激光加工设备的制作方法

本公开涉及激光加工设备和激光加工方法。

背景技术：

1、激光加工设备用于使用激光束切割材料、形成图案、执行焊接等。在激光加工期间使用的激光束具有强的方向性和高密度。特别地，高功率激光器允许在不影响环境的情况下进行精确加工，并且因此它可以用于加工显示面板。

2、激光加工设备可以包括用于输出激光束的激光源、包括用于控制输出的激光束的辐射位置的扫描器和用于会聚已经确定其辐射位置的激光束的f-θ透镜的激光辐射单元、以及在其上放置待加工对象的台部。

3、在激光加工设备中，激光束的扫描线由扫描器确定。

技术实现思路

1、本公开的实施方式可以提供一种激光加工设备，其可以通过采用简单的结构来提高可靠性，如果图1中所示的激光束的剖面为椭圆形形状，则该结构防止激光束被辐射的面积沿着激光加工设备的加工路径变化。

2、本公开的实施方式也可以提供一种激光加工方法，其可以通过以简单的方式将具有椭圆形剖面的激光束调节成具有完美圆形剖面的激光束的方式来防止由于激光束被辐射的面积之间的差异而引起的缺陷。

3、应注意，本公开的目的不限于上述目的；并且本公开的其它目的对于本领域中技术人员而言将从以下描述中显而易见。

4、根据本公开的实施方式，激光加工设备可以包括：激光源；宽度调节器，调节从激光源辐射的激光束的宽度；以及扫描器，调节已经穿过宽度调节器的激光束的辐射方向，其中，宽度调节器可以包括布置在激光束的行进方向上的第一宽度调节部分和第二宽度调节部分，第一宽度调节部分的焦距等于或大于约20,000mm，并且第二宽度调节部分的焦距可以等于或大于约20,000mm。

5、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分可以具有相同的形状并且由相同的材料制成。

6、激光加工设备还可以包括f-θ透镜，其将已经穿过扫描器的激光束聚焦在要加工的区域中。

7、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分中的每个可以包括参考线，并且第一宽度调节部分和第二宽度调节部分可以在垂直于参考线的方向上调节入射的激光束的剖面。

8、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分中的每个还可以包括凸出表面和凹入表面，并且凸出表面和凹入表面可以具有不同的曲率。

9、第一宽度调节部分的凸出表面和第二宽度调节部分的凸出表面可以布置在激光束沿其入射到宽度调节器上的方向上，并且激光束可以穿过第一宽度调节部分和第二宽度调节部分，并且可以在垂直于第一宽度调节部分的参考线和第二宽度调节部分的参考线的方向上收缩。

10、凸出表面的曲率半径可以在约23mm至约24mm的范围内，凹入表面的曲率半径可以在约19mm至约21mm的范围内，并且第一宽度调节部分的厚度和第二宽度调节部分的厚度中的每个可以在约9mm至约11mm的范围内。

11、宽度调节器还可以包括开口，并且第一宽度调节部分和第二宽度调节部分的布置可以通过开口来调节。

12、激光束可以穿过第一宽度调节部分和第二宽度调节部分，并且可以在垂直于第一宽度调节部分的参考线和第二宽度调节部分的参考线的方向上收缩，并且入射在宽度调节器上的激光束的剖面可以通过调节第一宽度调节部分的布置和第一宽度调节部分的参考线和第二宽度调节部分的参考线之间的角度而可调节。

13、激光加工设备还可以包括设置在激光源和宽度调节器之间的光束扩展器，以增大激光束的总直径。

14、在平行于行进方向的方向上从光束扩展器出射的激光束的剖面面积可以小于第一宽度调节部分和第二宽度调节部分中的每个的剖面面积。

15、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分可以具有不同的形状。

16、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分中的每个可以包括凸出表面和凹入表面，并且凸出表面和凹入表面可以具有不同的曲率。

17、第一宽度调节部分的凸出表面可以面对激光束沿其入射到第一宽度调节部分上的方向，并且第二宽度调节部分的凸出表面可以面对激光束沿其从第一宽度调节部分出射的方向。

18、第一宽度调节部分和第二宽度调节部分中的每个还可以包括参考线，并且第一宽度调节部分和第二宽度调节部分可以在垂直于参考线的方向上调节入射的激光束的剖面。

19、第一宽度调节部分可以在垂直于第一宽度调节部分的参考线的方向上收缩穿过第一宽度调节部分的激光束的剖面，并且第二宽度调节部分可以在垂直于第二宽度调节部分的参考线的方向上扩展穿过第二宽度调节部分的激光束的剖面。

20、根据本公开的实施方式，激光加工方法可以包括；测量激光束的剖面；分析激光束的剖面以确定长轴的方向、短轴的方向以及长轴与短轴的比率；以及布置第一宽度调节部分和第二宽度调节部分，使得第一宽度调节部分和第二宽度调节部分基于长轴和短轴的方向以及比率通过调节第一宽度调节部分的参考线和第二宽度调节部分的参考线与激光束的长轴和短轴之间的相对角度来调节激光束的行进方向。

21、激光加工方法还可以包括：在布置第一宽度调节部分和第二宽度调节部分之后，通过朝向第一宽度调节部分和第二宽度调节部分辐射激光束来调节激光束的剖面。

22、激光加工方法还可以包括：在调节激光束的剖面之后通过使用激光束来加工工件。

23、激光加工方法还可以包括：设置扫描器，使得扫描器和激光束的行进方向彼此相交。

24、根据本公开的实施方式，具有椭圆形剖面的激光束可以被调节成具有完美圆形剖面的激光束。因此，能够防止激光束被辐射的面积根据激光加工设备的加工路径而变化。

25、应当注意，本公开的效果不限于上述效果，并且本公开的其它效果对于本领域中技术人员而言将从以下描述中显而易见。

技术特征：

1.一种激光加工设备，包括：

2.根据权利要求1所述的激光加工设备，其中，所述第一宽度调节部分和所述第二宽度调节部分具有相同的形状并且由相同的材料制成。

3.根据权利要求2所述的激光加工设备，还包括：

4.根据权利要求2所述的激光加工设备，其中，

5.根据权利要求4所述的激光加工设备，其中，

6.根据权利要求4所述的激光加工设备，其中，

7.根据权利要求1所述的激光加工设备，还包括：

8.根据权利要求1所述的激光加工设备，其中，所述第一宽度调节部分和所述第二宽度调节部分具有不同的形状。

9.根据权利要求8所述的激光加工设备，其中，

10.根据权利要求9所述的激光加工设备，其中，

技术总结
本公开涉及激光加工设备，该激光加工设备包括：激光源；宽度调节器，调节从激光源辐射的激光束的宽度；以及扫描器，调节已经穿过宽度调节器的激光束的辐射方向，其中，宽度调节器包括布置在激光束的行进方向上的第一宽度调节部分和第二宽度调节部分，第一宽度调节部分的焦距等于或大于约20,000mm，并且第二宽度调节部分的焦距等于或大于约20,000mm。

技术研发人员：三宫晓史,金炯柱,柳廷和,丁一荣
受保护的技术使用者：三星显示有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13