专利名称：密封型扫描探针显微镜扫描器的制作方法
技术领域：
本实用新型的技术领域是扫描探针显微镜。
扫描探针显微镜工作时，由压电陶瓷管进行扫描。因此压电陶瓷管是扫描器的本体。通过引线与控制线路连接，扫描器才能工作。压电陶瓷管下部固定在一个外套上，外套固定在仪器平台上。一般情况下，压电陶瓷管是敞开于周围环境的。有些情况下，上端封口，而下端是开口的，这样还是与周围环境的大气相通。因此环境大气的湿度会严重地影响扫描器的工作质量。压电陶瓷管受潮会导致工作不稳定，测量误差增大。尤其在高湿度环境中工作，或者对溶液中的样品进行扫描时，问题就更大，甚至根本无法进行扫描。压电陶瓷管如果长期处于高湿度环境中，会受潮而引起击穿损坏。
本实用新型的目的是提供密封型的扫描器，使压电陶瓷管能够在一个密封结构之中进行工作。这样就可避免环境湿度的影响，不会因受潮而产生测量误差。亦不会因长期受潮而击穿，因而延长了工作寿命。
本实用新型是一种密封型扫描探针显微镜扫描器，包括扫描器本体及其控制线路。扫描器本体置于外套之中，是由与样品台连接的压电陶瓷管及其引线组成，压电陶瓷管下部是固定在外套上的。而外套是固定安装在仪器平台上的。样品台与外套之间涂有密封胶。此密封胶能达到气密封的效果，且具有一定程度的弹性，因而不会影响扫描操作。外套下端安装一个封装盖。封装盖与外套之间用紧配合加粘结剂以保证不漏气。封装盖中心有一个引线出孔，可以拉出引线，以便连接到控制线路上去。引线孔中填充密封胶，以保证气密封。这样就使外套上、下两端都高度密封。其中容纳的扫描器本体完全与环境隔离。不会受环境湿度影响。
本实用新型与现有技术比较有如下若干优点1、全密封的设计，使得扫描器本体不受湿度影响，避免了因受潮击穿损坏。
2、排除了湿度对扫描器的影响，增加了扫描操作的稳定性、精确性。
3、密封胶使得引线接点的牢固程度加强，外加的动作一般不会影响到引线与压电陶瓷管连接部分。
4、设计简单，不要求任何精密加工，安装十分容易。
本实用新型的
图1是扫描器本体图，其中
1-压电陶瓷管的引线 2-封装盖3-压电陶瓷管 4-外套5-密封胶 6-样品台7-填充有密封胶的引线出孔图2是封装盖图，其中8-封装盖外壁 9-封装盖台阶10-引线出孔本实用新型的实施例先将压电陶瓷管3的下部固定于外套4上，陶瓷管上方连接安装样品台6，使样品台6在外套4上端部露出一部分，在样品台6与外套4之间的环形空隙内填充入密封胶5，然后安装上封装盖，由于封装盖上有台阶结构9，因此可以达到紧配合，在配合处涂一些密封胶，保证不漏气。从引线出孔7中拉出压电陶瓷管的引线1，并且在引线出孔7中填充密封胶，以保证气密封。
权利要求1.一种密封型扫描探针显微镜扫描器，包括扫描器本体及其控制线路。扫描器本体包括外套(4)，置于外套中的样品台(6)，与样品台连接且固定在外套上的压电陶瓷管(3)及其引线(1)；样品台与外套之间涂有密封胶(5)，其特征在于还有一紧配合粘结在外套下端的封装盖(2)。
专利摘要本实用新型属于扫描探针显微镜领域。为解决扫描器防潮问题,采用一种密封型结构。样品台与压电陶瓷管的组合件安装在外套之中,外套与样品台之间用密封胶封口,外套下端用一封装盖密封,封装盖的引线出孔亦用密封胶密封。此全密封型结构保证扫描器本体与环境隔离。因此压电陶瓷管不会因受潮而工作状态不稳定或电击穿。本实用新型适用于各种类型的扫描探针显微镜,工作稳定、使用寿命长。
文档编号H01J37/28GK2327067SQ97243160
公开日1999年6月30日 申请日期1997年12月30日 优先权日1997年12月30日
发明者胡钧, 孙洁林, 徐耀良, 李民乾 申请人:中国科学院上海原子核研究所