工件台的制作方法

本技术涉及精密加工与检测，具体而言，涉及一种工件台。

背景技术：

1、在精密加工与检测领域，例如半导体光刻、高精度贴片、精密光学透镜制造、高性能显微设备中，常常需要高精度定位工件台在较大的运动区域内提供精度可靠的平动与转动。

2、高精度定位工件台通常包括基台、粗动台与微动台，基台上设有磁钢组件，微动台通过磁悬浮重力补偿装置浮于粗动台上，磁悬浮重力补偿装置的磁悬浮动子固定于微动台，磁悬浮重力补偿装置的定子固定于粗动台。在工件台运动过程中，磁悬浮动子在随微动台运动时会受到磁钢组件的周期性磁场的影响，导致微动台受到来自磁悬浮动子的比较复杂的扰动，影响微动台的精度。

3、综上，如何克服现有的工件台的上述缺陷是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种工件台，以缓解现有技术中工件台存在的微动台精度低的技术问题。

2、本实用新型提供的工件台，包括粗动台、微动台和基台。

3、所述基台上设有磁钢阵列组件，所述微动台通过多个磁悬浮重力补偿装置浮于所述粗动台之上，所述磁悬浮重力补偿装置包括磁悬浮动子和磁悬浮定子，所述磁悬浮动子与所述微动台固定连接，所述磁悬浮定子与所述粗动台固定连接。

4、多个所述磁悬浮重力补偿装置相对所述微动台的质心对称排布，所述磁悬浮动子的充磁方向相同，且多个所述磁悬浮重力补偿装置分别位于所述磁钢阵列组件产生的磁场的磁场方向和磁场强度均相同的位置。

5、优选地，作为一种可实施方式，多个所述磁悬浮重力补偿装置沿纵向排布有若干行，且沿横向排布有若干列。

6、所述磁钢阵列组件沿横向的磁场周期为t1，所述磁钢阵列组件沿纵向的磁场周期为t2。

7、任意两个所述磁悬浮重力补偿装置在横向上的距离为t1的整数倍，相邻两个所述磁悬浮重力补偿装置在纵向上的距离为t2的整数倍。

8、优选地，作为一种可实施方式，t1＝t2。

9、优选地，作为一种可实施方式，多个所述磁悬浮重力补偿装置相对所述微动台的两条中心对称线均对称分布。

10、优选地，作为一种可实施方式，多个所述磁悬浮重力补偿装置与所述微动台的质心的间距均相同。

11、优选地，作为一种可实施方式，磁悬浮重力补偿装置为四个，且四个所述磁悬浮重力补偿装置围成矩形。

12、优选地，作为一种可实施方式，所述微动台的台面为矩形结构，所述微动台的对角线的长度为l，所述微动台的中心与四个角的连线的中心点均为基准点，四个所述磁悬浮重力补偿装置分别与四个所述基准点一一对应，且四个所述磁悬浮重力补偿装置与对应的所述基准点的间距小于l/8。

13、优选地，作为一种可实施方式，所述磁悬浮动子为磁柱。

14、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

15、本实用新型提供的工件台，根据基台上的磁钢阵列组件产生的磁场，对各个磁悬浮重力补偿装置进行适应性排布，将多个磁悬浮重力补偿装置相对微动台的质心对称排布，如此，任意两个相对微动台的质心对称的两个磁悬浮重力补偿装置相对微动台的质心的力臂长度便相同且方向相反，在此基础上，将磁悬浮动子的充磁方向设置为相同，并使多个磁悬浮重力补偿装置分别布置在磁钢阵列组件产生的磁场中的磁场方向与磁场强度均相同的位置，即磁钢阵列组件在多个磁悬浮重力补偿装置所处位置的磁场方向和磁场强度均相同，如此，便可使多个磁悬浮重力补偿装置受到的来自磁钢阵列组件的磁力的方向和大小均保持相同，如此，多个磁悬浮重力补偿装置相对微动台的质心便会产生大小相等、方向相反的力矩，即相对微动台的质心对称的两个磁悬浮重力补偿装置产生的力矩能够相互抵消，从而，磁悬浮重力补偿装置在随微动台运动时，微动台不易受到来自磁悬浮重力补偿装置中的磁悬浮动子的旋转扰动。

16、因此，本实用新型提供的工件台，微动台不易发生旋转，从而，可提高微动台的精度。

技术特征：

1.一种工件台，其特征在于，包括粗动台(500)、微动台(100)和基台(400)；

2.根据权利要求1所述的工件台，其特征在于，多个所述磁悬浮重力补偿装置(300)沿纵向排布有若干行，且沿横向排布有若干列；

3.根据权利要求2所述的工件台，其特征在于，t1＝t2。

4.根据权利要求1-3任一项所述的工件台，其特征在于，多个所述磁悬浮重力补偿装置(300)相对所述微动台(100)的两条中心对称线均对称分布。

5.根据权利要求4所述的工件台，其特征在于，多个所述磁悬浮重力补偿装置(300)与所述微动台(100)的质心的间距均相同。

6.根据权利要求5所述的工件台，其特征在于，所述磁悬浮重力补偿装置(300)为四个，且四个所述磁悬浮重力补偿装置(300)围成矩形。

7.根据权利要求6所述的工件台，其特征在于，所述微动台(100)的台面为矩形结构，所述微动台(100)的对角线的长度为l，所述微动台(100)的中心与四个角的连线的中心点均为基准点，四个所述磁悬浮重力补偿装置(300)分别与四个所述基准点一一对应，且四个所述磁悬浮重力补偿装置(300)与对应的所述基准点的间距小于l/8。

8.根据权利要求1-3任一项所述的工件台，其特征在于，所述磁悬浮动子为磁柱。

技术总结
本技术涉及精密加工与检测技术领域，具体而言，涉及一种工件台。工件台包括粗动台、微动台和基台；基台上设有磁钢阵列组件，微动台通过多个磁悬浮重力补偿装置浮于粗动台之上，磁悬浮重力补偿装置包括磁悬浮动子和磁悬浮定子，磁悬浮动子与微动台固定连接，磁悬浮定子与粗动台固定连接；多个磁悬浮重力补偿装置相对微动台的质心对称排布，并分别位于磁钢阵列组件产生的磁场的磁场方向和磁场强度均相同的位置，且磁悬浮动子的充磁方向相同。本技术提供的工件台，微动台不易受到来自磁悬浮重力补偿装置的旋转扰动，从而，可提高微动台的精度。

技术研发人员：王景宇,张利,刘少华,田丽
受保护的技术使用者：北京华卓精科科技股份有限公司
技术研发日：20230516
技术公布日：2024/1/15