰州空间技术物理研究所