一种旋转靶材的焊接设备的制作方法

本发明涉及靶材焊接相关，具体为一种旋转靶材的焊接设备。

背景技术：

1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。

2、靶材又分为平面靶材与旋转靶材，目前的旋转靶材焊接设备，在夹持旋转靶材时，夹持过程较为繁琐，导致夹持靶材时间长，靶材焊接效率低，而且目前旋转靶材焊接设备的夹紧力无法根据靶材壁厚进行适应性变化，而由于靶材质地较软，若夹持靶材时夹紧力过大容易导致靶材变形，不仅影响靶材焊接作业，还容易导致靶材报废从而造成不必要的损失。

技术实现思路

1、本发明所要解决的技术问题是：为克服上述背景技术中提到的技术问题，现提供一种旋转靶材的焊接设备。

2、根据本发明的一种旋转靶材的焊接设备，包括底座，所述底座上端面固定有两个左右对称的工作台，所述工作台上侧设置有夹持座，左右侧所述夹持座之间固定有焊接箱，所述夹持座上侧设置有夹紧力调节座；

3、所述工作台内设置有升降机构，所述升降机构用于带动所述夹持座上升下降；

4、所述夹持座下端面以及所述工作台上端面上均固定有两个前后对称的夹紧轮机构；

5、所述焊接箱内设有上下贯通的焊枪滑动腔，所述焊枪滑动腔内滑动配合有焊枪；

6、所述夹紧力调节座内设置有夹紧力调整机构，所述夹紧力调整机构用于调节夹紧旋转靶材时的夹紧力。

7、在其中一个实施例中，所述升降机构包括有固定于所述底座内的升降电机，所述升降电机上侧设有传动带腔，所述升降电机前后侧设有以所述升降电机为中心前后对称且向上延伸贯穿所述传动带腔至开口向上的升降丝杆腔，所述升降丝杆腔内滑动配合有向上延伸贯穿所述夹持座以及所述夹紧力调节座的升降丝杆，所述传动带腔上端壁内转动配合有两个前后对称的且向下延伸至所述传动带腔内的带轮环形座，前后侧所述带轮环形座分别以前后侧所述升降丝杆为中心环形设置，所述带轮环形座用于支撑所述从动带轮，使得所述从动带轮在传动过程能够保持相对位置，确保传动准确性。

8、在其中一个实施例中，所述带轮环形座下端面固定有与所述升降丝杆螺纹配合的从动带轮，所述升降电机上端面固定有向上延伸至所述传动带腔内的升降电机轴，所述升降电机轴上侧末端固定有主动带轮，所述主动带轮与前后侧所述从动带轮之间动力配合连接有传动带，所述升降丝杆上固定有限位块，后侧所述限位块上端面内固定有接触开关，所述主动带轮下侧设置有复位机构，所述复位机构用于夹紧轮机构的复位。

9、在其中一个实施例中，所述复位机构包括有固定于所述主动带轮下端面且向下延伸至所述传动带腔下端壁内且与所述工作台之间形成一对转动副的环形棘轮，所述环形棘轮以所述升降电机轴为中心环形设置，所述环形棘轮后侧设有棘爪滑动腔，所述棘爪滑动腔后端壁上固定有电磁铁，所述棘爪滑动腔内滑动配合有棘爪，所述棘爪与所述电磁铁之间固定有棘爪弹簧，所述环形棘轮外圆面上带有棘齿，所述棘爪能够与所述环形棘轮外圆面抵接，所述升降电机轴上端面与所述传动带腔上端壁之间固定有复位扭簧，通过所述棘爪与所述环形棘轮之间的限位作用，使得所述复位扭簧可以保持蓄力状态，再通过启动所述电磁铁，使得所述棘爪与所述环形棘轮脱离抵接，使得所述主动带轮在所述复位扭簧的扭力作用下反转，从而实现夹紧轮机构的复位。

10、在其中一个实施例中，所述夹紧轮机构包括有两个左右对称的夹紧轮支架，左右侧所述夹紧轮支架之间铰接有夹紧轮，下侧所述夹紧轮支架固定于所述工作台上端面上，上侧所述夹紧轮支架固定于上侧所述夹持座下端面上，所述夹持座与所述升降丝杆之间形成一对滑动副，通过上下前后四个所述夹紧轮夹持靶材，使得靶材在夹紧的同时能保持转动，确保焊接顺利进行。

11、在其中一个实施例中，所述夹紧力调整机构包括有两个左右对称且与所述夹紧力调节座转动配合的从动调节轮，所述从动调节轮与所述升降丝杆之间螺纹配合连接，所述夹紧力调节座内设有皮带腔，所述从动调节轮贯穿所述皮带腔，所述皮带腔下端壁内转动配合有向上贯穿所述皮带腔并延伸至所述夹紧力调节座外的主动调节轮，所述主动调节轮位于左右两侧的所述从动调节轮之间，所述主动调节轮上端面上固定有夹紧力示数盘，所述主动调节轮与左右侧所述从动调节轮之间动力配合有皮带，所述夹紧力调节座与所述夹持座之间固定有压力弹簧，通过旋转所述夹紧力示数盘，可带动所述从动调节轮转动，使得所述夹紧力调节座上下运动，进而调整所述压力弹簧的压缩量，从而改变所述夹紧轮夹紧靶材时的夹紧力。

12、在其中一个实施例中，所述工作台内设有开口向上且位于所述升降电机外侧的摩擦轮腔，所述摩擦轮腔外侧设有与所述工作台固定连接的转动电机，所述转动电机靠近所述升降电机的一侧端面上固定有摩擦轮轴，所述摩擦轮轴向靠近所述升降电机的一侧延伸、并延伸至所述摩擦轮腔内，所述摩擦轮轴靠近所述升降电机侧末端固定有与所述下侧夹紧轮抵接的摩擦轮，通过所述摩擦轮转动带动所述夹紧轮转动，进而使得靶材在焊接过程匀速转动，从而确保焊接效果。

13、本发明的有益效果是：

14、1、本发明通过升降电机带动从动带轮转动，使得升降丝杆可快速向下运动，从而带动夹持座快速向下运动，进而使得上下侧夹紧轮机构快速夹紧旋转靶材，从而提高旋转靶材焊接效率。

15、2、本发明利用夹紧轮机构夹紧旋转靶材时，限位块与夹持座脱离，使得夹持座远离接触开关，使得接触开关被触发，从而使得升降电机关闭，进而使得夹持座不再进一步向下运动，从而避免夹紧力过大而导致靶材变形损坏。

16、3、本发明通过旋转夹紧力示数盘，带动从动调节轮转动，从而使得夹紧力调节座向下运动，从而改变压力弹簧的压缩量，进而改变夹紧轮机构夹紧靶材时的夹紧力，使得本发明可适用于不同壁厚的旋转靶材，提高了本发明的适用性。

技术特征：

1.一种旋转靶材的焊接设备，包括底座，其特征在于：所述底座上端面固定有两个左右对称的工作台，所述工作台上侧设置有夹持座，左右两侧的所述夹持座之间固定有焊接箱，所述夹持座上侧设置有夹紧力调节座；

2.根据权利要求1所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述升降机构包括有固定于所述底座内的升降电机，所述升降电机上侧设有传动带腔，所述升降电机前后侧设有以所述升降电机为中心前后对称且向上贯穿所述传动带腔、并开口向上的升降丝杆腔，所述升降丝杆腔内滑动配合有向上延伸贯穿所述夹持座以及所述夹紧力调节座的升降丝杆，所述传动带腔上端壁内转动配合有两个前后对称的且向下延伸至所述传动带腔内的带轮环形座，前后两侧的所述带轮环形座分别以对应的所述升降丝杆为中心环形设置。

3.根据权利要求2所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述带轮环形座下端面固定有与所述升降丝杆螺纹配合的从动带轮，所述升降电机上端面固定有向上延伸至所述传动带腔内的升降电机轴，所述升降电机轴上侧末端固定有主动带轮，所述主动带轮与前后两侧的所述从动带轮之间动力配合连接有传动带，所述升降丝杆上固定有限位块，后侧所述限位块上端面内固定有接触开关，所述主动带轮下侧设置有复位机构。

4.根据权利要求3所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述复位机构包括有固定于所述主动带轮下端面且向下延伸至所述传动带腔下端壁内、且与所述工作台之间形成一对转动副的环形棘轮，所述环形棘轮以所述升降电机轴为中心环形设置，所述环形棘轮后侧设有棘爪滑动腔，所述棘爪滑动腔后端壁上固定有电磁铁，所述棘爪滑动腔内滑动配合有棘爪，所述棘爪与所述电磁铁之间固定有棘爪弹簧，所述环形棘轮外圆面上带有棘齿，所述棘爪能够与所述环形棘轮外圆面抵接，所述升降电机轴上端面与所述传动带腔上端壁之间固定有复位扭簧。

5.根据权利要求2所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述夹紧轮机构包括有两个左右对称的夹紧轮支架，左右两侧的所述夹紧轮支架之间铰接有夹紧轮，下侧所述夹紧轮支架固定于所述工作台上端面上，位于上侧的所述夹紧轮支架固定于上侧的所述夹持座下端面上，所述夹持座与所述升降丝杆之间形成一对滑动副。

6.根据权利要求2所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述夹紧力调整机构包括有两个左右对称且与所述夹紧力调节座转动配合的从动调节轮，所述从动调节轮与所述升降丝杆之间螺纹配合连接，所述夹紧力调节座内设有皮带腔，所述从动调节轮贯穿所述皮带腔，所述皮带腔下端壁内转动配合有向上贯穿所述皮带腔并延伸至所述夹紧力调节座外的主动调节轮，所述主动调节轮位于左右两侧的所述从动调节轮之间，所述主动调节轮上端面上固定有夹紧力示数盘，所述主动调节轮与左右两侧的所述从动调节轮之间动力配合有皮带，所述夹紧力调节座与所述夹持座之间固定有压力弹簧。

7.根据权利要求5所述的一种旋转靶材的焊接设备，其特征在于：所述工作台内设有开口向上且位于所述升降电机外侧的摩擦轮腔，所述摩擦轮腔外侧设有与所述工作台固定连接的转动电机，所述转动电机靠近所述升降电机的一侧端面上固定有摩擦轮轴，所述摩擦轮轴向靠近所述升降电机的一侧延伸、并延伸至所述摩擦轮腔内，所述摩擦轮轴靠近所述升降电机侧末端固定有与所述下侧夹紧轮抵接的摩擦轮。

技术总结
本发明公开了一种旋转靶材的焊接设备，包括底座，底座上端面固定有两个左右对称的工作台，工作台上侧设置有夹持座，左右侧夹持座之间固定有焊接箱，夹持座上侧设置有夹紧力调节座；本发明通过夹持座快速向下运动，进而使得上下两侧夹紧轮机构快速夹紧旋转靶材，从而提高旋转靶材焊接效率，同时利用夹紧轮机构夹紧旋转靶材时，限位块与夹持座脱离，使得夹持座停止运动，从而避免夹紧力过大而导致靶材变形损坏，而且可通过旋转夹紧力示数盘改变压力弹簧的压缩量，进而改变夹紧轮机构夹紧靶材时的夹紧力，使得本发明可适用于不同壁厚的旋转靶材，提高了本发明的适用性。

技术研发人员：胡立龙
受保护的技术使用者：烟台瑞晨机械有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14