一种sem用能显示作用力大小的样品台的制作方法

文档序号:2875477阅读:364来源:国知局
一种sem用能显示作用力大小的样品台的制作方法
【专利摘要】.本实用新型所述的一种SEM用能显示作用力大小的样品台,包括载荷传感器、定位销、导轨、导线、载荷显示器、带有反向螺纹的螺丝杆、螺母、旋转钮和臂杆。在该装置中,当试样被拉伸或压缩时,拉力或压力通过臂杆作用在定位销,通过定位销上的载荷传感器传递信号给载荷显示器,从而显示出作用在试样上的拉力或压力大小的数值。向左旋转旋转钮时,螺母分别向两端移动;反之,从两端向中间移动。从而实现控制拉力或压力大小的目的。
【专利说明】—种SEM用能显示作用力大小的样品台
【技术领域】
[0001]本实用新型是一种SEM用能显示作用力大小的样品台,尤其涉及样品台的制备与研发领域。
【背景技术】
[0002]在现有技术中,公知的技术中在用的扫描电子显微镜的样品台是普通的样品台和进口的多功能样品台。现有的普通样品台只有放置样品并使其移动位置的功能,也有少数能对样品进行拉伸和压缩等操作,但不能对作用在样品上的拉力或压力实现准确的控制,也不能防止样品因受力过大而损坏试样。进口的多功能样品台包括机械装夹样品的部分及其电动驱动装置和自动控制系统,由于实行机电一体的控制,因而机构复杂,价格昂贵,难以实用化。针对现有技术所存在的不足,本实用新型提供一种具有能对作用在样品上的拉力或压力实现准确的控制而且结构简单的样品台,该样品台能防止试样因受力过大而损坏试样。

【发明内容】

[0003]本实用新型所述的一种SEM用能显示作用力大小的样品台,包括载荷传感器、定位销、导轨、导线、载荷显示器、带有反向螺纹的螺丝杆、螺母、旋转钮和臂杆。载荷显示器通过导线和载荷传感器相连;定位销与载荷传感器和臂杆连接;定位销可在导轨上运动;螺母分别安在螺丝杆上并呈对称分布;试样放在两螺母中间;旋转钮安在螺丝杆最下端。在该装置中,当试样被拉伸或压缩时,拉力或压力通过臂杆作用在定位销,通过定位销上的载荷传感器传递信号给载荷显示器,从而显示出作用在试样上的拉力或压力大小的数值。向左旋转旋转钮时,螺母分别向两端移动;反之,从两端向中间移动。从而实现控制拉力或压力大小的目的。
[0004]本实用新型的有益效果是:能对作用在样品上的拉力或压力的大小实现准确的控制,也可防止试样因受力过大而损坏试样,而且结构简单、成本低廉、实用性强。
[0005]【专利附图】

【附图说明】:
[0006]图1为本实用新型【具体实施方式】的结构示意图。
[0007]图中,I是载荷传感器,2是定位销,3是导轨,4是导线,5是载荷显示器,6是臂杆,7是试样,8是螺丝杆,9是旋转钮,10是螺母。
[0008]【具体实施方式】:
[0009]如图所示,本实用新型包括:载荷传感器、定位销、导轨、导线、载荷显示器、带有反向螺纹的螺丝杆、螺母、旋转钮和臂杆。载荷显示器通过铝合金套管的导线和载荷传感器相连;定位销与载荷传感器和臂杆连接;定位销可在导轨上运动;螺母分别安在螺丝杆上并呈对称分布;试样放在两螺母中间;旋转钮安在螺丝杆最下端。在该装置中,当试样被拉伸或压缩时,拉力或压力通过臂杆作用在定位销,通过定位销上的载荷传感器传递信号给载荷显示器,从而显示出作用在试样上的拉力或压力大小的数值。向左旋转旋转钮时,螺母分别向两端移动;反之,从两端向中间移动。从而实现控制拉力或压力大小的目的。
【权利要求】
1.本实用新型所述的一种SEM用能显示作用力大小的样品台,包括载荷传感器、定位销、导轨、导线、载荷显示器、带有反向螺纹的螺丝杆、螺母、旋转钮和臂杆,其特征在于:载荷显示器通过导线和载荷传感器相连;定位销与载荷传感器和臂杆连接;定位销可在导轨上运动;螺母分别安在螺丝杆上并呈对称分布;试样放在两螺母中间;旋转钮安在螺丝杆最下端。
【文档编号】H01J37/20GK203800008SQ201420208472
【公开日】2014年8月27日 申请日期:2014年4月28日 优先权日:2014年4月28日
【发明者】王志刚, 孙齐磊, 石磊, 郭霞, 董延恒, 史璐玉 申请人:山东建筑大学
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