本技术涉及激光加工,特别涉及一种采用宽光谱激光器的激光打孔装置。
背景技术:
1、激光打孔加工是用聚焦镜将激光束聚焦在材料表面,并使激光束与材料沿一定轨迹作相对运动,从而形成一定形状的切缝。在相关技术中,用于激光打孔的激光器通常是固体激光器。固体激光器的光谱宽度较小(<1nm),从而经凸透镜聚焦后功率密度也较高。
2、但是,宽光谱激光器的光谱宽度较大(10nm量级),因此透过凸透镜聚焦时,由于凸透镜的球差和不同光谱成分的波长差异,导致宽光谱激光器发射的激光束中的相同光谱成分ls的焦点会在凸透镜的光轴上发生轴向错位,就如图1所示,激光束的相同光谱成分ls的焦点,因凸透镜a的球差导致,光轴上发生轴向错位,或者如图2所示,激光束的混合光谱成分lm经过凸透镜a时,不同光谱成分(l1、l2、l3)的波长差异导致在光轴上发生轴向错位,从而导致聚焦后的功率密度大幅下降,因此无法穿透材料表面。而且,如图3所示,当宽光谱激光器100'适用在后聚焦方式的激光打孔结构时,由于宽光谱激光器100'产生的激光束l中具有多个光谱成分,宽光谱激光器100'产生的激光束经振镜200'反射后,倾斜入射到场镜400'聚焦时,因场镜对各个光谱成分的折射率不同,所以各个光谱成分的焦点在场镜的焦平面上发生错位,从而降低功率密度。
技术实现思路
1、本实用新型的主要目的是提出一种激光打孔装置,以解决宽光谱激光器不适合作为激光打孔装置的激光源的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提出一种激光打孔装置,包括:宽光谱激光器,用于产生激光束;振镜,用于偏转激光束的方向;其中,激光打孔装置还包括非球面透镜,在激光束的光程上,非球面透镜位于宽光谱激光器和振镜之间,宽光谱激光器产生的激光束平行于非球面透镜的光轴。
3、本实用新型还提出一种激光打孔装置,包括:宽光谱激光器,用于产生激光束;振镜,用于偏转激光束的方向;其中,激光打孔装置还包括消色差透镜组件,在激光束的光程上消色差透镜组件位于宽光谱激光器和振镜之间,宽光谱激光器产生的激光束平行于消色差透镜组件的光轴。
4、本实用新型技术方案的有益效果在于:
5、激光打孔装置中,宽光谱激光器发射的激光束需经过非球面透镜或者消色差透镜组件后,通过振镜照射在待加工材料表面,宽光谱激光器产生的激光束经非球面透镜或者消色差透镜组件聚焦后各个光谱成分得到了球差补偿和色差补偿,从而相同光谱成分的焦点汇聚在非球面透镜的光轴上的同一个点,或者不同光谱成分的焦点汇聚在消色差透镜组件的光轴上的同一个点,以此提高了宽光谱激光器发射的激光束被聚焦后的功率密度,从而足以穿透待加工材料的表面。
6、此外,与相关技术的激光打孔装置相比,由于本实用新型的聚焦镜(球面透镜或者消色差透镜组件)在激光束的光程上位于振镜的上游,而且宽光谱激光器产生的激光束平行于聚焦镜的光轴,因此激光束的各个光谱成分的焦点不会在聚焦镜的焦平面上发生错位,从而有利于提高宽光谱激光器的功率密度。
1.一种用于玻璃的激光打孔装置,其特征在于,包括:
2.一种用于玻璃的激光打孔装置,其特征在于,包括: