一种防滑脱的夹持固定结构的制作方法

本技术涉及晶圆加工领域，尤其涉及一种防滑脱的夹持固定结构。

背景技术：

1、晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。晶圆再切割成一个个片状晶体就可用于进一步加工形成半导体元件。

2、现有的晶圆切割机，其采用刀片作为切割工具，切割不够平整，切割效果较差，此外现有对晶圆柱体的固定结构较为简单，无法对较长的晶圆柱体进行固定，在正式切割前还需要靠人工对其进行预切割，不仅失误率高会导致产品质量下降，而且生产效率很低。

3、因此，有必要提供一种新的防滑脱的夹持固定结构解决上述技术问题。

技术实现思路

1、为解决上述技术问题，本实用新型提供一种防滑脱的夹持固定结构，解决了现有的晶圆切割机，其采用刀片作为切割工具，切割不够平整，切割效果较差，此外现有对晶圆柱体的固定结构较为简单，无法对较长的晶圆柱体进行固定，在正式切割前还需要靠人工对其进行预切割，不仅失误率高会导致产品质量下降，而且生产效率很低的问题。

2、本实用新型提供的防滑脱的夹持固定结构包括工作台与晶圆柱体，所述工作台一侧设置有激光切割组件，所述工作台一侧固定有总支座，所述总支座一侧设置有可旋转的三爪卡盘，所述工作台上间隔设置有多组夹持组件；

3、所述夹持组件包括第一支撑环、第二支撑环、滑杆以及弧形板，所述第一支撑环表面通过立座安装在所述工作台表面，所述第二支撑环滑动设置在所述第一支撑环内部，所述第一支撑环表面呈周向开设有多组滑槽，所述滑槽内部滑动设置有所述滑杆，所述滑杆上固定有所述弧形板，所述晶圆柱体位于多组所述弧形板之间。

4、在一个优选的实施方式中，所述第二支撑环表面固定有涡状轨道，所述滑杆底部间隔固定有若干驱动块，所述驱动块位于所述涡状轨道内部。

5、在一个优选的实施方式中，所述第二支撑环底部安装有齿轮，所述工作台上固定有气缸，所述气缸输出端安装有齿条，所述齿条与所述齿轮相啮合。

6、在一个优选的实施方式中，所述激光切割组件包括激光切割机，所述工作台表面开设有放置槽，所述放置槽内部通过轴承转动设置有螺纹杆，所述工作台上方设置有移动座，所述移动座底部与所述放置槽滑动连接，且所述移动座与所述螺纹杆螺纹连接，所述移动座上方安装有所述激光切割机，所述激光切割机切割端正对于所述晶圆柱体一侧。

7、在一个优选的实施方式中，所述工作台一侧安装有电机，所述电机输出端与所述螺纹杆通过联轴器相连接。

8、在一个优选的实施方式中，所述工作台上方放置有收集箱，所述收集箱表面设置有保护软垫。

9、本实用新型的有益效果：

10、1.本夹持固定结构在对较长的晶圆柱体进行固定时，无需人工进行预切割过程，工作人员可将较长的晶圆柱体一端穿过多组第二支撑环的内径放入三爪卡盘中进行固定，在对晶圆柱体固定完毕后，通过打开气缸即可使得三组弧形板将晶体柱体固定住，由于是多面接触定位，因此其固定效果十分稳定；

11、2.当固定完毕晶体柱体后，打开激光切割机，使其切割端对晶体柱体进行切割，在对一个部位切割完毕后，可关闭激光切割机，再打开气缸取消对晶体柱体位置的限定，此时即可转动总支座处三爪卡盘的位置带动着晶体柱体发生转动，使得激光切割机可对晶体柱体不同位置进行切割，进一步地增强切割效果。

技术特征：

1.一种防滑脱的夹持固定结构，包括工作台(1)与晶圆柱体(9)，所述工作台(1)一侧设置有激光切割组件，其特征在于，所述工作台(1)一侧固定有总支座(2)，所述总支座(2)一侧设置有可旋转的三爪卡盘(3)，所述工作台(1)上间隔设置有多组夹持组件；

2.根据权利要求1所述的防滑脱的夹持固定结构，其特征在于，所述第二支撑环(5)表面固定有涡状轨道(10)，所述滑杆(6)底部间隔固定有若干驱动块(11)，所述驱动块(11)位于所述涡状轨道(10)内部。

3.根据权利要求2所述的防滑脱的夹持固定结构，其特征在于，所述第二支撑环(5)底部安装有齿轮(12)，所述工作台(1)上固定有气缸(13)，所述气缸(13)输出端安装有齿条(14)，所述齿条(14)与所述齿轮(12)相啮合。

4.根据权利要求3所述的防滑脱的夹持固定结构，其特征在于，所述激光切割组件包括激光切割机(18)，所述工作台(1)表面开设有放置槽(16)，所述放置槽(16)内部通过轴承转动设置有螺纹杆(17)，所述工作台(1)上方设置有移动座(19)，所述移动座(19)底部与所述放置槽(16)滑动连接，且所述移动座(19)与所述螺纹杆(17)螺纹连接，所述移动座(19)上方安装有所述激光切割机(18)，所述激光切割机(18)切割端正对于所述晶圆柱体(9)一侧。

5.根据权利要求4所述的防滑脱的夹持固定结构，其特征在于，所述工作台(1)一侧安装有电机(20)，所述电机(20)输出端与所述螺纹杆(17)通过联轴器相连接。

6.根据权利要求5所述的防滑脱的夹持固定结构，其特征在于，所述工作台(1)上方放置有收集箱(21)，所述收集箱(21)表面设置有保护软垫。

技术总结
本技术提供一种防滑脱的夹持固定结构，包括工作台与晶圆柱体，所述工作台一侧设置有激光切割组件，所述工作台一侧固定有总支座，所述总支座一侧设置有可旋转的三爪卡盘，所述工作台上间隔设置有多组夹持组件，所述夹持组件包括第一支撑环、第二支撑环、滑杆以及弧形板，所述第一支撑环表面通过立座安装在所述工作台表面，本技术解决了现有的晶圆切割机，其采用刀片作为切割工具，切割不够平整，切割效果较差，此外现有对晶圆柱体的固定结构较为简单，无法对较长的晶圆柱体进行固定，在正式切割前还需要靠人工对其进行预切割，不仅失误率高会导致产品质量下降，而且生产效率很低的问题。

技术研发人员：张晓星,冯建炜
受保护的技术使用者：苏州赛美达半导体科技有限公司
技术研发日：20230505
技术公布日：2024/2/1