一种靶材加工用六爪卡盘的制作方法

本技术涉及机床加工，尤其涉及一种靶材加工用六爪卡盘。

背景技术：

1、镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源。靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，利用不同功率密度、不同输出波形、不同波长的离子束流轰击固体表面，离子和固体表面的原子发生动能交换，从而将靶材溅射到基板上，形成溅射镀膜。

2、目前，在普通内圆磨床加工靶材的过程中一般使用三爪卡盘进行操作，对于各种大小环产品的加工通常需要不断大幅度变换夹持空间以固定不同环形外径的产品。夹爪卡盘体积大且较为笨重，拆卸再安装时需要两个人相互配合，耗时耗力。尤其每固定加工一只产品都需要耗费大量时间，导致加工效率较低。

3、因为目前市面上的三爪卡盘为全包型，组装固定靶材时，所述三爪卡盘的表面与靶材之间相互贴合没有间隙，一方面导致靶材的取放不便，另一方面则会造成靶材表面容易压伤划伤。

4、因此，需要设计一种靶材加工用六爪卡盘来解决上述问题。

技术实现思路

1、为克服上述缺点，本实用新型的目的在于提供一种靶材加工用六爪卡盘，体积小，便于工作人员拆卸更换，保证靶材的加工效率，避免靶材表面出现压伤划伤的现象。

2、为了达到以上目的，本实用新型采用的技术方案是：一种靶材加工用六爪卡盘，包括卡盘基座；所述卡盘基座表面沿其中心圆周阵列有六个固定卡槽，每个所述固定卡槽内均对应滑动设置有夹持组件，所述夹持组件包括分体设置的夹持卡件以及移动固定件，六个所述夹持组件固定靶材时，通过设置在固定卡槽内的限位机构或锁定机构能够限制所述夹持组件的移动。

3、进一步的，所述夹持卡件与移动固定件上分别开设有卡件锁紧孔以及连接孔，所述卡件锁紧孔与连接孔之间通过螺栓可拆卸连接。

4、进一步的，所述夹持卡件与两件接触的一端表面为弧形面。

5、进一步的，所述限位机构包括限位卡扣，所述限位卡扣位于固定卡槽内，且与所述固定卡槽形状相匹配，所述限位卡扣长度方向的两端沿其高度方向开设有卡扣锁紧孔。所述卡扣锁紧孔可以为沿其高度方向贯穿的通槽，当其为通槽时，与之对应的底盘上则开设有若干匹配的螺纹孔，夹持卡件将靶材夹持完毕后，通过锁定螺栓能够将限位卡扣固定在底盘上，从而抵住夹持卡件，避免夹持卡件在靶材加工时产生松动，保证靶材夹持的稳定性。

6、进一步的，所述固定卡槽上表面两侧槽边沿其长度方向设置有防滑条，所述防滑条沿其长度方向开设有多个与卡扣锁紧孔位置相对应的螺栓孔。当卡扣锁紧孔为自上而下开设的槽孔时，能够通过锁定螺栓将限位卡扣锁定在防滑条上，避免夹持卡件在固定卡槽内滑动，保证靶材夹持的稳定性。所述防滑条表面为若干朝向靠近靶材的方向倾斜的斜齿条，进一步避免夹持卡件夹持靶材时产生滑动，保证靶材夹持的稳定性。

7、进一步的，所述锁定机构包括固定在固定卡槽内的固定块以及水平设置的转动丝杆，所述转动丝杆与固定块螺纹连接，所述转动丝杆上远离移动固定件的一端设置有把手，另一端通过轴承与所述移动固定件相连接。

8、进一步的，所述卡盘基座呈圆柱形设置，且通过多块底盘拼装而成。

9、进一步的，所述卡盘基座中间部位开设有一贯穿通槽。所述贯穿通槽能够进一步减小整个卡盘基座的体积，在对夹持在其表面的靶材支撑的同时，也能够实现整体卡盘基座减重的效果，便于工作人员的组装与拆卸。

10、进一步的，所述固定卡槽远离夹持卡件的一端设置有插槽，所述插槽的槽口直径大于固定卡槽上两个防滑条之间的距离。

11、本实用新型的有益效果：

12、本实用新型中卡盘基座、夹持组件、固定卡槽、限位机构以及锁定机构相互配合，所述卡盘基座体积小，便于工作人员拆卸更换，所述夹持组件中夹持卡件与靶材夹持时，所述底盘与靶材表面接触小，能有效避免靶材表面出现压伤划伤的现象，所述限位机构与锁定机构的设置，能够保证夹持卡件夹持住靶材之后，在后续靶材加工过程中不会出现滑动松脱的现象，保证靶材的加工效率以及靶材夹持的稳定性。

技术特征：

1.一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：包括卡盘基座；所述卡盘基座表面沿其中心圆周阵列有六个固定卡槽，每个所述固定卡槽内均对应滑动设置有夹持组件，所述夹持组件包括分体设置的夹持卡件以及移动固定件，六个所述夹持组件固定靶材时，通过设置在固定卡槽内的限位机构或锁定机构能够限制所述夹持组件的移动。

2.根据权利要求1所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述夹持卡件与移动固定件上分别开设有卡件锁紧孔以及连接孔，所述卡件锁紧孔与连接孔之间通过螺栓可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述夹持卡件与两件接触的一端表面为弧形面。

4.根据权利要求1所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述限位机构包括限位卡扣，所述限位卡扣位于固定卡槽内，且与所述固定卡槽形状相匹配，所述限位卡扣长度方向的两端沿其高度方向开设有卡扣锁紧孔。

5.根据权利要求4所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述固定卡槽上表面两侧槽边沿其长度方向设置有防滑条，所述防滑条沿其长度方向开设有多个与卡扣锁紧孔位置相对应的螺栓孔。

6.根据权利要求1所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述锁定机构包括固定在固定卡槽内的固定块以及水平设置的转动丝杆，所述转动丝杆与固定块螺纹连接，所述转动丝杆上远离移动固定件的一端设置有把手，另一端通过轴承与所述移动固定件相连接。

7.根据权利要求1所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述卡盘基座呈圆柱形设置，且通过多块底盘拼装而成。

8.根据权利要求7所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述卡盘基座中间部位开设有一贯穿通槽。

9.根据权利要求5所述的一种靶材加工用六爪卡盘，其特征在于：所述固定卡槽远离夹持卡件的一端设置有插槽，所述插槽的槽口直径大于固定卡槽上两个防滑条之间的距离。

技术总结
本技术公开了一种靶材加工用六爪卡盘，包括卡盘基座；所述卡盘基座表面沿其中心圆周阵列有六个固定卡槽，每个所述固定卡槽内均对应滑动设置有夹持组件，所述夹持组件包括分体设置的夹持卡件以及移动固定件，六个所述夹持组件固定靶材时，通过设置在固定卡槽内的限位机构或锁定机构能够限制所述夹持组件的移动。本技术体积小，便于工作人员拆卸更换，保证靶材的加工效率，避免靶材表面出现压伤划伤的现象。

技术研发人员：朱海波
受保护的技术使用者：爱发科电子材料（苏州）有限公司
技术研发日：20230912
技术公布日：2024/5/12