一种硅内管加工方法及其加工治具与流程

本发明涉及硅加工，具体为一种硅内管加工方法及其加工治具。

背景技术：

1、加工圆柱类硅管时，通常会选择三轴机床进行夹紧。但对于圆筒类硅管，其直径过大，如果采用三轴机床夹紧，首先该三轴机床体积较大，其次，圆筒类硅管不适合三向夹紧，硅管脆性大，且硅管直径越大，管壁受到压力时就越容易变形，采用三向夹紧这种方式容易导致圆筒发生形变，因此三轴机床上无法直接装夹固定圆筒类硅管。

2、同时加工硅管需要将硅管移动至加工机床上，搬运硅管需要防止硅管磕碰受损或者受压变形，造成硅管报废。

技术实现思路

1、为了解决背景技术中提到的至少一个技术问题，本发明的目的在于提供一种硅内管加工方法及其加工治具，采用面接触的方式进行固定，防止硅管受压发生形变，同时防止加工搬运导致硅管变形。

2、为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：

3、一种硅内管加工方法，加工方法包括：

4、s1、提供一治具，治具包括锭盘、定位件和压紧件；定位件包括底面和圆弧面，压紧件具有弧面；

5、s2、对锭盘、定位件和硅管进行加热；

6、s3、使用腊均匀涂抹在锭盘的表面、定位件的底面、以及定位件的圆弧面；

7、s4、将定位件的底面朝下，定位件的圆弧面朝上放置在锭盘上；

8、s5、将硅管放置在圆弧面上，使硅管的外表面与圆弧面贴合；

9、s6、将压紧件放在硅管的一端；

10、s7、压紧件的内圈与硅管的外壁相抵，向下按压压紧件，使硅管的一端紧贴在圆弧面上；

11、s8、将压紧件逐渐向硅管的另一端移动，每移动一段距离，重复上述步骤s7，对压紧件按压一次，使得硅管两端均完全贴合在圆弧面上；

12、s9、将压紧件固定在定位件上，压紧件将硅管压紧；

13、s10、将固定好的锭盘、定位件和硅管的组合件转移到机床工作台上；

14、s11、加工硅管两端特征。

15、与现有技术相比，本发明的有益效果是：

16、采用圆弧面和硅管之间面接触，用蜡将两者粘合进行固定，压紧件与硅管也是面接触，硅管不会受到集中应力，因此能够有效防止硅管受压发生形变；同时先将锭盘、定位件和硅管之间通过蜡相互固定好，用压紧件进一步定位，搬运时，托起锭盘即可，防止直接搬运硅管导致硅管变形。

17、优选地，在s3的涂蜡步骤中，同时对硅管的管身表面进行涂蜡，涂蜡区域不超过硅管与圆弧面的接触面。

18、优选地，在进行s4步骤前，先将s3步骤中涂好腊的锭盘放置到组合工作台上。

19、优选地，在s10步骤后，使用百分表将硅管管身轴向方向打表拉直至0.02mm以内。

20、优选地，在s11步骤前，先锁紧锭盘上的压块，将锭盘固定在机床工作台上。

21、优选地，等待锭盘、定位件、硅管以及蜡冷却后再进行硅管两端特征的加工。

22、优选地，硅管两端特征加工完后将盘、定位件和硅管的组合件从机床工作台上取下，清理干净切屑，取出螺钉，将压紧件与定位件分离；然后将组合件放置在加热设备上进行加热，等待蜡融化后将硅管、定位件和锭盘分离，并清洗干净。

23、一种硅内管加工治具，包括锭盘、定位件和压紧件，定位件包括底面和圆弧面，定位件的顶面设有螺纹孔，压紧件的两侧设有耳朵，耳朵上开设有定位孔。

24、优选地，所述圆弧面的底部开设有长槽。

25、优选地，所述定位件的底面开设有若干开口向外的槽口，所述槽口的底部设有开口。

技术特征：

1.一种硅内管加工方法，其特征在于，加工方法包括：

2.根据权利要求1所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，在s3的涂蜡步骤中，同时对硅管的管身表面进行涂蜡，涂蜡区域不超过硅管与圆弧面（21）的接触面。

3.根据权利要求1或2所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，在进行s4步骤前，先将s3步骤中涂好腊的锭盘（1）放置到组合工作台上。

4.根据权利要求1所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，在s10步骤后，使用百分表将硅管管身轴向方向打表拉直至0.02mm以内。

5.根据权利要求1或4所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，在s11步骤前，先锁紧锭盘（1）上的压块，将锭盘（1）固定在机床工作台上。

6.根据权利要求1所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，等待锭盘（1）、定位件（2）、硅管以及蜡冷却后再进行硅管两端特征的加工。

7.根据权利要求1所述的一种硅内管加工方法，其特征在于，硅管两端特征加工完后将锭盘（1）、定位件（2）和硅管的组合件从机床工作台上取下，清理干净切屑，取出螺钉，将压紧件（3）与定位件（2）分离；然后将组合件放置在加热设备上进行加热，等待蜡融化后将硅管、定位件（2）和锭盘（1）分离，并清洗干净。

8.一种硅内管加工治具，其特征在于，包括锭盘（1）、定位件（2）和压紧件（3），定位件（2）包括底面和圆弧面（21），定位件（2）的顶面设有螺纹孔（20），压紧件（3）的两侧设有耳朵（31），耳朵（31）上开设有定位孔（30）。

9.根据权利要求8所述的一种硅内管加工治具，其特征在于，所述圆弧面（21）的底部开设有长槽（22）。

10.根据权利要求8所述的一种硅内管加工治具，其特征在于，所述定位件（2）的底面开设有若干开口向外的槽口（23），所述槽口（23）的底部设有开口。

技术总结
本发明公开了一种硅内管加工方法，加工方法包括：对锭盘、定位件和硅管进行加热；使用腊均匀涂抹在锭盘的表面、定位件的底面、以及定位件的圆弧面；将压紧件放在硅管的一端；压紧件的内圈与硅管的外壁相抵，向下按压压紧件两端的耳朵，使硅管的一端紧贴在圆弧面上；将压紧件逐渐向硅管的另一端移动，对压紧件多次下压，使得硅管两端均完全贴合在圆弧面上；将压紧件移动至压紧件的定位孔与定位件的螺纹孔同心，用螺钉固定连接压紧件与定位件，压紧件将硅管压紧；将固定好的锭盘、定位件和硅管的组合件转移到机床工作台上；能够有效防止硅管受压发生形变，同时防止直接搬运硅管导致硅管变形。

技术研发人员：王双玉,祝军,林霜
受保护的技术使用者：杭州盾源聚芯半导体科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/15