一种支撑架,尤指一种用于设备的载盘自动校正支撑架。
背景技术:
1、现今的支撑架若需要倾斜度的调整通常由人为调整,但人为调整容易造成误差而导致加工出来的成品有瑕疵,若自动调整如中国台湾专利i274391,“自适调整机构以及使用该机构的晶片晶圆键合装置”,其虽可达到自动调整倾斜度使其平台与上压板贴合,但其整体过于复杂而导致其所生产的成本过高。
2、由此,如何将上述等缺失加以屏除,即为本申请发明人所欲解决的技术困难点的所在。
技术实现思路
1、有鉴于上述问题,因此本实用新型的目的在于提供一种用于设备的载盘自动校正支撑架,以解决现有的调整机构存在的上述问题。
2、为达以上目的,本实用新型提供一种用于设备的载盘自动校正支撑架,其包括:
3、多个载盘,该载盘设有第一面及第二面,该载盘的第二面设有多个第一调整件,该第一调整件设有第一端及第二端,该第一调整件第一端与载盘第二面相连接。
4、一底盘,该底盘设有第一面及第二面,该底盘第一面与第一调整件第二端相连接,该底盘第二面设有第二调整件,该第二调整件设有第一端及第二端,该第二调整件第一端与底盘第二面相连接。
5、进一步的,该第二调整件第二端设有一升降装置。
6、进一步的,该升降装置为气压缸或油压缸。
7、进一步的,该第一调整件为球形轴承。
8、进一步的,该第二调整件为球形轴承。
9、进一步的,该载盘设有一加热装置。
10、通过上述组合可使本实用新型在进行操作时将待加工件置于载盘与外加设备的底面间压合加工,即可解决因待加工件或外加设备倾斜而导致加工效果不佳的缺失。
1.一种用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,该第二调整件第二端设有一升降装置。
3.根据权利要求2所述的用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,该升降装置为气压缸或油压缸。
4.根据权利要求1所述的用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,该第一调整件为球形轴承。
5.根据权利要求1所述的用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,该第二调整件为球形轴承。
6.根据权利要求1所述的用于设备的载盘自动校正支撑架,其特征在于,该载盘设有一加热装置。