专利名称：激光调整方法及其装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种用于调整精细电阻芯片或者类似元件的激光调整方法及其装置。更具体地说，本发明涉及一种用于进行高速调整和高精度调整的激光调整方法及其装置。
过去，已经存在多种通过激光调整加工来调整电阻阻值(例如电子部件中的印刷电路上的电阻)的方法。其中一种方法被称为跟踪调整的方法，在实时测量电阻阻值或者流过电阻的电流所产生的直流电压降的同时，以间歇的方式向电阻照射激光脉冲，进行电阻的激光调整，直到电阻阻值到达目标值为止。在这种方法中，在调整加工的第一阶段需要获得高速度和稳定性。在调整加工的最后阶段需要以高精度来调整电阻阻值。
近年来，随着降低成本和电子部件微型化的需要，激光调整加工中也需要获得高速度和高精度。例如，芯片电阻的尺寸正在由1005变化到0603。然而，即使芯片电阻的尺寸变得更小，电阻的薄膜厚度与以往的薄膜厚度相比较保持不变，因为薄膜厚度是根据电阻焊膏(paste)的量来确定的。此外，激光调整的条件，例如，相邻激光脉冲照射位置之间的距离(下称字节尺寸)基本上保持不变。所述字节尺寸是根据加工速度和激光脉冲照射期间之间的暂停时间来确定的。因此，如果电阻的尺寸被做得更小，每字节尺寸的阻值变化率就会增大，从而难于以高精度来控制激光调整加工。
下面对一种已知的调整方法进行说明。
图1是平面视图，示出了在这种已知激光调整方法中激光脉冲在电阻上的照射位置。在这种已知激光调整方法中，如图1所示，激光脉冲在电阻上的照射位置52通过一个光束扫描器(图中未示)以衡定的速度相对移动，激光脉冲照射之间的暂停时间是一定的。其结果是激光脉冲在电阻上的照射位置形成一条直线，具有一定的间隔L。这就是说字节尺寸为恒定值L。电阻在激光脉冲的照射位置52上被去掉，从而对其阻值进行调整。通过重复的激光脉冲照射，在电阻上形成经过激光调整加工后的沟槽51。此后，当诸如电阻值之类的测量值超过预定目标值时，则停止激光脉冲照射，终止调整。
当电阻是通过丝网印刷方法所形成的厚膜电阻的情况下，薄膜的厚度大约为10-20微米。此外，激光光束的直径为30-50微米。此时，为了改善由激光脉冲所形成的激光调整加工沟槽51的被加工状态，字节尺寸需要为5-10微米。当激光光束直径为30微米，字节尺寸为5微米时，经过激光调整加工的沟槽51的任意位置上产生6个激光脉冲重叠次数。如果重叠次数过多，电阻就会受到损伤，从而降低其性能。
然而，这种已知方法存在如下两个问题。第一个问题是电阻阻值的误差在调整终止后会增大。图2是曲线图，示出了在如图1所示的已知激光调整方法中，激光脉冲照射时间与电阻阻值变化量之间的关系，其中时间作为横轴，电阻阻值和激光功率作为纵轴。在图2中，当3个具有不同初始阻值的电阻R4、R5、R6接受激光加工时，电阻阻值的变化分别如曲线41、42、43所示。此外，曲线44显示了用于进行激光调整的激光功率，曲线45显示了激光脉冲照射。在这种已知方法中，字节尺寸被定义为恒定值R，当电阻阻值的测量值超过预定目标值Rf时，就终止调整。
在这样的情况下，如图2所示，当一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量被定义为ΔR，调整终止之后的电阻阻值在Rf至(Rf+ΔR)的范围内变化。图2所示的范围46表示了这一变化的大小。例如在图2中，电阻R6的阻值(曲线43)在第(n-1)个脉冲照射之后略微低于目标值Rf。然而在这种已知方法中，要进行第n个脉冲照射，它与第(n-1)个脉冲照射相同，这样电阻R6就增大到略微小于(Rf+ΔR)。换句话说，电阻R6的阻值超过了目标值Rf。
第二个问题是激光难于提高加工速度。为了提高激光高速加工的速度，需要提高激光脉冲扫描速度，并缩短激光脉中照射期间之间的暂停时间，这是提高加工速度所必须的。然而，如果提高加工速度，对电阻阻值的测量就跟不上电阻阻值的变化。这样，电阻阻值的测量误差就会增大。这样就会降低调整的精度。由于这一原因，所采用的已知方法是当以高精度来进行调整时，就将加工速度降低到足够的程度，或者在提高加工速度的情况下，就暂时停止调整，以高精度测量电阻阻值，然后再重新开始进行调整。然而，这些方法中的任何一个都降低了工作效率。
为了解决上述问题，采用了如下的已知方法。针对上面所述的第一个问题，解决方法是减小字节尺寸，并降低每个激光脉冲的调整量，以改善调整精度。采用这种方法能减小ΔR，减小最后电阻值的误差。
作为解决上述第二个问题的方法，日本专利申请公开No.59(1984)-171103号公开了一种方法，在激光调整装置中提供两个或者多个阻值比较电路。采用这种方法，在调整加工的初始阶段提高加工速度，然后交替地切换到低速度，从而兼顾高速加工效率和优良的加工精度。
然而这些解决方法具有如下所述的问题。减小字节尺寸，从而减小误差的方法所存在的问题是如果字节尺寸太小，在激光调整所形成的沟槽中就会产生太多的激光脉冲交叉点。这样，电阻以及由陶瓷或者类似材料所构成的基板就会受到损害，其结果是严重影响电阻的可靠性。例如，当光束直径为30微米，字节尺寸为1微米时，就会获得30个交叉点。这样，就会损害电阻和基板材料，降低电阻性能。
另一方面，在日本专利申请公开No.59(1984)-171103号所公开的方法中，尽管能够在一定程度上改善工作效率，但不能解决上面所述的第一个问题。此外，在这种方法中，尽管在加工过程的初始阶段提高了加工速度，然而需要将加工速度交替地切换到低速度。因此，对工作效率的改善产生了一定限制。另外，当切换加工速度时，需要移动放置电阻的XY平台，或者需要一个控制激光脉冲光束路径的光束定位装置。所述光束定位装置具有多种类型，例如电流计型等等，XY平台也具有多种类型，例如由直线马达所驱动的XY平台模式等等。在上述任何情况下都需要进行机械操作以控制光束的路径，由于这一原因，在输入切换加工速度的指令之后就会产生一个延迟时间，直到实际改变加工速度为止。另外，上述延迟时间的长短随着各种条件而变化。为了改善调整精度，在调整的最终阶段必须将加工速度设定为低速。考虑到上面所述的延迟时间及其变化，就需要在足够早的阶段改变加工速度。因此，能以高速进行加工的期间受到很大的限制。
本发明的一个目的是提供一种激光调整方法及其装置，能够在不损害电阻的情况下改善调整精度，并以高速度进行有效的加工。
本发明提供了一种电阻的激光调整方法，包括如下步骤以间歇方式对所述电阻进行激光脉冲照射，在所述激光脉冲照射的位置相对于所述电阻移动的同时，对所述电阻进行调整。对所述电阻的调整包括测量所述电阻阻值的步骤；在进行调整时，根据最终目标值与所述电阻阻值的测量值之间的差值，并根据最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量，确定激光脉冲照射间隔之间的暂停时间。
在本发明中，随着调整加工的进行以最佳方式来改变激光脉冲照射期间之间的暂停时间，而所述暂停时间在已知方法中是恒定的，从而能够获得高精度的激光调整，电阻的最后阻值能够接近最终的目标值。
此外，在本发明的激光调整方法中，激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于电阻移动，激光脉冲照射之间的暂停时间可以通过如下方式予以确定。所述电阻阻值的最终目标值与激光调整过程中的电阻阻值测量值之间的差值被定义为ΔRfm，由一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量被定义为ΔR，暂停时间的初始设定值被定义为T。当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被定义为T。当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定Tend=ΔRfmΔR×T---(1)]]>通过这种方式，就能够消除由最后一个激光脉冲照射所产生的过冲，而这一点在已知方法中是不可避免的。这样就改善了激光调整的精度，使电阻的最后阻值与最终目标值相一致。与暂停时间相比，激光脉冲照射的期间是很短的，因此暂停时间基本上等于激光脉冲照射的周期。
另外，所述激光脉冲优选为Q开关激光脉冲。
本发明的一种激光调整装置包括激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；光学系统控制装置，用于控制所述激光脉冲的路径；测量装置，用于测量工件上的电阻的阻值；操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、光学系统控制装置、测量装置；计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻阻值的变化量，并根据所述电阻阻值的变化量确定激光脉冲照射之间的暂停时间。
本发明的另一种激光调整装置包括激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；传送装置，用于装载一个工件，并控制所述工件的位置；测量装置，用于位于工件上的电阻的阻值；操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、传送装置、测量装置；计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻阻值的变化量，并根据所述电阻阻值的变化量确定激光脉冲照射之间的暂停时间。
此外，在所述激光调整装置中，所述激光脉冲最好为Q开关激光脉冲，所述计算单元最好为数字信号处理器。
根据本发明，限制了由最后一个激光脉冲照射所产生的过冲，同时没有因为降低加工速度而降低加工效率，也没有由于过份的激光照射而损害电阻。这样，就能够改善电阻的调整精度。因此，在诸如精细电阻芯片之类的电子部件中，在保持高的加工速度的同时，能够获得高精度的激光调整。其结果是提高了电子部件的产率。
图1是平面视图，示出了在已知调整方法中，激光脉冲在一个电阻上的照射位置；图2是曲线图，示出了在已知调整方法中，激光脉冲照射时间与电阻阻值变化量之间的关系，其中以时间作为横轴，以电阻阻值和激光功率作为纵轴；图3是方框图，示出了根据本发明实施例的激光调整装置的结构；图4是曲线图，示出了在本发明的实施例中，激光脉冲照射时间与电阻阻值变化量之间的关系，其中以时间作为横轴，以电阻阻值和激光功率作为纵轴；图5A至5C是平面视图，分别示出了在本发明实施例的激光调整方法中，电阻R1至R3上的激光脉冲照射位置。
下面结合附图对本发明的实施例进行说明。
图3是方框图，示出了根据本发明实施例的激光调整装置的结构。如图3所示，在根据本发明实施例的激光调整装置中提供了一个激光光源2，用于产生振荡Q开关脉冲激光(下称QSW脉冲激光17)。此外，用于控制激光光源2的激光振荡控制电路16的输出信号被输入到激光光源2。另外，在激光光源2的输出侧提供了一个电流计类型的激光光束扫描器3，用于控制由激光光源2所采生的QSW脉冲激光17的路径。
在电流计类型的激光光束扫描器3中，沿着QSW脉冲激光17的路径提供了光束扩展器4，用于扩展由激光光源2所产生的QSW脉冲激光17；两个扫描器反射镜7，用于在任意方向上反射通过光束扩展器4的QSW脉冲激光17；f-θ透镜8，用于聚焦由两个扫描器反射镜7所反射的QSW脉冲激光17；反射镜9，用于将通过f-θ镜头8的QSW脉冲激光17反射在工件10上。此外，在电流计类型的激光光束扫描器3中提供了两个电流计6，用于分别控制两个扫描器反射镜7的角度；光束扫描器控制电路5，用于控制所述电流计6。由光束扫描电路5输出的信号被输入到电流计6，两个电流计6根据这些信号分别控制扫描器反射镜7。
此外，工件10被置于一个载物台11上，该载物台11位于一个XY平台14上，该XY平台14用于在XY方向上移动所述载物台11和工件10。
另一方面，用于测量电阻阻值的探头12连接在工件10上，由探头12所检测的信号通过一个用于调节探头12位置的探头提升机构18输入到电阻阻值测量装置13中。
电阻阻值测量装置13测量工件10的电阻阻值，将测量值转换为电信号，并将该电信号输出到一个测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15。所述测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15通过计算获得电阻值测量值的变化量，根据电阻值的变化量确定激光脉冲照射期间之间的暂停时间，并将结果输出到操作控制装置1。
所述操作控制装置1用于控制激光振荡控制电路16、光束扫描器控制电路5、XY平台14、电阻阻值测量装置13、探头提升机构18、测量值变化量计算和激光光束间隔控制装置15的工作。操作控制装置1输出的控制信号被输入到这些装置的每一个中。
下面对图3所示出的激光调整装置的工作方式进行说明。将工件10(例如具有电阻的电子部件)置于载物台11上。然后将工件10和载物台11安装在XY平台14上。再将探头12连接到工件10的电阻上。
此后，操作控制装置1输出一个控制信号到XY平台14和探头提升机构18。根据这一控制信号，驱动XY平台14和探头提升机构18将工件10移动到一个最佳位置。此外，操作控制装置1将控制信号输出到电阻阻值测量装置13、测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15中的每一个，并操纵它们。
接下来，操作控制装置1将控制信号输出到激光振荡控制电路16，并操纵该激光振荡控制电路16。激光振荡控制电路16输出的信号被输入到激光光源2，该激光光源2振荡产生QSW脉冲激光17。另一方面，操作控制装置1操纵光束扫描器控制电路5。采用这种方式，光束扫描器控制电路5输出控制信号到电流计6，并操纵这些电流计。电流计6控制扫描器反射镜7的角度，并控制QSW脉冲激光17的照射位置。
激光光源2振荡产生的QSW脉冲激光17的光束直径由光束扩展器4予以扩展，然后通过两个扫描器反射镜7朝预定的方向反射，再由f-θ透镜8予以聚焦。此后，被聚焦的激光光束由反射镜9予以反射，照射在工件10上。
在工件10的电阻中，位于QSW脉冲激光17照射位置上的电阻被蒸发掉。通过这种方式来进行工件10的调整加工。
另一方面，通过探头12来测量电阻的阻值。将检测信号输入到电阻阻值测量装置13，电阻阻值测量装置13计算电阻的阻值。电阻阻值测量装置13以电信号的方式将电阻阻值输入到测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15。测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15计算电阻阻值在激光照射之前和之后的变化。根据这一计算值，计算出激光脉冲期间之间的最佳暂停时间，然后将计算的结果输出到操作控制装置1。当操作控制装置1接收到所述计算结果时，将控制信号输出到激光振荡电路16，控制照射下一个激光脉冲的定时。采用这种方式，工件10的电阻的阻值被反映为激光脉冲的照射定时。
下面对本发明实施例的激光调整方法进行说明。在本发明的激光调整方法实施例中所采用的激光调整装置是图3所示的装置。在本发明实施例的激光调整方法实施例中，QSW脉冲激光的路径由电流计类型的光束扫描器3来改变，直到调整终点的一个脉冲之前，加工速度和激光脉冲照射之间的暂停时间是恒定的。这就是说，在字节尺寸恒定的情况下，将激光脉冲照射到电阻上，并进行激光调整加工。此时，计算出在进行每一个激光脉冲照射之前和之后的电阻值变化量ΔR以及目标值与电阻阻值测量值之间的差值ΔRfm。当差值ΔRfm等于或者小于变化量ΔR时，则改变最后一个激光脉冲的照射时间。在这种情况下，差值ΔRfm是从目标值中减去电阻测量值所得到的数值，变化量ΔR是激光照射之后的电阻测量值减去激光照射之前的电阻测量值所获得的数值。
将激光脉冲照射期间之间的暂停时间的初始设定值定义为T，当差值ΔRfm等于或者小于变化量ΔR时，将ΔRfm的数值定义为ΔRend，将最后一个激光脉冲照射之前那一个激光脉冲照射到最后一个激光脉冲照射之间的暂停时间定义为Tend，所述Tend是根据前面所述的公式(1)来确定的。
在这种情况下，由于需要使计算ΔR所需要的时间小于Tend，因此最好采用快速计算装置来计算ΔR。在如图3所示的激光调整装置中，由于变化量ΔR是在测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15中进行计算的，因此最好在测量值变化量计算和激光脉冲间隔控制装置15中采用能够进行快速计算的数字信号处理器。
下面对本发明实施例的优点进行说明。图4是曲线图，示出了激光脉冲照射时间与电阻阻值变化量之间的关系，其中以时间作为横轴，以电阻的阻值以及照射激光的功率作为纵轴。在图4中，初始阻值不同的三个电阻R1、R2、R3的ΔRend值被分别定义为ΔRend1、ΔRend2、ΔRend3，电阻R1、R2、R3的Tend数值分别定义为Tend1、Tend2、Tend3。此外，曲线21至23分别表示电阻R1至R3的电阻值变化量，曲线24至26分别表示对电阻R1至R3进行激光照射的激光功率，脉冲27表示用于对电阻R1至R3进行加工的激光脉冲。如图4和图2所示，当采用本发明实施例的方法对具有不同初始阻值的电阻R1、R2、R3进行激光调整时，与采用已知方法对具有不同初始阻值的电阻R4、R5、R6进行激光调整相比较，最后电阻阻值的变化很小，基本上都能够获得等于目标值的阻值。
下面对其原因进行说明。图5A至图5C是平面示意图，分别示出了激光脉冲在电阻R1至R3上的照射位置。在图5A至图5C中，L表示直到最后一个脉冲照射之前的那一个激光脉冲照射的字节尺寸，也就是到第(n-1)个激光脉冲照射为止的字节尺寸，Lend1、Lend2、Lend3分别表示第(n-1)个激光脉冲照射和第n个激光脉冲照射(也就是最后一个激光脉冲照射)之间的字节尺寸。通过激光脉冲27(参见图4)，电阻R1至R3在激光脉冲照射位置34上蒸发。通过这种方式，在电阻R1至R3上分别形成了经过激光调整加工后的沟槽31至33。
在这一实施例中，根据ΔRend的数值来调整Tend的数值，从而调整最后一个激光脉冲照射的字节尺寸Lend1、Lend2、Lend3。采用这种方式，就能够对最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值变化量ΔR进行最佳调整，控制调整结束之后的电阻阻值，使之基本上等于目标值Rf。
例如，如图4和图5B所示，对于电阻R2来说，当电阻阻值的目标值Rf与测量值(曲线22)之间的差值ΔRfm是小于在第(n-1)个脉冲照射之后的变化量ΔR的ΔRend2时，第(n-1)个脉冲照射与第n个脉冲照射之间的暂停时间Tend2根据前面所述的公式(1)予以计算Tend2=ΔRendΔR×T]]>此时，当调整速度被定义V时，暂停时间T与激光脉冲照射期间之间的字节尺寸L之间的关系由如下的公式(2)表示L=V×T (2)因此，电阻2的最后一个字节尺寸Lend2由如下的公式(3)给出Lend2=V×Tend2=V×ΔRendΔR×T=L×ΔRendΔR---(3)]]>当测量值变化量ΔR与字节尺寸L之间的相关系数被定义为k时，有如下的公式(4)
ΔR=k×L (4)因此，由最后一个脉冲照射所产生的电阻R2的阻值变化量ΔRn2由下面所述的公式(5)给出ΔRn2=k×Lend2=k×L×ΔRend2R=ΔRend2---(5)]]>通过这种方式，由最后一个脉冲照射所产生的电阻2的阻值变化量ΔRn2等于电阻阻值的目标值Rf与最后一个脉冲照射之前的电阻阻值之间的差值ΔRend2。因此，根据本发明实施例的方法，就能够防止调整过冲，使调整之后的电阻阻值基本上与目标值相一致。
同时，实际当中电阻阻值的变化量ΔR并不是恒定的，而是随着调整距离的增大而增大。这样，根据前面所述的公式(4)所确定的电阻阻值变化量与字节尺寸L之间的相关系数k就是调整距离的函数，而不是一个常数。因此，最后一个激光脉冲照射中的系数k是在最后一个激光脉冲照射之前根据数学逼近法来估计的，例如移动平均法或者最小二乘法，而最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值的变化量ΔRn是在最后一个激光脉冲照射之前估计出来的。在这种情况下，根据下面的公式(6)来给出暂停时间TendTend2=ΔRendk×V---(6)]]>在这一实施例中，采用了这样的方法，即通过电流计型的光束扫描器3来改变QSW脉冲激光17的路径，从而使激光脉冲的照射位置相对于工件10移动。然而在本发明中，例如在驱动XY平台14时，也可以使工件10移动，从而使激光脉冲的照射位置相对于被加工电阻移动。
如上所述，在本发明实施例的调整方法中，电阻的最后阻值是通过调节激光脉冲照射期间之间的暂停时间来控制的。因此，调整速度直到结束都是恒定的，调整时间的减小不会降低效率。此外，上述对暂停时间的调节不需要进行机械操作，因而不会因为机械操作而产生时间迟延。
此外，在本发明的这一实施例中，采用具有高计算速度的数字处理器来计算电阻阻值的变化。因此，不会出现降低调整精度的问题，因为对电阻阻值变化的计算可以跟上电阻阻值的变化，计算出来的电阻阻值的变化的误差不会增大。
另外，根据本发明实施例的调整方法，可以达到很高的精度来进行调整。这样，对于最后的电阻阻值调整来说，就不需要反复地进行激光脉冲照射，经过激光调整后可以形成状态良好的加工沟槽。
权利要求
1．一种电阻的激光调整方法，包括如下步骤以间歇方式对所述电阻进行激光脉冲照射，在所述激光脉冲照射的位置相对于所述电阻移动的同时，对所述电阻进行调整；对所述电阻的调整包括测量所述电阻阻值的步骤；在进行调整时，根据最终目标值与所述电阻阻值的测量值之间的差值，并根据最后一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量，确定激光脉冲照射之间的暂停时间。
2．如权利要求1所述的激光调整方法，其中激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于所述电阻移动，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，在所述电阻阻值的最终目标值与激光调整过程中的电阻值测量值之间的差值被定义为ΔRfm，由一个激光脉冲照射所产生的电阻值测量值的变化量被定义为ΔR，暂停时间的初始设定值被定义为T的情况下，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被定义为T，当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定Tend=ΔRfmΔR×T]]>
3．如权利要求1所述的调整方法，其中所述激光脉冲为Q开关激光脉冲。
4．一种激光调整装置，包括激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；光学系统控制装置，用于控制所述激光脉冲的路径；测量装置，用于测量工件上的电阻的阻值；操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、所述光学系统控制装置、测量装置；计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻值的变化量，并根据所述电阻值的变化量确定所述激光脉冲照射期间之间的暂停时间。
5．一种激光调整装置，包括激光振荡装置，用于以间歇方式振荡产生激光脉冲；传送装置，用于装载一个工件，并控制所述工件的位置；测量装置，用于位于工件上的电阻的阻值；操作控制装置，用于控制所述激光振荡装置、传送装置、测量装置；计算单元，用于计算由所述激光脉冲照射所产生的电阻阻值的变化量，并根据所述电阻阻值的变化量确定激光脉冲照射之间的暂停时间。
6．如权利要求4所述的激光调整装置，其中激光脉冲的照射位置以恒定的速度相对于电阻移动，确定激光脉冲照射之间的暂停时间，在所述电阻值的最终目标值与激光调整过程中电阻值的测量值之间的差值被定义为ΔRfm、由一个激光脉冲照射所产生的电阻阻值测量值的变化量被定义为ΔR、暂停时间的初始设定值被定义为T的情况下，当差值ΔRfm大于变化量ΔR时，暂停时间被定义为T，当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量ΔR时，紧邻的前一个激光脉冲照射与下一个激光脉冲照射之间的暂停时间Tend可以根据如下的公式来确定Tend=ΔRfmΔR×T]]>
7．如权利要求4所述的激光调整装置，其中所述激光脉冲为Q开关激光脉冲。
全文摘要
一种激光调整方法,以间歇方式用激光脉冲照射电阻,在测量电阻值的同时,对电阻进行调整。定义电阻的目标阻值与激光调整过程中电阻测量值之差为△Rfm、由激光脉冲照射所产生的电阻值测量值的变化量为△R、暂停时间的初始设定值为T,当差值△Rfm大于变化量△R时的暂停时间为T,当激光脉冲照射之间的暂停时间等于或者小于变化量△R时,相邻的激光脉冲照射之间的暂停时间Tend根据如上的公式来确定(见上式)。
文档编号B23K26/08GK1324079SQ0111613
公开日2001年11月28日 申请日期2001年5月15日 优先权日2000年5月15日
发明者堀越聪 申请人:日本电气株式会社