一种晶圆激光修调装置的制作方法

本技术涉及晶圆激光测试设备领域，具体而言，涉及一种晶圆激光修调装置。

背景技术：

1、一般晶圆测试(cp1)结束后，需要针对外观进行检验,然后将产品包装好再拿到激光修调设备出进行拆包装、上机、trimming(修调)、外观检验、包装再拿到测试设备上进行测试(cp2)，测试(cp2)结束后针对外观再次进行检验,然后将产品包装好再发往封装工厂。

2、目前，现在人工成本压力日益增加，来回的运输、包装、检验，无形中又增加人力和芯片成本，因此当在修调过程中不及时，或者跟不上测试(cp1)之时，后道工序无法正常运转，从而造成设备运行中断，导致设备停停歇歇。

技术实现思路

1、为了弥补以上不足，本实用新型提供了一种晶圆激光修调装置，旨在改善修调过程中不及时，或者跟不上测试(cp1)之时，后道工序无法正常运转的问题。

2、本实用新型是这样实现的：

3、本实用新型提供一种晶圆激光修调装置，包括操作平台和修调组件。

4、所述操作平台表面连接有支架，所述支架表面连接有激光头，所述操作平台上表面安装有放置台和显示器，所述修调组件包括驱动件和滑动座，所述驱动件安装在所述操作平台表面，所述滑动座通过移动块螺纹套接在所述驱动件的活动端，且所述滑动座表面安装有传动件，所述传动件的活动端螺纹套接有移动座，所述移动座表面安装有转动件，所述转动件的活动端螺纹套接有支撑架，所述支撑架与所述移动座滑动连接。

5、在本实用新型的一种实施例中，所述驱动件包括第一电机和第一丝杆，所述第一电机安装在所述操作平台表面，且所述第一电机的输出轴与所述第一丝杆连接，所述移动块螺纹套接在所述第一丝杆表面。

6、在本实用新型的一种实施例中，所述操作平台表面开设有第一空腔，所述移动块与所述第一空腔内壁贴合，所述操作平台表面开设有与所述移动块相对应的豁口。

7、在本实用新型的一种实施例中，所述传动件包括第二电机和第二丝杆，所述第二电机安装在所述滑动座表面，且所述第二电机的输出轴与所述第二丝杆连接，所述移动座螺纹套接在所述第二丝杆表面。

8、在本实用新型的一种实施例中，所述移动座下表面连接有连接块，所述连接块螺纹套接在所述第二丝杆表面。

9、在本实用新型的一种实施例中，所述滑动座内开设有第二空腔，所述连接块与所述第二空腔内壁贴合。

10、在本实用新型的一种实施例中，所述转动件包括第三电机和第三丝杆，所述第三电机安装在所述移动座表面，且所述第三电机与所述第三丝杆连接，所述支撑架通过滑块螺纹套接在所述第三丝杆表面。

11、在本实用新型的一种实施例中，所述移动座内开设有滑槽，所述滑块与所述滑槽内壁贴合。

12、本实用新型的有益效果是：本实用新型通过上述设计得到的一种晶圆激光修调装置，使用时，将晶圆放置在放置台和支撑架表面，通过操作平台上的驱动件和移动块的配合，使驱动件的活动端带动移动块移动，移动块会带动滑动座移动，由传动件和移动座的配合，使传动件的活动端带动移动座移动，再由转动件和支撑架的配合，使转动件的活动端支撑架上下移动，可将晶圆移动至支架上的激光头下表面，利于对晶圆进行测试，通过显示器和激光头的配合，利于工作人员了解测试的结果。

技术特征：

1.一种晶圆激光修调装置，其特征在于，包括

2.根据权利要求1所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述驱动件(210)包括第一电机(211)和第一丝杆(212)，所述第一电机(211)安装在所述操作平台(100)表面，且所述第一电机(211)的输出轴与所述第一丝杆(212)连接，所述移动块(230)螺纹套接在所述第一丝杆(212)表面。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述操作平台(100)表面开设有第一空腔(150)，所述移动块(230)与所述第一空腔(150)内壁贴合，所述操作平台(100)表面开设有与所述移动块(230)相对应的豁口。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述传动件(240)包括第二电机(241)和第二丝杆(242)，所述第二电机(241)安装在所述滑动座(220)表面，且所述第二电机(241)的输出轴与所述第二丝杆(242)连接，所述移动座(250)螺纹套接在所述第二丝杆(242)表面。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述移动座(250)下表面连接有连接块(251)，所述连接块(251)螺纹套接在所述第二丝杆(242)表面。

6.根据权利要求5所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述滑动座(220)内开设有第二空腔(221)，所述连接块(251)与所述第二空腔(221)内壁贴合。

7.根据权利要求1所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述转动件(260)包括第三电机(261)和第三丝杆(262)，所述第三电机(261)安装在所述移动座(250)表面，且所述第三电机(261)与所述第三丝杆(262)连接，所述支撑架(270)通过滑块(271)螺纹套接在所述第三丝杆(262)表面。

8.根据权利要求7所述的一种晶圆激光修调装置，其特征在于，所述移动座(250)内开设有滑槽(252)，所述滑块(271)与所述滑槽(252)内壁贴合。

技术总结
本技术提供了一种晶圆激光修调装置，属于晶圆激光测试设备技术领域。该晶圆激光修调装置包括操作平台和修调组件。所述支架表面连接有激光头，所述操作平台上表面安装有放置台和显示器，所述修调组件包括驱动件和滑动座，所述滑动座通过移动块螺纹套接在所述驱动件的活动端，所述传动件的活动端螺纹套接有移动座，所述移动座表面安装有转动件，所述转动件的活动端螺纹套接有支撑架。本技术通过驱动件和移动块的配合，使移动块带动滑动座移动，由传动件和移动座的配合，使传动件的活动端带动移动座移动，再由转动件和支撑架的配合，使转动件的活动端支撑架上下移动，可将晶圆移动至激光头下表面，利于对晶圆进行测试。

技术研发人员：虞君新
受保护的技术使用者：无锡圆方半导体测试有限公司
技术研发日：20231219
技术公布日：2024/9/17