一种滚轮衬套加工用刀具的制作方法

本技术涉及半导体制造，尤其涉及一种滚轮衬套加工用刀具。

背景技术：

1、在晶体的气相沉积工艺中需要使用到消耗性零件滚轮衬套，滚轮衬套在使用前，需要在其外壁处加工出两条环形槽。

2、目前的加工方法如下，将滚轮衬套固定至三爪卡盘上，三爪卡盘带动滚轮衬套转动，通过刀具与滚轮衬套的外壁接触，以形成第一条环形槽，移动至另一位置处重复上述布置，可形成第二条环形槽。

3、然而，每次只能加工一条环形槽，需要进刀两次，影响生产效率，同时，二次进刀时难以保证两条环形槽之间的距离大小，以致于次品率升高。

技术实现思路

1、有鉴于此，有必要提供一种滚轮衬套加工用刀具，用以解决每次只能加工一条环形槽，需要进刀两次，影响生产效率，同时，二次进刀时难以保证两条环形槽之间的距离大小，以致于次品率升高的问题。

2、本实用新型提供一种滚轮衬套加工用刀具，包括刀柄、第一刀头和第二刀头，所述第一刀头和所述第二刀头沿所述刀柄的长度方向依次设置，所述第一刀头和所述第二刀头与所述刀柄连接，所述第一刀头和所述第二刀头中至少一个与所述刀柄滑动连接。

3、进一步的，所述第一刀头与所述刀柄固定连接，所述第二刀头与所述刀柄滑动连接。

4、进一步的，所述第一刀头和所述第二刀头均与所述刀柄固定连接。

5、进一步的，所述第一刀头和所述第二刀头均与所述刀柄滑动连接。

6、进一步的，还包括调节组件，所述调节组件包括滑套和固定螺钉，所述第一刀头和/或所述第二刀头经由一所述滑套与所述刀柄滑动连接，每个所述滑套上均设置有至少一个所述固定螺钉，所述固定螺钉穿过所述滑套上开设的螺纹孔、并与所述刀柄抵接。

7、进一步的，所述调节组件还包括相对设置的两个夹片，其中一所述夹片与所述滑套固定连接，另一所述夹片与所述刀柄滑动连接，两个所述夹片之间经由螺钉连接，且两个所述夹片之间形成一卡接间隙，所述第一刀头和/或所述第二刀头卡嵌于所述卡接间隙中。

8、进一步的，所述第一刀头和所述第二刀头呈环状，两个所述夹片相对一侧的中心处形成有环形凸台，所述刀柄穿过所述环形凸台设置，两个所述夹片之间形成一环状的卡接间隙。

9、进一步的，所述固定螺钉的数量为多个，多个所述固定螺钉沿所述滑套周向均匀布置。

10、进一步的，所述刀柄呈圆柱状，所述第一刀头和所述第二刀头呈环状，所述刀柄、所述第一刀头和所述第二刀头以及同轴设置。

11、进一步的，所述第一刀头的外径和所述第二刀头的外径相等。

12、与现有技术相比，通过在刀柄上设置的第一刀头和第二刀头，在加工滚轮衬套外壁的两个环形槽时，将滚轮衬套安装至三爪卡盘上，三爪卡盘带动滚轮衬套自转，预先设定好第一刀头和第二刀头之间的间距，使第一刀头和第二刀头同步朝滚轮衬套移动，可同时加工出两条环形槽，提高生产效率，且可以保证两条环形槽之间的距离，提高良品率。

技术特征：

1.一种滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，包括刀柄、第一刀头和第二刀头；

2.根据权利要求1所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述第一刀头与所述刀柄固定连接，所述第二刀头与所述刀柄滑动连接。

3.根据权利要求1所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述第一刀头与所述刀柄滑动连接，所述第二刀头与所述刀柄固定连接。

4.根据权利要求1所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述第一刀头和所述第二刀头均与所述刀柄滑动连接。

5.根据权利要求1所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，还包括调节组件，所述调节组件包括滑套和固定螺钉，所述第一刀头和/或所述第二刀头经由一所述滑套与所述刀柄滑动连接，每个所述滑套上均设置有至少一个所述固定螺钉，所述固定螺钉穿过所述滑套上开设的螺纹孔、并与所述刀柄抵接。

6.根据权利要求5所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述调节组件还包括相对设置的两个夹片，其中一所述夹片与所述滑套固定连接，另一所述夹片与所述刀柄滑动连接，两个所述夹片之间经由螺钉连接，且两个所述夹片之间形成一卡接间隙，所述第一刀头和/或所述第二刀头卡嵌于所述卡接间隙中。

7.根据权利要求6所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述第一刀头和所述第二刀头呈环状，两个所述夹片相对一侧的中心处形成有环形凸台，所述刀柄穿过所述环形凸台设置，两个所述夹片之间形成一环状的卡接间隙。

8.根据权利要求5所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述固定螺钉的数量为多个，多个所述固定螺钉沿所述滑套周向均匀布置。

9.根据权利要求1所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述刀柄呈圆柱状，所述第一刀头和所述第二刀头呈环状，所述刀柄、所述第一刀头和所述第二刀头以及同轴设置。

10.根据权利要求9所述的滚轮衬套加工用刀具，其特征在于，所述第一刀头的外径和所述第二刀头的外径相等。

技术总结
本技术涉及一种滚轮衬套加工用刀具，其包括刀柄、第一刀头和第二刀头，所述第一刀头和所述第二刀头沿所述刀柄的长度方向依次设置，所述第一刀头和所述第二刀头与所述刀柄连接，所述第一刀头和所述第二刀头中至少一个与所述刀柄滑动连接；通过在刀柄上设置的第一刀头和第二刀头，在加工滚轮衬套外壁的两个环形槽时，将滚轮衬套安装至三爪卡盘上，三爪卡盘带动滚轮衬套自转，预先设定好第一刀头和第二刀头之间的间距，使第一刀头和第二刀头同步朝滚轮衬套移动，可同时加工出两条环形槽，提高生产效率，且可以保证两条环形槽之间的距离，提高良品率。

技术研发人员：孔珍源,金龙,张富祥
受保护的技术使用者：吉盛微（武汉）新材料科技有限公司
技术研发日：20231120
技术公布日：2024/6/23