本技术涉及机械结构,具体而言,涉及一种双轨道标签制作机构置。
背景技术:
1、在芯片的制造过程中,需要在晶圆表面制备标识,制备完标识后可以对快速识别芯片的类型等相关信息。
2、在对芯片制备标识的过程中,主要通过激光在晶圆表面制备标签,目前,主要通过人工运送芯片至目标位置,然后再采用激光制备标签,人力成本较大,机械化集成度底,工艺时间长。
3、例如,cn200710141606.7提供一种标记晶圆的方法、标记劣品芯片的方法、晶圆对位的方法、以及晶圆测试机,其包括提供一具有至少两个参考标记的晶圆,此晶圆的一表面包含有多个芯片,同时检测晶圆的上述参考标记以执行一晶圆对位的步骤,并且利用一激光对上述晶圆作标记。可适用于晶圆的芯片例如劣品芯片的标记。其未集成芯片标记过程的多个步骤于一体,工艺流程较长。
技术实现思路
1、本实用新型的目的包括,例如,提供了一种双轨道标签制作机构置,其能够改善现有技术中存在的人工成本高,集成度底、工艺时间长的问题。
2、本实用新型的实施例可以这样实现:
3、双轨道标签制作机构置,包括操作台、上料模块、第一输送轨道、第二输送轨道、标签制作模块以及下料模块;所述上料模块、所述第一输送轨道、所述第二输送轨道、所述标签制作模块以及所述下料模块均与所述操作台连接;所述第一输送轨道和所述第二输送轨道并排设置,所述上料模块、所述下料模块分别位于所述第一输送轨道相对的两端,所述标签制作模块位于所述上料模块、所述下料模块之间;位于所述上料模块的物料可分别进入所述第一输送轨道或者所述第二输送轨道。
4、在一些可实现的方式中,所述上料模块包括料盒和抓取机构,所述料盒用于容纳所述物料,所述抓取机构用于抓取位于所述料盒的物料至所述第一输送轨道或者所述第二输送轨道。
5、在一些可实现的方式中,抓取机构包括龙门架和机械手,所述机械手与所述龙门架滑动连接,所述龙门架位于所述料盒、所述第一输送轨道和所述第二输送轨道之上。
6、在一些可实现的方式中,料盒为两个,两个所述料盒并排设置。
7、在一些可实现的方式中,标签制作模块包括标签组件和竖直驱动组件,所述竖直驱动组件用于驱动所述物料至所述标签组件的一端。
8、在一些可实现的方式中,标签组件包括:激光头,用于出射主激光束;
9、第一扩束镜,用于对所述主激光束扩束和准直;
10、第一光闸,沿所述主激光束的传播方向,所述第一光闸位于所述激光头和所述第一扩束镜之间;
11、分光元件,用于将所述主激光束分光为第一激光束和第二激光束;
12、第一光路组件,所述第一光路组件包括沿所述第一激光束传播方向分布的第一全反镜、第一振镜和第一聚焦镜;以及
13、第二光路组件,所述第二光路组件包括沿所述第二激光束传播方向分布的第二全反镜、第二振镜和第二聚焦镜。
14、在一些可实现的方式中,竖直驱动组件包括支撑板、滑杆和驱动件,所述滑杆一端与所述驱动件连接,另一端与所述支撑板连接,所述滑杆与所述操作台滑动连接。
15、在一些可实现的方式中,驱动件为液压缸。
16、在一些可实现的方式中,第一输送轨道包括传送带和传送辊,所述传输带套设于所述传送辊外。
17、在一些可实现的方式中,双轨道标签制作机构置还包括控制器,所述上料模块、所述第一输送轨道、所述第二输送轨道、所述标签制作模块以及所述下料模块均与所述控制器通信连接。
18、本申请实施例提供的双轨道标签制作机构置至少具有以下有益效果:
19、集成一个包含上料、制标、下料以及运送多个工艺组件的结构,可以对物料进行制备标识,另外,物料还配置有第一输送轨道、第二输送轨道。第一输送轨道、第二输送轨道可以交替使用,当一个停滞时,另一个为标签制作模块输送物料。或者,当一个输送轨道上没有物料时,另一个可以供应,增加效率。该双轨道标签制作机构置可自动化上下料,整个结构简单,方便,灵活,为快速打标提供了保障。
1.一种双轨道标签制作机构置,其特征在于,包括操作台、上料模块、第一输送轨道、第二输送轨道、标签制作模块以及下料模块;所述上料模块、所述第一输送轨道、所述第二输送轨道、所述标签制作模块以及所述下料模块均与所述操作台连接;所述第一输送轨道和所述第二输送轨道并排设置,所述上料模块、所述下料模块分别位于所述第一输送轨道相对的两端,所述标签制作模块位于所述上料模块、所述下料模块之间;位于所述上料模块的物料可分别进入所述第一输送轨道或者所述第二输送轨道。
2.根据权利要求1所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述上料模块包括料盒和抓取机构,所述料盒用于容纳所述物料,所述抓取机构用于抓取位于所述料盒的物料至所述第一输送轨道或者所述第二输送轨道。
3.根据权利要求2所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述抓取机构包括龙门架和机械手,所述机械手与所述龙门架滑动连接,所述龙门架位于所述料盒、所述第一输送轨道和所述第二输送轨道之上。
4.根据权利要求2或3所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述料盒为两个,两个所述料盒并排设置。
5.根据权利要求1所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述标签制作模块包括标签组件和竖直驱动组件,所述竖直驱动组件用于驱动所述物料至所述标签组件的一端。
6.根据权利要求5所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述标签组件包括:
7.根据权利要求5或6所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述竖直驱动组件包括支撑板、滑杆和驱动件,所述滑杆一端与所述驱动件连接,另一端与所述支撑板连接,所述滑杆与所述操作台滑动连接。
8.根据权利要求7所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述驱动件为液压缸。
9.根据权利要求1所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述第一输送轨道包括传送带和传送辊,所述传送带套设于所述传送辊外。
10.根据权利要求1所述的双轨道标签制作机构置,其特征在于,所述双轨道标签制作机构置还包括控制器,所述上料模块、所述第一输送轨道、所述第二输送轨道、所述标签制作模块以及所述下料模块均与所述控制器通信连接。