专利名称：超精密压电定位平台的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种定位平台，尤其涉及一种超精密压电定位平台。
背景技术：
参考中国台湾专利公告第589240号，其揭示一种具奈/微米旋动功能的非直线旋 动微调装置，该现有非直线旋动微调装置包含一具弧形或圆形旋动台、至少一组装设于旋 动台内部的位移驱动元件组以及导引或支撑该旋动台产生旋动的弧形基台或枢轴，使对应 基台或枢轴产生微动，藉此，以令该圆形或弧形旋动台作非直线的奈/微米级位移。参考中国台湾专利公告第567122号，其揭示一种具奈/微米旋动功能的万向滚动 微调装置，该现有万向滚动微调装置包含一形成有球面凹室的支撑座、一具有球面的球形 旋动台及至少六组设置于该球形旋动台内的位移驱动元件组。其中，该球形旋动台依XY、 XZ.YZ三平面方向将位移驱动元件装入其中，并将球形旋动台球面置于该支撑座的凹室中， 使得球形旋动台在支撑座上产生奈/微米级的移动。然而，上述专利的现有微调装置皆无法达成非等圆及非线性的微动。此外，在现有 技术中，包含上述专利的现有微调装置，多自由度超精密定位平台不仅占空间、造价亦非常 昂贵，且组装零件多、结构复杂、拆卸不便且不易维修。因此，实有必要提供一种创新且具进步性的超精密压电定位平台，以解决上述问题。
发明内容
本发明提供一种超精密压电定位平台，其包括一第一微动模块、一第二微动模块、 一第三微动模块及一载体。该第一微动模块具有二第一微动单元，每一第一微动单元提供 一第一轴向位移，每一第一微动单元具有一第一固定部、一第一活动部、二第一连杆及至少 一第一压电元件，其中一第一微动单元的第一固定部及第一活动部分别与另一第一微动单 元的第一固定部及第一活动部相对设置，第一连杆连接该第一固定部及该第一活动部，使 该第一固定部及该第一活动部为平行，该至少一第一压电元件设置于该第一固定部与该第 一活动部之间。该第二微动模块具有二第二微动单元，每一第二微动单元提供一第二轴向 位移，该第二轴向垂直该第一轴向，每一第二微动单元具有一第二固定部、一第二活动部、 二第二连杆及至少一第二压电元件，第二固定部分别垂直地连接第一活动部的相对二端以 形成一载体设置区域，且第二活动部接近第一固定部，每一第二微动单元的第二连杆连接 该第二固定部及该第二活动部，使该第二固定部及该第二活动部为平行，每一第二微动单 元的该至少一第二压电元件设置于该第二固定部与该第二活动部之间。该第三微动模块具 有二第三固定部、至少三万向挠性元件及设置于所述万向挠性元件中的至少三第三压电元 件，第三固定部分别垂直地连接第二活动部的相对二端，万向挠性元件分别设置于第三固 定部，且万向挠性元件面对该载体设置区域，每一第三压电元件提供一第三轴向位移，该第 三轴向垂直该第一轴向及该第二轴向。该载体设置于该载体设置区域且连接万向挠性元件。透过该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块的配合，使该超精密压 电定位平台可进行多轴向、非等圆及非线性的微动调整机能，并达到高精密度定位的功效。 并且，该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块以反层叠组合方式结合，更扁平 化该超精密压电定位平台，故有效简化该超精密压电定位平台的体积与高度。再者，模块化 的设计，使得该超精密压电定位平台的组装零件少、拆卸方便且易于维修。
此处所说明的附图用来提供对本发明的进一步理解，构成本申请的一部分，并不 构成对本发明的限定。在附图中图1显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的立体分解示意图；图2显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第一微动模块的第一微动 单元侧视图；图3显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第二微动模块的第二微动 单元侧视图；图4显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第三微动模块的立体分解 示意图；及图5显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的组合示意图。附图标号1 本发明的超精密压电定位平台10第— 微动模块
11第— 微动单元
20第二.微动模块
21第二.微动单元
30第三微动模块
31第三固定部
32万向挠性元件
33第三压电元件
40载体
41框架
42基板
50载体设置区域
111第— 固定部
112第— 活动部
113第一 连杆
114压电元件
115第— 弹性元件
116第一 调整组件
117垫材
211第二.固定部
212第二.活动部
213第二.连杆
214第二.压电元件
215第二.弹性元件
216第二.调整组件
217垫材
311缺角
321开孔
322固定孔
331弧状顶面
1111第— 固定部本体
1112第— 固定部凸块
1113第— 设置孔
1121第— 活动部
1122第一 活动部凸块
1123缺角
1124第— 凹槽
1131第— 颈缩部
2111第二.固定部本体
2112第:二固定部凸块
2113第:二设置孔
2121第:二活动部本体
2122第:二活动部凸块
2123第:二凹槽
2131第:二颈缩部
具体实施例方式为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合附图对本发明实施 例做进一步详细说明。在此，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，但并不作为 对本发明的限定。图1显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的立体分解示意图；图2显示 本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第一微动模块的第一微动单元侧视图；图3显 示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第二微动模块的第二微动单元侧视图；图4 显示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的第三微动模块的立体分解示意图；图5显 示本发明较佳实施例的超精密压电定位平台的组合示意图。配合参考图1及图2，该超精密压电定位平台1包括一第一微动模块10、一第二微 动模块20、一第三微动模块30及一载体40。该第一微动模块10具有二第一微动单元11， 每一第一微动单元11提供一第一轴向(图1中的χ轴向)位移。在本实施例中，每一第一微动单元11具有一第一固定部111、一第一活动部112、二第一连杆113、至少一第一压电元 件114、一第一弹性元件115及二第一调整组件116(参考图2)。在本实施例中，其中一第一微动单元11的第一固定部111及第一活动部112分别 与另一第一微动单元11的第一固定部111及第一活动部112相对设置。该第一微动单元 11的该第一固定部111为平行且相对设置，该第一活动部112为平行且相对设置。在本实施例中，每一第一固定部111包括一第一固定部本体1111及二第一固定部 凸块1112，每一第一活动部112包括一第一活动部本体1121及一第一活动部凸块1122，其 中每一第一活动部本体1121的二端分别具有一缺角1123。该第一固定部凸块1112及该第 一活动部凸块1122位于该第一固定部本体1111与该第一活动部本体1121之间，该第一活 动部凸块1122设置于该第一固定部凸块1112之间。在本实施例中，每一第一固定部111的二第一固定部凸块1112分别螺设于第一固 定部本体1111，且每一第一活动部112的第一活动部凸块1122亦螺设于第一活动部本体 1121。在其他应用中，每一第一固定部111的二第一固定部凸块1112分别螺设于第一固定 部本体1111，每一第一活动部112的第一活动部本体1121及第一活动部凸块1122可为一 体成型。每一第一固定部111的二第一固定部凸块1112分别具有一第一设置孔1113，每一 第一活动部112的第一活动部凸块1122具有二第一凹槽1124，该第一凹槽IlM分别相对 该第一设置孔1113。每一第一微动单元11的该等第一连杆113连接该第一固定部111及该第一活动 部112，使该第一固定部111及该第一活动部112为平行。在本实施例中，每一第一连杆113 在连接该第一固定部111及该第一活动部112之处具有一第一颈缩部1131。该第一连杆 113可确保每一第一微动单元11的第一固定部111及第一活动部112间的相对关系(如平 行度)，以达到精密的位移及定位。该至少一第一压电元件114设置于该第一固定部111与该第一活动部112之间。 在本实施例中，该至少一第一压电元件114设置于其中一第一固定部凸块1112(图2中左 侧的第一固定部凸块1112)的第一设置孔1113与该第一活动部凸块1122的相应第一凹槽 1124间。当施加一电压在该至少一第一压电元件114时，该至少一第一压电元件114产生 第一轴向的变形，且顶推相应第一活动部凸块1122产生移动，使得第一活动部112进行第 一轴向的位移。其中，当施加于每一第一微动单元11的第一压电元件114的电压相同时，每一第 一压电元件114会产生相同的第一轴向的变形量，因此顶推相应第一活动部凸块1122的位 移量相同，使得该超精密压电定位平台1可进行该第一轴向的位移；当施加于每一第一微 动单元11的第一压电元件114的电压不同时，每一第一压电元件114会产生不同的第一轴 向的变形量，因此顶推相应第一活动部凸块1122的位移量不同，使得该超精密压电定位平 台1可进行一第一角度方向θ的旋转(平行图1中的x-y平面的旋转)。该第一弹性元件115设置于另一第一固定部凸块1112(图2中右侧的第一固定部 凸块1112)的第一设置孔1113与该第一活动部凸块1122的相应第一凹槽IlM间，且其相 对于该至少一第一压电元件114。较佳地，该第一弹性元件115为弹簧。该第一调整组件 116分别于相对第一设置孔1113的侧面穿固于相对的第一固定部凸块1112并分别接触该 至少一第一压电元件114及该第一弹性元件115。较佳地，该第一调整组件116为内多角螺丝，例如内六角螺丝。较佳地，该至少一第一压电元件114与相应第一调整组件116之间设 有垫材117，以确保该相应第一调整组件116与该至少一第一压电元件114接触的均勻及紧 密性，较佳地，该垫材117的材质为铜。该第一调整组件116用以抵掣固定相应的第一压电元件114，调整控制该至少一 第一压电元件114与相应第一凹槽IlM间的力量，以确保其接触的紧密性，且确保该超精 密压电定位平台1的精密度；以及该第一调整组件116用以顶抵相应的第一弹性元件115， 用以调整控制施加于相应第一活动部凸块1122的回复力，以回复变形后的第一微动单元 11。其中，透过该第一弹性元件115及该第一调整组件116的配合调整后，使得每一第 一压电元件114的变形推力大于( > )相应第一弹性元件115的回复力大于( > )相应二 第一连杆113的变形抵抗力。如此，每一第一压电元件114可推动相应第一活动部112，每 一第一弹性元件115可将相应第一活动部112回复至未变形时的位置。配合参考图1及图3，该第二微动模块20具有二第二微动单元21，每一第二微动 单元21提供一第二轴向(图1中的y轴向)位移，该第二轴向垂直该第一轴向。在本实施 例中，每一第二微动单元21具有一第二固定部211、一第二活动部212、二第二连杆213、至 少一第二压电元件214、一第二弹性元件215及二第二调整组件216 (参考图3)。该第二固定部211分别垂直地连接该第一活动部112的相对二端以形成一载体设 置区域50 (参考图幻，且该第二活动部212接近该第一固定部111。每一第二微动单元21 的该第二连杆213连接该第二固定部211及该第二活动部212，使该第二固定部211及该第 二活动部212为平行。在本实施例中，每一第二固定部211包括一第二固定部本体2111及二第二固定部 凸块2112，每一第二微动单元21的第二固定部211的长度大于第二活动部212的长度。每 一第二固定部211的二端分别设置于该第一活动部112间的相对二缺角1123(参考图2)， 使该第二微动模块20与该第一微动模块10作反向层叠的结合，以减少该超精密压电定位 平台1的体积与高度。每一第二活动部212包括一第二活动部本体2121及一第二活动部 凸块2122，该第二固定部凸块2112及该第二活动部凸块2122位于该第二固定部本体2111 与该第二活动部本体2121之间，该第二活动部凸块2122设置于该第二固定部凸块2112之 间。在本实施例中，每一第二固定部211的二第二固定部凸块2112分别螺设于第二固 定部本体2111，且每一第二活动部212的第二活动部凸块2122亦螺设于第二活动部本体 2121。在其他应用中，每一第二固定部211的二第二固定部凸块2112可分别螺设于第二固 定部本体2111，而每一第二活动部212的第二活动部本体2121及第二活动部凸块2122为 一体成型。每一第二固定部211的二第二固定部凸块2112分别具有一第二设置孔2113，每 一第二活动部212的第二活动部凸块2122具有二第二凹槽2123，该第二凹槽2123分别相 对该第二设置孔2113。每一第二微动单元21的该第二连杆213连接该第二固定部211及该第二活动部 212，使该第二固定部211及该第二活动部212为平行。在本实施例中，每一第二连杆213在 连接该第二固定部211及该第二活动部212之处具有一第二颈缩部2131。该第二连杆213 可确保每一第二微动单元21的第二固定部211及第二活动部212间的相对关系(如平行度)，以达到精密的位移及定位。该至少一第二压电元件214设置于该第二固定部211与该第二活动部212之间。 在本实施例中，该至少一第二压电元件214设置于其中一第二固定部凸块2112(图3中左 侧的第二固定部凸块2112)的第二设置孔2113与该第二活动部凸块2122的相应第二凹槽 2123间。当施加一电压在该至少一第二压电元件214时，该至少一第二压电元件214产生 第二轴向的变形，且顶推相应第二活动部凸块2122产生移动，使得第二活动部212进行第 二轴向的位移。其中，当施加于每一第二微动单元21的第二压电元件214的电压相同时，每一第 二压电元件214会产生相同的第二轴向的变形量，因此顶推相应第二活动部凸块2122的位 移量相同，使得该超精密压电定位平台可进行该第二轴向的位移；当施加于每一第二微动 单元21的第二压电元件214的电压不同时，每一第二压电元件214会产生不同的第二轴向 的变形量，因此顶推相应第二活动部凸块2122的位移量不同，使得该超精密压电定位平台 1可进行该第一角度方向θ的旋转(平行图1中的χ-y平面的旋转)。该第二弹性元件215设置于另一第二固定部凸块2112 (图3中右侧的第二固定部 凸块2112)的第二设置孔2113与该第二活动部凸块2122的相应第二凹槽2123间且相对 于该至少一第二压电元件214。较佳地，该第二弹性元件215为弹簧。该第二调整组件216 分别在相对第二设置孔2113的侧面穿固于相对的第二固定部凸块2112并分别接触该至少 一第二压电元件214及该第二弹性元件215。较佳地，该第二调整组件216为内多角螺丝， 例如内六角螺丝。较佳地，该至少一第二压电元件214与相应第二调整组件216之间设有 垫材217，以确保该相应第二调整组件216与该至少一第二压电元件214接触的均勻及紧密 性，较佳地，该垫材217的材质为铜。该第二调整组件216用以抵掣固定相应的第二压电元件214，调整控制该至少一 第二压电元件214与相应第二凹槽2123间的力量，以确保其接触的紧密性，且确保该超精 密压电定位平台1的精密度。该第二调整组件216顶抵相应的第二弹性元件215，用以调整 控制施加于相应第二活动部凸块2122的回复力，以回复变形后的第二微动单元21。其中，透过该第二弹性元件215及该第二调整组件216的配合调整后，使得每一第 二压电元件214的变形推力大于( > )相应第二弹性元件215的回复力大于( > )相应二 第二连杆213的变形抵抗力。如此，每一第二压电元件214可推动相应第二活动部212，每 一第二弹性元件215可将相应第二活动部212回复至未变形时的位置。配合参考图1、图4及图5，该第三微动模块30具有二第三固定部31、至少三万向 挠性元件32及设置于该万向挠性元件32中的至少三第三压电元件33。该第三固定部31 分别垂直地连接该第二活动部212的相对二端，该万向挠性元件32的一端分别设置于该第 三固定部31，且该万向挠性元件32面对该载体设置区域50。在本实施例中，该万向挠性元 件32设置于该第三固定部31及该载体40之间且呈三角形分布。每一第三压电元件33提 供一第三轴向(图1中的ζ轴向)位移，其中该第三轴向垂直该第一轴向及该第二轴向。每 一压电元件33具有一弧状顶面331，该弧状顶面331经由相应的万向挠性元件32的一开孔 321突出于外，且实质上以点接触方式与该载体40连接，而该载体40通过锁固件(图中未 示)结合该等万向挠性元件32的固定孔322，以固定于该万向挠性元件32。在本实施例， 该万向挠性元件32为挠性联轴器。
在本实施例中，每一第三固定部31的二端具有一缺角311，每一第二活动部212的 二端分别设置于该第三固定部31间的相对二缺角311，使该第三微动模块30与该第二微动 模块20作反向层叠的结合，以减少该超精密压电定位平台1的体积与高度。当施加于该第三微动模块30的第三压电元件33的电压相同时，每一第三压电元 件33会产生相同的第三轴向的变形量，因此每一第三压电元件33顶推该载体40的位移量 相同，使得该超精密压电定位平台1可进行该第三轴向的位移；当施加于该第三微动模块 30的第三压电元件33的电压不同时，每一第三压电元件33会产生不同的第三轴向的变形 量，因此每一第三压电元件33顶推该载体40的位移量不同，通过控制该等第三压电元件33 的变形量，可使该超精密压电定位平台1进行一第二角度方向α的旋转(平行图1中的 x-z平面的旋转)及一第三角度方向β的旋转(平行图1中的y_z平面的旋转)。该载体40设置于该载体设置区域5且连接该等万向挠性元件32。较佳地，该载体 40的周围与该第一微动模块10及该第二微动模块20之间具有一间隙，以提供该载体40调 整定位的活动空间。在本实施例中，该载体40包括一框架41及一基板42，该框架41连接 该万向挠性元件32，该基板42固设于该框架41中。其中，依据该基板42所承载的物件的 加工或制造需求，该基板42可为一透明基板。本发明的超精密压电定位平台1可应用于自动化产业、半导体产业(例如微机电 系统(MEMS)、小型晶片厂或LED磊晶厂)、光电产业。举例而言，本发明超精密压电定位平台1应用在曝光光刻工艺中的掩膜系统，可 大幅降低因掩膜更换时所发生的精度误差与调整问题。由于，如何降低因产品种类切换所 产生的延宕，就等于提升产业竞争力，故除了提升产品种类更换速度，更可以将对位的精度 大幅的提高。透过该第一微动模块10、该第二微动模块20及该第三微动模块30的配合，使该超 精密压电定位平台1可进行该第一轴向、该第二轴向、该第三轴向、该第一角度方向θ、该 第二角度方向α、该第三角度方向β的多轴向、非等圆及非线性(六自由度)的微动调整 机能，并达到高精密度定位的功效。并且，该第一微动模块10、该第二微动模块20及该第三微动模块30以反层叠组 合方式结合，更扁平化该超精密压电定位平台1，故有效简化该超精密压电定位平台1的体 积。再者，模块化的设计，使得该超精密压电定位平台1的组装零件少、拆卸方便且易于维 修。上述实施例仅为说明本发明的原理及其功效，并非限制本发明。因此本领域技术 人员对上述实施例进行修改及变化仍不脱本发明的精神。本发明的权利范围应如权利要求 书范围所列。
权利要求
1.一种超精密压电定位平台，其特征在于，所述的超精密压电定位平台包括一第一微动模块，具有二第一微动单元，每一第一微动单元提供一第一轴向位移，每一 第一微动单元具有一第一固定部、一第一活动部、二第一连杆及至少一第一压电元件，其中 一第一微动单元的第一固定部及第一活动部分别与另一第一微动单元的第一固定部及第 一活动部相对设置，所述第一连杆连接所述第一固定部及所述第一活动部，使所述第一固 定部及所述第一活动部为平行，所述至少一第一压电元件设置于所述第一固定部与所述第 一活动部之间；一第二微动模块，具有二第二微动单元，每一第二微动单元提供一第二轴向位移，所述 第二轴向垂直所述第一轴向，每一第二微动单元具有一第二固定部、一第二活动部、二第二 连杆及至少一第二压电元件，所述第二固定部分别垂直地连接所述第一活动部的相对二端 以形成一载体设置区域，且所述第二活动部接近所述第一固定部，每一第二微动单元的所 述第二连杆连接所述第二固定部及所述第二活动部，使所述第二固定部及所述第二活动部 为平行，每一第二微动单元的所述至少一第二压电元件设置于所述第二固定部与所述第二 活动部之间；一第三微动模块，具有二第三固定部、至少三万向挠性元件及设置于所述万向挠性元 件中的至少三第三压电元件，所述第三固定部分别垂直地连接所述第二活动部的相对二 端，所述万向挠性元件分别设置于所述第三固定部，且所述万向挠性元件面对所述载体设 置区域，每一第三压电元件提供一第三轴向位移，所述第三轴向垂直所述第一轴向及所述 第二轴向；及一载体，设置于所述载体设置区域且连接所述万向挠性元件。
2.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部包括一第一固定部本 体及二第一固定部凸块，每一第一活动部包括一第一活动部本体及一第一活动部凸块，所 述第一固定部凸块及所述第一活动部凸块位于所述第一固定部本体与所述第一活动部本 体之间，所述第一活动部凸块设置于所述第一固定部凸块之间，所述至少一第一压电元件 设置于其中一第一固定部凸块与所述第一活动部凸块之间；每一第二固定部包括一第二固 定部本体及二第二固定部凸块，每一第二活动部包括一第二活动部本体及一第二活动部凸 块，所述第二固定部凸块及所述第二活动部凸块位于所述第二固定部本体与所述第二活动 部本体之间，所述第二活动部凸块设置于所述第二固定部凸块之间，所述至少一第二压电 元件设置于其中一第二固定部凸块与所述第二活动部凸块之间。
3.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块 分别螺设于第一固定部本体，每一第一活动部的第一活动部本体及第一活动部凸块为一体 成型。
4.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块 分别螺设于第一固定部本体，每一第二活动部的第二活动部凸块螺设于第二活动部本体。
5.如权利要求2所述的定位平台，其特征在于，每一第一微动单元另包括一第一弹性 元件，所述第一弹性元件设置于另一第一固定部凸块与所述第一活动部凸块之间且相对于 所述至少一第一压电元件；每一第二微动单元另包括一第二弹性元件，所述第二弹性元件 设置于另一第二固定部凸块与所述第二活动部凸块之间且相对于所述至少一第二压电元 件。
6.如权利要求5所述的定位平台，其特征在于，每一第一固定部的二第一固定部凸块 分别具有一第一设置孔，每一第一活动部的第一活动部凸块具有二第一凹槽，所述第一凹 槽分别相对所述第一设置孔，所述至少一第一压电元件及所述第一弹性元件分别设置于相 对的第一设置孔与第一凹槽之间；每一第二固定部的二第二固定部凸块分别具有一第二设 置孔，每一第二活动部的第二活动部凸块具有二第二凹槽，所述第二凹槽分别相对所述第 二设置孔，所述至少一第二压电元件及所述第二弹性元件分别设置于相对的第二设置孔与 第二凹槽之间。
7.如权利要求6所述的定位平台，其特征在于，每一第一微动单元另包括二第一调整 组件，所述第一调整组件分别在相对第一设置孔的侧面穿固于相对的第一固定部凸块并分 别接触所述至少一第一压电元件及所述第一弹性元件；每一第二微动单元另包括二第二调 整组件，所述第二调整组件分别在相对第二设置孔的侧面穿固于相对的第二固定部凸块并 分别接触所述至少一第二压电元件及所述第二弹性元件。
8.如权利要求7所述的定位平台，其特征在于，所述的定位平台还包括多个垫材，设置 于所述至少一第一压电元件与相应第一调整组件之间以及所述至少一第二压电元件与相 应第二调整组件之间。
9.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每一第一活动部的二端分别具有一缺 角，每一第二固定部的二端分别设置于所述第一活动部间的相对二缺角。
10.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每一第一连杆在连接所述第一固定部 及所述第一活动部之处具有一第一颈缩部，每一第二连杆在连接所述第二固定部及所述第 二活动部之处具有一第二颈缩部。
11.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述万向挠性元件为挠性联轴器。
12.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，每一第三压电元件具有一弧状顶面， 所述弧状顶面接触所述载体。
13.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述载体的周围与所述第一微动模块 及所述第二微动模块之间具有一间隙。
14.如权利要求1所述的定位平台，其特征在于，所述载体包括一框架及一基板，所述 框架连接所述万向挠性元件，所述基板固设于所述框架中。
15.如权利要求14所述的定位平台，其特征在于，所述基板为一透明基板。
全文摘要
本发明公开了一种超精密压电定位平台，其中通过一第一微动模块、一第二微动模块及一第三微动模块的配合，透过多个压电元件使该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块产生位移，使该超精密压电定位平台可进行多轴向、非等圆及非线性的微动调整机能，并达到高精密度定位的功效。并且，该第一微动模块、该第二微动模块及该第三微动模块以反层叠组合方式结合，更扁平化该超精密压电定位平台，故有效简化该超精密压电定位平台的体积与高度。再者，模块化的设计，使得该超精密压电定位平台的组装零件少、拆卸方便且易于维修。
文档编号B23Q1/34GK102114600SQ20091024959
公开日2011年7月6日 申请日期2009年12月30日 优先权日2009年12月30日
发明者刘冠志, 洪国凯, 游源成, 黄加助 申请人:财团法人金属工业研究发展中心