一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法与流程

本发明涉及打磨领域，更具体地说，它涉及一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法。

背景技术：

1、晶圆硅片在制造和生产的过程中，需要将晶圆硅片防止在以陶瓷材料制成的衬底上，由于晶圆硅片制作的精度高，因此，陶瓷衬底表面的平整度会影响到晶圆的成品率，尤其是现有的陶瓷衬底边缘由于采用机械加工，由于机械加工的精度有限，会使得陶瓷衬底的边缘含有细小的凸起或者毛刺，这些细小的凸起或者毛刺都会对晶圆硅片的质量产生影响。现有的技术中通常采用打磨的方式来消除陶瓷衬底边缘的凸起和毛刺，但是采用打磨的方式会使得陶瓷衬底的表面变得更加的光滑，使得陶瓷衬底在拖衬晶圆硅片时摩擦力降低。因此，如何在消除陶瓷衬底边缘的凸起和毛刺的同时能够保持粗糙度是亟待解决的问题。

技术实现思路

1、本发明克服了现有技术中缺少有效的方法对陶瓷衬底边缘凸起或毛刺进行处理的同时能够保持边缘的粗糙度；提供了一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，它通过对陶瓷衬底的边缘采用喷砂的方式进行二次处理，使得陶瓷衬底的边缘形成一个类似天然冲刷形成的曲面，使得陶瓷衬底边缘的凸起或者毛刺得以清除，同时能够保证陶瓷衬底表面的粗糙度。

2、为了解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，包括以下步骤：

3、第一步：覆膜，将待处理的陶瓷衬底的表面覆一张整膜；

4、第二步：激光切割膜，根据陶瓷衬底的形状将整膜进行切割，使得膜与材料的形状相贴合；

5、第三步：喷砂，对陶瓷衬底的边缘进行喷砂处理。

6、本发明通过采用喷砂处理的方式对陶瓷衬底的边缘进行二次处理，相比传统的机械抛光加工处理方式可以有效的消除凸起和毛刺，同时能够保持陶瓷衬底表面的粗糙度；之后通过二次加工形成的陶瓷衬底来衬托晶圆硅片，不会对晶圆硅片的表面造成损伤。

7、作为优选，喷砂时放置在喷砂机内，喷砂机包括机盒，机盒内设置有安装座，安装座的底部与电机的输出端连接，机盒内设置有喷砂头，喷砂头为l字形喷砂头。

8、由于l形喷砂头能够很好的与陶瓷衬底的端面和侧壁进行贴合，使得加工时产生的砂砾不会污染空气。

9、作为优选，l字形喷砂头的外侧边的转弯处设置有喷砂管，l字形喷砂头的内侧边设置有喷砂口，喷砂口与陶瓷衬底的端面和侧壁相贴合。

10、喷砂时从喷砂管喷出，喷出的砂砾与陶瓷衬底的端面和侧壁进行接触，对陶瓷衬底的边缘进行打磨，使得陶瓷衬底的边缘被处理。

11、作为优选，l字形喷砂头的两端部分别设置有用于回收灰尘和沙砾的端面回收管和侧壁回收管。

12、与陶瓷衬底边缘接触后的砂砾分别通过端面回收管和侧壁回收管回收，端面回收管和侧壁回收管将通过将灰尘和砂砾进行回收。

13、作为优选，端面回收管与陶瓷衬底的端面之间的夹角为°至°；侧壁回收管与陶瓷衬底的侧壁之间的夹角为°至度。

14、当砂砾与陶瓷衬底的端面接触之后反弹入端面回收管内，因此将端面回收管与陶瓷衬底的端面之间的夹角设置为°至°，使得将反弹后的砂砾能够落入端面回收管内进行回收；同理，砂砾与陶瓷衬底的侧壁作用之后反弹，进入侧壁回收管内进行回收。

15、作为优选，侧壁回收管和端面回收管均与回收总管连通，回收总管连接有回收盒，回收总管贯穿回收盒与吸气风机连通。

16、端面回收管和侧壁回收管将通过将灰尘和砂砾进行回收，并将灰尘和砂砾导入到回收盒内回收，吸气风机能够提供端面回收管和侧壁回收管的负压吸引力，使得能够更加有效的吸附灰尘和砂砾。

17、作为优选，回收盒的底部沿回收总管的长度方向设置有若干个回收腔，若干个回收腔的上方设置有回收长盒，回收总管贯穿回收长盒；各个回收腔的上方对应的设置有与回收长盒连通的连通口。

18、回收总管内的砂砾与灰尘经过回收长盒时，大的砂砾受到重力的作用从连通口落入回收长盒内被回收，细小的灰尘则收到回收风机的作用力被回收。另外，由于设置了若干个回收长盒，能够砂砾大小的同使得其落入不同的回收腔内，使得能够对砂砾的大小进行分类，方便砂砾的回收与分类，也方便下一次根据处理陶瓷衬底的材料不同，选择不同大小的砂砾进行喷砂加工。

19、作为优选，喷砂口的圆周方向设置有抵接橡胶条。

20、抵接橡胶条能够使得喷砂口与陶瓷衬底进行贴合，防止打磨的砂砾和灰尘从喷砂口与陶瓷衬底之间缝隙泄露造成空气的污染。

21、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

22、（1）能够有效的消除毛刺和凸起，且能够保持陶瓷衬底材料的粗糙度；

23、（2）减少空气的污染，同时能够对砂砾进行回收和分类，方便下一次的加工。

技术特征：

1.一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，包括以下步骤：

2.根据权利要求1所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，喷砂时放置在喷砂机内，喷砂机包括机盒，机盒内设置有安装座，安装座的底部与电机的输出端连接，机盒内设置有喷砂头，喷砂头为l字形喷砂头。

3.根据权利要求2所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，l字形喷砂头的外侧边的转弯处设置有喷砂管，l字形喷砂头的内侧边设置有喷砂口，喷砂口与陶瓷衬底的端面和侧壁相贴合。

4.根据权利要求2所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，l字形喷砂头的两端部分别设置有用于回收灰尘和沙砾的端面回收管和侧壁回收管。

5.根据权利要求4所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，端面回收管与陶瓷衬底的端面之间的夹角为30°至60°；侧壁回收管与陶瓷衬底的侧壁之间的夹角为30°至60度。

6.根据权利要求4或5所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，侧壁回收管和端面回收管均与回收总管连通，回收总管连接有回收盒，回收总管贯穿回收盒与吸气风机连通。

7.根据权利要求6所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，回收盒的底部沿回收总管的长度方向设置有若干个回收腔，若干个回收腔的上方设置有回收长盒，回收总管贯穿回收长盒；各个回收腔的上方对应的设置有与回收长盒连通的连通口。

8.根据权利要求2或3或4或5所述的陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，其特征是，喷砂口的圆周方向设置有抵接橡胶条。

技术总结
本发明公开了一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，旨在解决现有技术中缺少有效的方法对陶瓷衬底边缘凸起或毛刺进行处理的同时能够保持边缘的粗糙度；本发明通过以下技术方案解决上述技术问题：一种陶瓷边缘进行类似天然光滑加工处理的方法，包括以下步骤：第一步：覆膜，将待处理的陶瓷衬底的表面覆一张整膜；第二步：激光切割膜，根据陶瓷衬底的形状将整膜进行切割，使得膜与材料的形状相贴合；第三步：喷砂，对陶瓷衬底的边缘进行喷砂处理。本发明通过采用喷砂处理的方式对陶瓷衬底的边缘进行二次处理，同时能够保持陶瓷衬底表面的粗糙度；之后通过二次加工形成的陶瓷衬底来衬托晶圆硅片，不会对晶圆硅片的表面造成损伤。

技术研发人员：贺进,姚相民
受保护的技术使用者：杭州之芯半导体有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/12