专利名称：除去装置的制作方法
技术领域：
本发明涉及从如有机电致发光显示用玻璃基板、液晶显示用玻璃基板、树脂基板、 光罩用玻璃基板、光碟用基板及太阳能电池用玻璃基板等、由绝缘体形成且具有透 光性的绝缘基板(以下简单地称作“绝缘基板”)除去膜的除去装置。
背景技术：
先前，通过对形成在绝缘基板上的膜照射激光而除去绝缘基板上的膜的技术为人所周知(例如专利文献1至3)。此处，专利文献1至3中记载的技术为通过如下方法将绝缘基板上的膜除去(1)进行反转以使绝缘基板的膜面(绝缘基板的主面中形成有膜的面)成为下侧， 且，(2)将从与膜面为相反侧的面(绝缘基板的上侧主面)入射并透过绝缘基板的激光照射至膜。[先前技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2001-111078号公报[专利文献2]日本专利特开2009-082974号公报[专利文献3]日本专利特开2010-092893号公报
发明内容
[发明所欲解决的问题]如此，专利文献1至3的技术是以在进行膜面的除去之前使绝缘基板反转以使膜面成为下侧的情况为前提.该情形时，绝缘基板的保持部保持反转后的绝缘基板的周缘部以防止形成在膜面上的膜受到损伤。因此，如果绝缘基板趋于大型化，则绝缘基板挠曲的影响会进一步增大。其结果存在如下问题，即无法使激光相对于形成在绝缘基板上的膜而良好地聚光，从而无法将该膜良好地除去。由此，本发明的目的在于提供一种可将形成在绝缘基板上的膜良好地除去的除去
直ο[解决问题的技术手段]为解决上述问题，技术方案1的发明是一种从具有透光性的绝缘基板上除去膜的除去装置，其特征在于，包括保持单元，其以使上述膜成为上侧的方式保持上述绝缘基板； 除去吸引单元，其从上述绝缘基板上除去及吸引上述膜；以及驱动单元，其使上述除去吸引单元相对于上述保持单元而相对性地移动；且上述除去吸引单元包括照射部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的下方，对形成在上述绝缘基板上的上述膜照射激光；以及吸引部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的上方且上述照射部的正上方，对通过上述激光的照射而除去的上述膜的构成物质进行吸引；上述驱动单元使维持相互的位置关系的上述照射部及上述吸引部相对于上述保持单元而相对性地移动。此外，技术方案2的发明是根据技术方案1所记载的除去装置，其特征在于上述除去吸引单元进而包括安装有上述照射部及上述吸引部的安装部，上述驱动单元通过对上述安装部提供驱动力，而使上述照射部及上述吸引部相对于上述保持单元相对性地移动。此外，技术 方案3的发明是根据技术方案1或技术方案2所记载的除去装置，其特征在于上述照射部的中心轴与上述吸引部的中心轴大致一致。此外，技术方案4的发明是根据技术方案1至技术方案3中任一项所记载的除去装置，其特征在于进而包括净化喷嘴，其设置在上述除去吸引单元的退避位置，对上述照射部供给清洁空气。[发明的效果]根据技术方案1至技术方案4所记载的发明，照射部一面照射激光，一面相对于保持单元而相对性地移动。此外，吸引部在保持与照射部的位置关系的状态下，与照射部一起相对于保持单元而相对性地移动。由此，从照射部照射的激光从绝缘基板的下侧入射至绝缘基板，并到达形成在绝缘基板上的膜。而且，通过该激光从绝缘基板上除去的膜的构成物质，在除去后迅速地被设置在照射部的正上方的吸引部吸引。如此，根据技术方案1至技术方案4所记载的发明，在照射部的正上方设置吸引部，并且使吸引部与照射部一起移动，由此可对从绝缘基板除去的膜的构成物质良好地吸弓丨。即，无须在保持单元的附近设置大型的吸引机构。因此，可降低除去装置的装置尺寸及除去装置的制造成本。尤其，根据技术方案2所记载的发明，照射部及吸引部分别安装在安装部上，照射部及吸引部成一体地相对于保持单元而相对性地移动。因此，可更好地执行绝缘基板上的膜的除去及吸引。尤其，根据技术方案3所记载的发明，照射部的中心轴与吸引部的中心轴大致一致。由此，从绝缘基板上除去的膜的构成物质更迅速地被吸引部吸引。因此，可更好地执行绝缘基板上的膜的除去及吸引。尤其，根据技术方案4所记载的发明，可对移动到退避位置的除去吸引单元的照射部供给清洁空气。由此，即便在从绝缘基板的下侧照射激光的情形时，也可将照射部维持在清洁状态。因此，可良好地维持激光对膜的除去状态。
图1是表示本发明的实施方式的除去装置的构成的一例的立体图。图2是表示本发明的实施方式的除去装置的构成的一例的立体图。图3是表示除去吸引单元附近的构成的一例的正视图。[符号的说明]1除去装置5绝缘基板6 膜
7除去范围8保持范围 10保持单元IOa保持面lla、60a水平驱动部lib旋转驱动部Ilc旋转轴20桥接构造体30除去吸引单元40照射部40a 激光40b、50a 中心轴50吸引部51吸引喷嘴60安装部70驱动单元80净化喷嘴Dl扫描宽度D2开口宽度Pl退避位置
具体实施例方式以下，参照图式对本发明的实施方式进行详细说明。<1.除去装置的构成〉图1及图2是表示本发明的实施方式的除去装置1的构成的一例的立体图。图3 是表示除去吸引单元30附近的构成的一例的正视图。此处，除去装置1从绝缘基板5除去膜6而使绝缘基板5的表面露出，由此对绝缘基板5的周缘附近执行除边加工。如图1及图2所示，除去装置1主要包括保持单元10、桥接构造体20、除去吸引单元30、净化喷嘴80 及控制部90。另外，图1至图3中，为明确这些构件之方向关系，附有将Z轴方向设为铅直方向、 且将XY平面设为水平面之XYZ正交坐标系。保持单元10以使膜6成为上侧(更具体而言，于保持单元10较除去范围7而成为中心侧之保持范围8)保持绝缘基板5。如图1至图3所示，保持单元10主要包括水平驱动部Ila及旋转驱动部lib。此外，如图3所示，于保持单元10设置有吸附槽12及贯通孔 13。水平驱动部Ila使保持单元10沿箭头ARl方向(Y轴正或负方向第1水平方向) 进退。此外，旋转驱动部lib使保持单元10以旋转轴Ilc为中心沿箭头Rl方向(旋转方向)旋转。由此，保持单元10可使所保持的绝缘基板5的4边中的任一边移动至除去吸引单元30附近。而且，沿着该1边设定除去范围7 (参照图3)。
复数个(图3中为便于图示而设为1个)吸附槽12为设置在保持单元10的保持面IOa上的凹部。各吸附槽12以沿着X轴或Y轴呈大致直线状地延伸的方式形成，且形成为格子状。复数个(图3中为便于图示而设为2个)贯通孔13分别为贯通各吸附槽12及保持单元10的下表面侧的纵孔。例如，贯通孔13也可在复数个吸附槽12交叉的交叉点(格子点)连接。此外，各贯通孔13如图3所示，经由配管15、阀16、泵17及共用配管18而与排气管19连通连接。由此，通过使阀16打开并使泵17动作，而对绝缘基板5的下侧附近的环境气体及吸附槽12内的环境气体进行排气。因此，绝缘基板5吸附保持于保持单元10的保持面 10a。桥接构造体20是以跨过保持单元10的方式配置的构造物。如图1及图2所示， 桥接构造体20包括沿与保持单元10的前进方向(箭头ARl方向)正交的方向(箭头AR2 方向)延伸的单元支撑体21。除去吸引单元30如图3所示，一面沿着桥接槽构造体20的单元支撑体21进退， 一面通过激光40a从绝缘基板5上的除去范围7除去膜6。此外，除去吸引单元30对从绝缘基板5上释出的膜6的构成物质进行吸引(吸尘)。另外，下文对除去吸引单元30的详细内容进行说明。净化喷嘴80，对例如照射部40的扫描部42(参照图3)般的光学系统供给清洁空气(例如氮气)，由此将附着在照射部40上的尘埃等除去而对照射部40进行净化。净化喷嘴80经由配管81而连接于未图示的清洁空气供给源。如图2所示，净化喷嘴80设置在除去吸引单元30的退避位置P1。由此，即便在从绝缘基板5的下侧照射激光40a的情形时，也可将照射部40维持在清洁状态。因此，可良好地维持激光40a对膜6的除去状态。控制部90控制例如保持单元10的进退及旋转动作、以及除去吸引单元30的进退动作、照射动作及吸引动作，并且实现数据运算。如图1及图2所示，控制部90主要包括 ROM (Read Only Memory，只读存储器)91、RAM (Random Access Memory，随机存取存储器)92。CPU (Central Processor Unit，中央处理器)93。R0M91为所谓的非易失性的存储部，存储有例如程序91a。另外，R0M91也可使用读写自由的作为非易失性存储器的快闪存储器。RAM92为易失性的存储部，存储有例如CPU93的运算中所使用的数据。CPU93执行依照R0M91的程序91a的控制(例如除去吸引单元30的吸引动作的控制)及数据处理。<2.除去吸引单元的构成〉此处，对除去吸引单元30的硬件构成进行说明。如图3所示，除去吸引单元30主要包括照射部40、吸引部50及安装部60。照射部40如图3所示，设置在由保持单元10所保持的绝缘基板5的下方，对形成在绝缘基板5上的膜6照射激光40a (例如激光点直径为1. 50 μ m左右)。受到激光40a照射的膜6成为原子状态、分子状态、等离子状态，膜6的构成物质的微 粒子从绝缘基板5上释出。如图3所示，照射部40主要包括激光振荡器41、扫描部42、光纤43。
激光振荡器41根据从控制部90发送的驱动信号而射出激光。本实施方式中，作为激光振荡器41，也可使用相对能见度较高的绿色激光(波长532nm之半导体激发固定激光)。而且，从激光振荡器41射出的激光经由光纤43而被导引至扫描部42。扫描部42通过变更激光40a的照射方向而使激光40a对膜6进行扫描。此处，本实施方式的扫描部42包括2片镜片(省略图示)，各镜片的旋转轴相互正交。因此，扫描部 42可通过调整各镜片的旋转量而使激光40a向所需方向摆动。吸引部50吸引从绝缘基板5上释出的膜6的构成物质。如图3所示，吸引部50 设置在由保持单元10所保持的绝缘基板5的上方且照射部40的正上方，且具有吸引喷嘴 51。
吸引喷嘴51如图3所示为在上下方向(Z轴方向)延伸的中空的筒状体。如图3 所示，吸引喷嘴51主要包括笔直部52、扩开部53及平坦部54。此外，如图3所示，吸引喷嘴51经由配管55、阀56、分离部57、配管58及泵59而与排气管19连通连接。笔直部52配置在扩开部53的上侧，且为在上下方向笔直地延伸的圆筒体。如图 3所示，笔直部52的内径在上下方向(Z轴方向)的各位置上大致相同。此外同样地，笔直部52的外径也在上下方向的各位置上大致相同。扩开部53如图3所示设置在笔直部52的下侧，且具有圆锥台状的外形。扩开部 53的内径及外径随着从笔直部52侧向平坦部54侧而增大。平坦部54为设置在扩开部53的下侧的环状平板。平坦部54的开口 54a用作吸引膜6的构成物质的吸引口。由此，在吸引喷嘴51中固化的膜6的固体成分由扩开部53 及平坦部54夹持的捕获空间50b捕获。因此，可防止固化的膜6的固体成分附着在绝缘基板5上。此外，如图3所示，吸引喷嘴51经由配管55、阀56、分离部57、配管58及泵59而与排气管19连通连接。由此，通过使阀56打开并使泵59动作，而使存在于除去范围7内的膜6的构成物质与除去范围7附近的环境气体一起排出。因此，可将绝缘基板5的上侧附近维持于清洁状态。此处，分离部57使膜6的构成物质从包含该构成物质的气体分离。例如，由吸引喷嘴51吸引的膜6的构成物质，经由配管55及阀56而被导引至分离部57的密闭空间57a 内。被导引至密闭空间57a内的膜6的构成物质固化而成为固体成分57b，且残留在密闭空间57a内。因此，从分离部57向排气管19排出未包含膜6的构成物质的清洁空气。如图1及图2所示，安装部60为沿着桥接构造体20的长度方向(箭头AR2方向) 进退的移动构件。于安装部60安装有照射部40及吸引部50。如图3所示，安装部60主要包括水平驱动部60a、支撑构件61、上部及下部托架62、63。支撑构件61为在上下方向延伸的柱状体。上部及下部托架62、63分别呈悬梁状设置在支撑构件61的上端及下端附近。而且，吸引部50及照射部40分别固定在上部及下部托架62、63的自由端。由此，固定在安装部60上的照射部40及吸引部50，可沿着俯视方形的绝缘基板5 的周缘向箭头AR2方向(参照图1及图2)移动。即，照射部40及吸引部50相对于保持单元10而成一体地移动。因此，可更好地执行绝缘基板5上的膜6的除去及吸引。此处，如图3所示，照射部40及吸引部50以使中心轴40b、50a大致一致的方式安装在安装部60。由此，从绝缘基板5上除去的膜6的构成物质更迅速地被吸引部50吸引。 因此，可更好地执行绝缘基板5上的膜6的除去及吸引。水平驱动部60a对安装部60的支撑构件61提供驱动力。由此，支撑构件61以及上部及下部托架62、63可沿箭头AR2方向(X轴正或负方向第2水平方向)进退。如此，水平驱动部60a、以及保持单元10的水平驱动部Ila及旋转驱动部11b，可使维持相互的位置关系的照射部40及吸引部50相对于保持单元10而相对性地移动。艮口， 水平驱动 部11a、旋转驱动部lib及水平驱动部60a可用作驱动单元70。此外，如上所述， 扫描部42可通过变更激光40a的照射方向而使激光40a对膜6进行扫描。由此，可一面通过扫描部42使激光40a沿箭头ARl方向往返扫描，一而通过驱动单元70使照射部40及吸引部50沿着绝缘基板5的周缘移动。因此，照射部40可照射激光40a以从成为绝缘基板5的周缘附近的除去范围7 (例如扫描宽度Dl为5 IOmm)除去膜6，从而可使绝缘基板5的表面露出。另外，作为水平驱动部11a、旋转驱动部lib及水平驱动部60a的移动形态的一例而可列举(1)仅照射部40及吸引部50移动；(2)仅保持单元10移动；(3)照射部40及吸引部50以及保持单元10均移动。此外，吸引喷嘴51的开口宽度D2设定得大于除去范围7。因此，吸引部50可更好地吸引膜6的构成物质。<3.本实施方式的除去装置的优点>如以上所述，本实施方式的除去装置1中，照射部40 —面照射激光40a，一面相对于保持单元10而相对性地移动。此外，吸引部50在维持与照射部40的位置关系的状态下， 与照射部40 —起相对于保持单元10而相对性地移动。由此，从照射部40照射的激光40a从绝缘基板5的下侧入射至绝缘基板5，并到达形成在绝缘基板5上的膜6。而且，通过该激光40a从绝缘基板5上除去的膜的构成物质， 在除去后迅速地被设置在照射部40的正上方的吸引部50吸引。如此，通过在照射部40的正上方设置吸引部50，并且使照射部40及吸引部50 — 体地移动，而可良好地吸引从绝缘基板5除去的膜6的构成物质。即，无须在保持单元10 的附近设置大型的吸引机构。因此，可降低除去装置1的装置尺寸及除去装置1的制造成本。此外，本实施方式的除去装置1不使绝缘基板5反转便可除去绝缘基板5上的膜 6。S卩，本实施方式的除去装置1，可抑制在保持反转状态的绝缘基板5时成为问题的绝缘基板5的挠曲的影响。因此，可使激光40a在膜6上良好地聚光，从而可良好地执行膜6的除去。<4.变形例 >以上，对本发明的实施方式进行说明，本发明并不限定于上述实施方式，可进行各种变形。本实施方式中，说明了保持单元10的保持面IOa的尺寸小于绝缘基板5的主面尺寸，但并不限定于此。如果保持单元10的材质相对于激光40a而透明，则保持单元10的保持面IOa的尺寸也可为绝缘基板5的主面尺寸以上。该情形时 ，激光40a从保持单元10的下侧入射至保持单元10，并经由绝缘基板5而到达膜6。
权利要求
1.一种除去装置，从具有透光性的绝缘基板上除去膜，其特征在于包括 保持单元，其以使上述膜成为上侧的方式保持上述绝缘基板；除去吸引单元，其从上述绝缘基板上除去及吸引上述膜；以及驱动单元，其使上述除去吸引单元相对于上述保持单元而相对性地移动；且上述除去吸引单元包括照射部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的下方，对形成在上述绝缘基板上的上述膜照射激光；以及吸引部，其设置在由上述保持单元所保持的上述绝缘基板的上方且上述照射部的正上方，对通过上述激光的照射而除去的上述膜的构成物质进行吸引；上述驱动单元使维持相互的位置关系的上述照射部及上述吸引部相对于上述保持单元而相对性地移动。
2.根据权利要求1所述的除去装置，其特征在于上述除去吸引单元进而包括安装有上述照射部及上述吸引部的安装部， 上述驱动单元通过对上述安装部提供驱动力，而使上述照射部及上述吸引部相对于上述保持单元相对性地移动。
3.根据权利要求1所述的除去装置，其特征在于 上述照射部的中心轴与上述吸引部的中心轴大致一致。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的除去装置，其特征在于进而包括净化喷嘴，其设置在上述除去吸引单元的退避位置，对上述照射部供给清洁空气。
全文摘要
本发明提供一种可将形成在绝缘基板上的膜良好地除去的除去装置。照射部(40)一面照射激光(40a)，一面相对于保持单元(10)而相对性地被移动。此外，吸引部(50)在保持与照射部(40)的位置关系的状态下，与照射部(40)一起相对于保持单元(10)而相对性地被移动。由此，从照射部(40)照射的激光(40a)从绝缘基板(5)的下侧入射至绝缘基板(5)，并到达形成在绝缘基板(5)上的膜(6)。而且，通过该激光(40a)从绝缘基板(5)上除去的膜(6)的构成物质，在除去后迅速地被设置在照射部(40)正上方的吸引部(50)吸引。
文档编号B23K26/16GK102310267SQ20111014876
公开日2012年1月11日 申请日期2011年5月27日 优先权日2010年6月30日
发明者赤井敏男, 高桥昌见 申请人:三星钻石工业股份有限公司