一种集成光电子器件制造的蚀刻机构的制作方法

本技术属于集成光电子器件加工，具体为一种集成光电子器件制造的蚀刻机构。

背景技术：

1、集成光电子器件在生产的过程中，需要用到蚀刻设备来对其进行蚀刻加工，现有的蚀刻设备对集成光电子器件进行蚀刻时，一般都是通过螺纹夹具对集成光电子器件进行限位，在实际使用时需要经常拧动螺纹夹具进行夹紧或放松，操作较为不便，且进行夹紧或放松时会浪费较长时间，因此，需要一种集成光电子器件制造的蚀刻机构来对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、为了克服上述缺陷，本实用新型提供了一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，解决了一般都是通过螺纹夹具对集成光电子器件进行限位，在实际使用时需要经常拧动螺纹夹具进行夹紧或放松，操作较为不便，且进行夹紧或放松时会浪费较长时间的问题。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括蚀刻箱，所述蚀刻箱内设有激光蚀刻机，所述蚀刻箱内设有加工台，所述加工台上设有若干个吸盘，所述加工台下设有两个活塞筒，所述活塞筒下设有滑套，所述滑套内滑动连接有活塞杆，所述活塞杆的顶端设有活塞板，所述活塞板与活塞筒滑动连接，所述活塞板下设有复位弹簧，所述复位弹簧的另一端与活塞筒连接，所述活塞杆的底端设有滚轮，所述蚀刻箱内设有固定板，所述固定板的背面设有电动推杆。

3、作为本实用新型的进一步方案：所述蚀刻箱的正面搭接有两个调节门，所述蚀刻箱内设有滑轨，所述调节门与滑轨滑动连接。

4、作为本实用新型的进一步方案：所述调节门的正面设有把手，所述调节门的正面设有观察窗。

5、作为本实用新型的进一步方案：所述活塞筒的侧面设有两个连接管，所述连接管的另一端与吸盘相连通。

6、作为本实用新型的进一步方案：所述电动推杆的输出端设有连接板，所述连接板与蚀刻箱搭接。

7、作为本实用新型的进一步方案：所述连接板的两侧均设有坡面块，所述坡面块与蚀刻箱搭接。

8、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

9、1、该集成光电子器件制造的蚀刻机构，通过设置活塞筒、活塞杆、活塞板、复位弹簧、滚轮、坡面块和吸盘，在活塞筒、活塞杆、活塞板、复位弹簧、滚轮、坡面块和吸盘的相互配合下，进一步避免了需要经常拧动螺纹夹具进行夹紧或放松，以及夹紧或放松时会浪费较长时间的情况，同时复位弹簧的自动复位则可以自动完成吸盘对集成光电子器件的定位，从而使得集成光电子器件在蚀刻过程的拆装更加方便快捷。

10、2、该集成光电子器件制造的蚀刻机构，通过设置吸盘和连接管，连接管则保证了吸盘与活塞筒内部的气体相互流通，同时采用吸盘来对集成光电子器件进行固定加工，从而在一定程度上有效的避免了集成光电子器件因为压力过大而产生的损伤的情况。

技术特征：

1.一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，包括蚀刻箱(1)，其特征在于：所述蚀刻箱(1)内设有激光蚀刻机(6)，所述蚀刻箱(1)内设有加工台(7)，所述加工台(7)上设有若干个吸盘(8)，所述加工台(7)下设有两个活塞筒(9)，所述活塞筒(9)下设有滑套(17)，所述滑套(17)内滑动连接有活塞杆(10)，所述活塞杆(10)的顶端设有活塞板(18)，所述活塞板(18)与活塞筒(9)滑动连接，所述活塞板(18)下设有复位弹簧(19)，所述复位弹簧(19)的另一端与活塞筒(9)连接，所述活塞杆(10)的底端设有滚轮(11)，所述蚀刻箱(1)内设有固定板(12)，所述固定板(12)的背面设有电动推杆(13)。

2.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述蚀刻箱(1)的正面搭接有两个调节门(2)，所述蚀刻箱(1)内设有滑轨(3)，所述调节门(2)与滑轨(3)滑动连接。

3.根据权利要求2所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述调节门(2)的正面设有把手(4)，所述调节门(2)的正面设有观察窗(5)。

4.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述活塞筒(9)的侧面设有两个连接管(16)，所述连接管(16)的另一端与吸盘(8)相连通。

5.根据权利要求1所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述电动推杆(13)的输出端设有连接板(14)，所述连接板(14)与蚀刻箱(1)搭接。

6.根据权利要求5所述的一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，其特征在于：所述连接板(14)的两侧均设有坡面块(15)，所述坡面块(15)与蚀刻箱(1)搭接。

技术总结
本技术公开了一种集成光电子器件制造的蚀刻机构，属于集成光电子器件加工技术领域，其包括包括蚀刻箱，所述蚀刻箱内设有激光蚀刻机，所述蚀刻箱内设有加工台，所述加工台上设有若干个吸盘，所述加工台下设有两个活塞筒。该集成光电子器件制造的蚀刻机构，通过设置活塞筒、活塞杆、活塞板、复位弹簧、滚轮、坡面块和吸盘，在活塞筒、活塞杆、活塞板、复位弹簧、滚轮、坡面块和吸盘的相互配合下，进一步避免了需要经常拧动螺纹夹具进行夹紧或放松，以及夹紧或放松时会浪费较长时间的情况，同时复位弹簧的自动复位则可以自动完成吸盘对集成光电子器件的定位，从而使得集成光电子器件在蚀刻过程的拆装更加方便快捷。

技术研发人员：黄永浩,温玮
受保护的技术使用者：深圳市立汇通信技术有限公司
技术研发日：20230927
技术公布日：2024/4/29