专利名称：激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种激光去飞边机，尤其是涉及一种超薄型集成电路系列产品激 光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置。适用于较高端的超薄型封装芯片的去飞 边工艺。
背景技术：
超薄型集成电路激光去飞边机主要是由许多的机械零件配合气动组件、步进马 达、伺服马达、光纤传感器、视觉定位系统、激光扫描系统等组成之机电一体化设备。其设备 流程程式由PLC和工控机编写而成，而视觉定位系统与激光扫描系统则采用独立工控机编 程。主要是由供料单元、抓料单元、流道单元、视觉定位与激光扫描单元以及收料单元共五 个局部性单元所组装而成。传统的去飞边工艺是采用人工手刷、喷砂、高压水射流等工艺， 这些传统的去飞边工艺对于目前较高端的超薄型芯片有一定的损害，而激光去飞边则能克 服这些不足，并且性能更加稳定可靠。以往激光应用类设备定位与激光扫描主要有以下两种模式1、产品靠机械定位，然后通知激光扫描装置工作；2、视觉定位与激光扫描分离式，视觉定位系统采用X-Y移动平台，当产品到位后， 视觉定位系统移动至产品位置进行视觉定位，完成后再次离开产品位置，通知激光扫描装
置工作。随着封装产品的超薄化，机械定位已不能满足要求，而视觉定位与激光扫描分离 式模式，占用设备空间大，制造成本较高，并且移动部件多、动作繁多，影响整体定位精度和 设备性能。
发明内容本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种占用设备空间小、制造成本较低 的激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置。本实用新型的目的是这样实现的一种激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路 同轴装置，所述装置包括光纤激光器、CCD相机组机、全透全反镜、扫描头组件、远心场镜、工 作平台和红外光源，所述扫描头组件包括X振镜和Y振镜，所述光纤激光器、全透全反镜和 扫描头组件自左至右处于同一水平轴心线上，所述CCD相机组机置于全透全反镜上方，与 全透全反镜处于同一垂直轴心线上，所述远心场镜置于扫描头组件下方，与该扫描头组件 的中心线处于同一垂直轴心线上，所述工作平台设置于远心场镜下方，红外光源设置于工 作平台上方，并置于远心场镜下方。本实用新型的有益效果是此方式极大的提高了产品的定位精度及定位速度，移动部件少、动作简单，节省了 设备空间，降低了设备制造成本，提高了设备的整体性能。
图1为本实用新型激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置结构示意 图。图中光纤激光器1、(XD相机组机2、全透全反镜3、扫描头组件4、X振镜5、Y振镜6、远 心场镜7、工作平台8、红外光源9。
具体实施方式
参见图1，图1为本实用新型激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置 结构示意图。由图1可以看出，本实用新型激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴 装置，包括光纤激光器1、CXD相机组机2、全透全反镜3、扫描头组件4、远心场镜7、工作平 台8和红外光源9，所述扫描头组件4包括X振镜5和Y振镜6，所述光纤激光器1、全透全 反镜3和扫描头组件4自左至右处于同一水平轴心线上，所述CXD相机组机2置于全透全 反镜3上方，与全透全反镜3处于同一垂直轴心线上，所述远心场镜7置于扫描头组件4下 方，与该扫描头组件4的中心线处于同一垂直轴心线上，所述工作平台8设置于远心场镜7 下方，红外光源9设置于工作平台8上方，并置于远心场镜7下方。所述光纤激光器1波长为1064nm。CXD相机组机2采用320万像素镜头，放大倍率 为70倍。全透全反镜3对1064nm波长的光全透，而对波长为880nm的红外光则全反。扫 描头组件4包含X振镜5、Y振镜6及相关驱动电机等，扫描速度为2. 5m/s。远心场镜7的 应用主要是能保证激光扫描工作区域内产品时光束均为垂直扫描。工作平台8在激光去飞 边机中为流道及压板装置。红外光源9采用波长为880nm的红外不可见光的LED排灯。动作原理1、根据相机镜头的视野范围以及产品的尺寸大小，人为的将产品分成若个小区 域；2、当产品经过流道到加工区后，流道系统给视觉定位与激光扫描装置就位准备信 号；3、视觉定位与激光扫描装置收到信号后，视觉定位系统对这若干个小区域逐个进 行拍照并进行精确定位计算，并将计算出的数据传送给激光扫描装置；4、激光扫描装置根据视觉定位系统传送过来的数据进行一定规则的扫描，视觉定 位与激光扫描可以并行处理；5、整个产品完成视觉定位和激光扫描之后发送信号给流道系统，流道系统根据接 收到的信号再将产品移出流道。
权利要求一种激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置，其特征在于所述装置包括光纤激光器(1)、CCD相机组机(2)、全透全反镜(3)、扫描头组件(4)、远心场镜(7)、工作平台(8)和红外光源(9)，所述扫描头组件(4)包括X振镜(5)和Y振镜(6)，所述光纤激光器(1)、全透全反镜(3)和扫描头组件(4)自左至右处于同一水平轴心线上，所述CCD相机组机(2)置于全透全反镜(3)上方，与全透全反镜(3)处于同一垂直轴心线上，所述远心场镜(7)置于扫描头组件(4)下方，与该扫描头组件(4)的中心线处于同一垂直轴心线上，所述工作平台(8)设置于远心场镜(7)下方，红外光源(9)设置于工作平台(8)上方，并置于远心场镜(7)下方。
专利摘要本实用新型涉及一种激光去飞边机的视觉定位与激光扫描光路同轴装置，其特征在于所述装置包括光纤激光器(1)、CCD相机组机(2)、全透全反镜(3)、扫描头组件(4)、远心场镜(7)、工作平台(8)和红外光源(9)，所述扫描头组件(4)包括X振镜(5)和Y振镜(6)，所述光纤激光器(1)、全透全反镜(3)和扫描头组件(4)自左至右处于同一水平轴心线上，所述CCD相机组机(2)置于全透全反镜(3)上方，与全透全反镜(3)处于同一垂直轴心线上，所述远心场镜(7)置于扫描头组件(4)下方，与该扫描头组件(4)的中心线处于同一垂直轴心线上，所述工作平台(8)设置于远心场镜(7)下方，红外光源(9)设置于工作平台(8)上方，并置于远心场镜(7)下方。本实用新型节省了设备空间，降低了设备制造成本，提高了设备的整体性能。
文档编号B23K26/42GK201632772SQ20092029966
公开日2010年11月17日 申请日期2009年12月28日 优先权日2009年12月28日
发明者吴忠其, 曾坤灿, 李毛惠, 王晓华, 马浩峰 申请人:江阴新基电子设备有限公司