一种激光开关光装置的制作方法

1.本发明涉及晶圆切割技术领域，具体为一种激光开关光装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工一片或多片晶圆。半导体晶圆在生产加工过程中需要用到激光设备对晶圆表面进行开槽处理，晶圆low-k开槽过程中，需要对激光开关光控制。
3.目前，现有的传统开关光闸以气缸为动力，带动遮光片通过直线运动将光路阻挡，实现开光光的目的，但是该方式反应速度较慢以及结构庞大的缺点，而且开关光装置一般都是通过螺栓固定在激光设备上，该固定方式不方便后期对开关光装置进行拆装更换或检修，给后期使用带来一定的不便，因此还有一定的该进空间，现有的传统激光开关光装置存在反应速度较慢、结构庞大以及不方便后期对开关光装置进行拆装更换或检修的问题。


技术实现要素：

4.(一)解决的技术问题
5.针对现有技术的不足，本发明提供了一种激光开关光装置，具备反应速度快、结构小巧紧凑以及方便后期拆装等优点，解决了背景技术中提出的问题。
6.(二)技术方案
7.为实现上述反应速度快、结构小巧紧凑以及方便后期拆装的目的，本发明提供如下技术方案：一种激光开关光装置，包括底座、支架、遮光板与固定轴，所述支架的上部插接有转动轴，所述转动轴的外表面转动连接有磁化座，所述磁化座的一端固定连接有第一拉伸弹簧，所述第一拉伸弹簧远离磁化座的一端固定连接有固定板，所述支架的外表面固定连接有电磁铁，所述磁化座抵接于电磁铁的外表面，所述磁化座远离第一拉伸弹簧的一端插接有摆臂，所述摆臂远离磁化座的一端固定连接有摇杆，所述遮光板的上侧开设有通孔，所述摇杆插接于通孔的内部，所述遮光板的上部插接有柱销，所述柱销的内端与底座固定连接，所述固定轴的内部插接有插轴，所述插轴的外部固定连接有拉杆，所述插轴的内端固定连接有滑动轴，所述滑动轴远离插轴的一端固定连接有第二拉伸弹簧，所述固定轴的外表面开设有边槽，所述边槽的内表面固定连接有弹性片，所述弹性片的内侧固定连接有顶块，所述顶块抵接于滑动轴的外表面，所述弹性片的一端固定连接有压块，所述压块的外表面开设有卡槽。
8.优选的，所述底座的正面开设有凹腔，所述凹腔的内底壁与支架固定连接，所述磁化座抵接于支架的外表面。
9.优选的，所述第一拉伸弹簧设置于支架正方的一侧，所述支架的外表面与固定板固定连接，所述支架的外表面固定连接有挡板，所述挡板设置于电磁铁的外方，所述磁化座
设置于电磁铁的上方。
10.优选的，所述遮光板设置于凹腔的内部，所述遮光板的形状为圆弧型，所述遮光板的数量为两个，两个所述遮光板呈对称分布，且堆叠放置。
11.优选的，所述底座的内部开设有透光孔，所述遮光板设置于透光孔的外侧，所述摆臂设置于遮光板的正面。
12.优选的，所述摇杆的形状为圆柱型，所述通孔的直径大于摇杆的直径，且摇杆抵接于通孔的内表面。
13.优选的，所述固定轴的外表面与底座固定连接，所述拉杆设置于底座的正方，所述固定轴的内部开设有空腔，所述空腔的内表面与滑动轴滑动连接，所述滑动轴的一端的形状为斜面型。
14.优选的，所述第二拉伸弹簧设置于空腔的内部，所述第二拉伸弹簧远离滑动轴的一端与固定轴固定连接。
15.优选的，所述边槽的数量为若干个，若干个所述边槽呈环形阵列分布，所述弹性片的材料为弹簧钢，所述顶块的截面形状为三角形，所述压块的材料为橡胶，所述卡槽的形状为锯齿状。
16.有益效果
17.与现有技术相比，本发明提供了一种激光开关光装置，具备以下有益效果：
18.1、该激光开关光装置，通过设置固定板、第一拉伸弹簧、转动轴、磁化座、电磁铁、摆臂、摇杆、遮光板、柱销与通孔，电磁铁通电后产生磁力，会吸引磁化座绕着转动轴逆时针转动，并通过摆臂带动摇杆向下移动，从而通过下压通孔带动两侧的遮光板均绕着柱销向两侧转动张开，进而将透光孔打开，电磁铁断电后磁力消失，第一拉伸弹簧带动磁化座绕着转动轴顺时针转动，可将透光孔遮挡关闭，该机构相比气缸为动力的开关光装置可以做到体积减小，反应频率不受气流速度及气缸摩擦力影响，从而实现快的相应速度。
19.2、该激光开关光装置，通过设置固定轴、拉杆、插轴、弹性片、压块、卡槽、顶块、滑动轴与第二拉伸弹簧，将固定轴插进激光设备上的安装通孔内后，通过按压拉杆即可通过滑动轴将周围的压块向外顶出并挤压在安装通孔的内表面，从而将该装置与激光设备固定，该机构可使得对开关光装置的安装以及拆卸更加的方便快捷，降低拆装难度，给后期的使用带来极大的便利。
附图说明
20.图1为本发明正视立体结构示意图；
21.图2为本发明正视立体结构示意图；
22.图3为本发明图2中a处放大结构示意图；
23.图4为本发明仰视立体结构示意图；
24.图5为本发明固定轴仰视立体结构示意图；
25.图6为本发明固定轴仰视剖视结构示意图。
26.图中：1、底座；2、固定板；3、支架；4、挡板；5、凹腔；6、透光孔；7、遮光板；8、插轴；9、固定轴；10、拉杆；11、柱销；12、摇杆；13、摆臂；14、磁化座；15、电磁铁；16、转动轴；17、第一拉伸弹簧；18、通孔；19、压块；20、弹性片；21、边槽；22、顶块；23、卡槽；24、空腔；25、滑动轴；
26、第二拉伸弹簧。
具体实施方式
27.下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
28.请参阅图1-6，一种激光开关光装置，包括底座1、支架3、遮光板7与固定轴9，底座1的正面开设有凹腔5，凹腔5的内底壁与支架3固定连接，磁化座14抵接于支架3的外表面，支架3的上部插接有转动轴16，转动轴16的外表面转动连接有磁化座14，磁化座14的一端固定连接有第一拉伸弹簧17，第一拉伸弹簧17远离磁化座14的一端固定连接有固定板2，支架3的外表面固定连接有电磁铁15，第一拉伸弹簧17设置于支架3正方的一侧，支架3的外表面与固定板2固定连接，支架3的外表面固定连接有挡板4，挡板4设置于电磁铁15的外方，磁化座14设置于电磁铁15的上方，磁化座14抵接于电磁铁15的外表面，磁化座14远离第一拉伸弹簧17的一端插接有摆臂13，摆臂13远离磁化座14的一端固定连接有摇杆12，遮光板7设置于凹腔5的内部，遮光板7的形状为圆弧型，遮光板7的数量为两个，两个遮光板7呈对称分布，且堆叠放置，遮光板7的上侧开设有通孔18，摇杆12插接于通孔18的内部，遮光板7的上部插接有柱销11，柱销11的内端与底座1固定连接，底座1的内部开设有透光孔6，遮光板7设置于透光孔6的外侧，摆臂13设置于遮光板7的正面，摇杆12的形状为圆柱型，通孔18的直径大于摇杆12的直径，且摇杆12抵接于通孔18的内表面，固定轴9的内部插接有插轴8，插轴8的外部固定连接有拉杆10，插轴8的内端固定连接有滑动轴25，固定轴9的外表面与底座1固定连接，拉杆10设置于底座1的正方，固定轴9的内部开设有空腔24，空腔24的内表面与滑动轴25滑动连接，滑动轴25的一端的形状为斜面型，滑动轴25远离插轴8的一端固定连接有第二拉伸弹簧26，第二拉伸弹簧26设置于空腔24的内部，第二拉伸弹簧26远离滑动轴25的一端与固定轴9固定连接，固定轴9的外表面开设有边槽21，边槽21的内表面固定连接有弹性片20，弹性片20的内侧固定连接有顶块22，顶块22抵接于滑动轴25的外表面，弹性片20的一端固定连接有压块19，压块19的外表面开设有卡槽23，边槽21的数量为若干个，若干个边槽21呈环形阵列分布，弹性片20的材料为弹簧钢，顶块22的截面形状为三角形，压块19的材料为橡胶，卡槽23的形状为锯齿状。
29.在使用时，电磁铁15通电后会产生磁力，吸引磁化座14绕着转动轴16逆时针转动且使得磁化座14吸附在电磁铁15上，由于摆臂13可在磁化座14内滑动，因此在磁化座14转动的同时，可通过摆臂13带动摇杆12向下移动，从而通过下压通孔18来带动两侧的遮光板7均绕着柱销11向两侧转动张开，进而将透光孔6打开，电磁铁15断电后磁力消失，第一拉伸弹簧17可通过拉动磁化座14的一端来使其再绕着转动轴16顺时针转动，并通过摆臂13带动摇杆12向上移动，摇杆12再通过向上拨动通孔18，来带动两侧的遮光板7以柱销11为圆心向内转动闭合，并将透光孔6关闭，该机构相比气缸为动力的开关光装置可以做到体积减小，反应频率不受气流速度及气缸摩擦力影响，从而实现快的相应速度；向外拉动拉杆10可使滑动轴25脱离顶块22，然后弯曲的弹性片20会恢复原始竖直状态，从而将压块19收回边槽21内，接着将固定轴9插进激光设备上的安装通孔内后，通过按压拉杆10即可通过滑动轴25
向外挤压顶块22，并将周围的压块19向外顶出且紧紧的挤压在安装通孔的内表面，锯齿型的卡槽23可保证固定的稳固性，第二拉伸弹簧26的对滑动轴25的拉力可保证滑动轴25在不受到外力的情况下不会滑动，从而将该装置与激光设备固定，该机构可使得对开关光装置的安装以及拆卸更加的方便快捷，降低拆装难度，给后期的使用带来极大的便利。
30.综上，该激光开关光装置通过设置固定板2、第一拉伸弹簧17、转动轴16、磁化座14、电磁铁15、摆臂13、摇杆12、遮光板7、柱销11与通孔18，电磁铁15通电后产生磁力，会吸引磁化座14绕着转动轴16逆时针转动，并通过摆臂13带动摇杆12向下移动，从而通过下压通孔18带动两侧的遮光板7均绕着柱销11向两侧转动张开，进而将透光孔6打开，电磁铁15断电后磁力消失，第一拉伸弹簧17带动磁化座14绕着转动轴16顺时针转动，可将透光孔6遮挡关闭，该机构相比气缸为动力的开关光装置可以做到体积减小，反应频率不受气流速度及气缸摩擦力影响，从而实现快的相应速度，通过设置固定轴9、拉杆10、插轴8、弹性片20、压块19、卡槽23、顶块22、滑动轴25与第二拉伸弹簧26，将固定轴9插进激光设备上的安装通孔内后，通过按压拉杆10即可通过滑动轴25将周围的压块19向外顶出并挤压在安装通孔的内表面，从而将该装置与激光设备固定，该机构可使得对开关光装置的安装以及拆卸更加的方便快捷，降低拆装难度，给后期的使用带来极大的便利。
31.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个”限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
32.尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。