一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具的制作方法

本技术涉及ito平面靶成型，具体涉及一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具。

背景技术：

1、ito平面靶是一种用于光学薄膜涂层的基板材料，由氧化铟锡薄膜覆盖在玻璃、塑料或其他基材上制成。这种平面靶通常用于制造光电子器件，如液晶显示器、触摸屏、太阳能电池等。它具有优良的导电性、透明性和耐腐蚀性，是制造高性能光电子产品的重要材料之一。

2、cn201721748063.0公开了及一种大尺寸平面靶材冷等静压辅助夹具，包括上夹板和下夹板，还包括有底托和用于防止靶材滑落的底部挡块，所述的下夹板连接在底托上，底部挡块安装在底托的一端上并紧靠下夹板的端面，下夹板上安装有连接螺栓，上夹板上开有与螺栓配合的螺栓孔，上夹板的螺栓孔套装到下夹板的连接螺栓上并通过螺母紧固。

3、上述的技术方案可用于装夹大尺寸平面靶材素坯，通过增加了铝合金框架结构的底托，使其在搬运装笼过程中不易折断，并减小靶材素坯在冷等静压过程中的变形；还增加了用于防止靶材滑落的底部挡块，能有效防止冷等静压过程中靶材从上下夹板中间滑落。但是，上述技术方案中的夹具一次只能装载一块靶材，如果装载多块靶材，由于靶坯与靶坯之间贴合，在冷等静压的过程中，会发生收缩不均匀导致靶坯产生形变，靶坯与靶坯之间力与力的对抗作用，导致靶坯开裂，且重合叠加装载的靶坯，当有一块靶坯开裂会有连带效应致使与其贴合的另一块靶坯产生开裂，造成靶坯报废。

技术实现思路

1、本实用新型的目的是为了解决上述问题，提供了一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具，本装载工具通过在支撑座上设有用于放置平面靶的平台，多块隔板、平面靶以垂直于平台的方式交替堆叠放置在平台上，且平面靶的两侧面均与隔板贴合，能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免靶材开裂，并且通过压条抵紧在最外侧的隔板上，能够同时固定多块靶材，效率更高。

2、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

3、一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具，包括支撑座、压条、多块隔板，所述支撑座上设有用于放置平面靶的平台，所述平台上设有第一连接件，所述支撑座的顶部设有与第一连接件对应布置的第二连接件；所述多块隔板、平面靶以垂直于平台的方式交替堆叠放置在平台上，且平面靶的两侧面均与隔板贴合，所述压条的两端分别连接在第一连接件和第二连接件上，且抵紧在最外侧的隔板上。

4、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述支撑座包括水平布置的底架、连接在底架的两侧且竖直布置的连接架、可拆卸连接在连接架一侧上的主架，所述平台位于主架上，且位于底架上方，所述第二连接件位于连接架的顶部。

5、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述连接架连接在底架侧面的端部处，所述底架与连接架组成l型结构。

6、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述连接架连接在底架侧面的中部处，所述底架与连接架组成倒t型结构，所述主架为两个，且分别可拆卸连接在连接架的两侧，所述第二连接件在连接架的顶部对称布置。

7、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述主架包括竖直布置的第一架体、水平布置且连接在第一架体一端的第二架体，所述第一架体和第二架体组成l型结构，所述第一架体上设有竖直布置的第一板体，所述第二架体上设有水平布置的第二板体，所述第二板体为平台，所述第二板体上还设有柔性垫，所述第一架体的顶部与连接架铰接，所述铰接为可拆卸连接。

8、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述连接架上设有限位组件，所述限位组件包括连接在连接架两侧的限位块、活动连接在限位块内的限位销，所述限位销用于使第一架体保持在倾斜状态。

9、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述连接架上还设有固定组件，所述固定组件包括水平布置连接在连接架上的固定板、与固定板活动连接的固定销，所述第一架体上设有与固定板匹配的连接板，所述连接板上设有与固定销匹配的连接孔。

10、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述连接架的顶部还设有用于将装载工具整体吊起的吊架组件。

11、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述压条为第一槽钢，所述第一连接件包括第二槽钢、与第二槽钢可拆卸连接的螺栓，所述第二连接件为螺杆，所述第一槽钢的一端套设在第二槽钢上，并通过螺栓抵紧在最外侧的隔板上，所述第二槽钢的另一端设有与螺杆匹配的连接槽，所述第二槽钢通过连接槽与螺杆连接，并通过螺母抵紧在最外侧的隔板上。

12、在上述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具中，所述隔板为pe材质的隔板。

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

14、本实用新型通过在支撑座上设有用于放置平面靶的平台，多块隔板、平面靶以垂直于平台的方式交替堆叠放置在平台上，且平面靶的两侧面均与隔板贴合，能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免靶材开裂，并且通过压条抵紧在最外侧的隔板上，能够同时固定多块靶材，效率更高。

技术特征：

1.一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具，包括支撑座、压条、多块隔板，其特征在于，所述支撑座上设有用于放置平面靶的平台，所述平台上设有第一连接件，所述支撑座的顶部设有与第一连接件对应布置的第二连接件；所述多块隔板、平面靶以垂直于平台的方式交替堆叠放置在平台上，且平面靶的两侧面均与隔板贴合，所述压条的两端分别连接在第一连接件和第二连接件上，且抵紧在最外侧的隔板上。

2.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述支撑座包括水平布置的底架、连接在底架的两侧且竖直布置的连接架、可拆卸连接在连接架一侧上的主架，所述平台位于主架上，且位于底架上方，所述第二连接件位于连接架的顶部。

3.根据权利要求2所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述连接架连接在底架侧面的端部处，所述底架与连接架组成l型结构。

4.根据权利要求2所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述连接架连接在底架侧面的中部处，所述底架与连接架组成倒t型结构，所述主架为两个，且分别可拆卸连接在连接架的两侧，所述第二连接件在连接架的顶部对称布置。

5.根据权利要求4所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述主架包括竖直布置的第一架体、水平布置且连接在第一架体一端的第二架体，所述第一架体和第二架体组成l型结构，所述第一架体上设有竖直布置的第一板体，所述第二架体上设有水平布置的第二板体，所述第二板体为平台，所述第二板体上还设有柔性垫，所述第一架体的顶部与连接架铰接，所述铰接为可拆卸连接。

6.根据权利要求5所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述连接架上设有限位组件，所述限位组件包括连接在连接架两侧的限位块、活动连接在限位块内的限位销，所述限位销用于使第一架体保持在倾斜状态。

7.根据权利要求6所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述连接架上还设有固定组件，所述固定组件包括水平布置连接在连接架上的固定板、与固定板活动连接的固定销，所述第一架体上设有与固定板匹配的连接板，所述连接板上设有与固定销匹配的连接孔。

8.根据权利要求2所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述连接架的顶部还设有用于将装载工具整体吊起的吊架组件。

9.根据权利要求4所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述压条为第一槽钢，所述第一连接件包括第二槽钢、与第二槽钢可拆卸连接的螺栓，所述第二连接件为螺杆，所述第一槽钢的一端套设在第二槽钢上，并通过螺栓抵紧在最外侧的隔板上，所述第二槽钢的另一端设有与螺杆匹配的连接槽，所述第二槽钢通过连接槽与螺杆连接，并通过螺母抵紧在最外侧的隔板上。

10.根据权利要求1所述的大尺寸平面靶冷等静压装载工具，其特征在于，所述隔板为pe材质的隔板。

技术总结
本技术涉及ITO平面靶成型技术领域，公开了一种大尺寸平面靶冷等静压装载工具，支撑座、压条、多块隔板，支撑座上设有用于放置平面靶的平台，平台上设有第一连接件，支撑座的顶部设有第二连接件；多块隔板、平面靶以垂直于平台的方式交替堆叠放置在平台上，且平面靶的两侧面均与隔板贴合，压条的两端分别连接在第一连接件和第二连接件上，且抵紧在最外侧的隔板上。本技术能够在冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避免靶材开裂，并且通过压条抵紧在最外侧的隔板上，能够同时固定多块靶材，效率更高。

技术研发人员：李叶,李帅,蔡常基,余芳,李明鸿
受保护的技术使用者：先导薄膜材料（广东）有限公司
技术研发日：20231211
技术公布日：2024/9/2