一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置的制作方法

本技术涉及晶圆设备，特别涉及一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置。

背景技术：

1、如图1所示，前开式晶圆出货盒(fosb，front opening shipping box)主要由本体1及顶部法兰2(top flange，顶部法兰)组成，顶部法兰2通过卡扣3及本体1上的卡槽固定在本体1的顶部上，顶部法兰2主要为fosb自动传输时机器抓取使用。

2、如图2和图3所示，对于特殊包装作业、fosb的本体1或顶部法兰2损坏时，需要将顶部法兰2从本体1上拆卸下来以满足特殊包装作业需求或循环利用部件的绿色环保目的。现有拆卸fosb的方式主要依赖人工手动暴力拆卸，拆卸步骤为：作业人员将fosb放置在作业台上，顶部法兰2朝向作业人员站立的一侧；用螺丝刀4撬开顶部法兰2的卡扣3；用锤子5敲击顶部法兰2，使顶部法兰2脱离本体1上的卡槽。

3、然而，现有拆卸fosb的方式容易造成顶部法兰2的卡扣3损坏，顶部法兰2被锤子5敲击的接触点破损，甚至造成人员手部受伤。

技术实现思路

1、本实用新型提供了一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，以解决现有的拆卸方式容易造成顶部法兰的卡扣损坏，顶部法兰被锤子敲击的接触点破损，甚至造成人员手部受伤的技术问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，包括第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、拨片、压杆、支撑架和固定前开式晶圆出货盒固定单元；

3、所述支撑架包括横向设置的悬臂，所述第一驱动单元、所述第二驱动单元和所述第三驱动单元均安装在所述悬臂上，所述第二驱动单元设置在所述第一驱动单元和所述第三驱动单元之间；

4、所述拨片包括第一连杆和第二连杆，所述第一连杆的一端与所述第一驱动单元连接，所述第一连杆的另一端与所述第二连杆的一端连接，所述第二连杆的另一端向所述固定单元的方向延伸；所述第二连杆的一端还与所述第二驱动单元连接；所述拨片以所述第二连杆的一端为旋转中心可旋转；

5、所述压杆的一端与所述第三驱动单元连接，另一端向所述固定单元的方向延伸；

6、所述固定单元设置在所述悬臂的下方。

7、可选的，所述装置还包括承载平台，所述支撑架和所述固定单元均设置在所述承载平台上。

8、可选的，所述承载平台上设置有侧板和顶板，所述侧板和顶板围合形成一个具有开口的腔室；所述第一驱动单元、所述第二驱动单元、所述第三驱动单元、所述拨片、所述压杆、所述支撑架和所述固定单元均设置在所述腔室内。

9、可选的，所述第一连杆的一端通过轨道槽与所述第一驱动单元连接，所述轨道槽的轴向延伸方向与所述第一驱动单元指向所述第二驱动单元的方向平行。

10、可选的，所述固定单元包括三个固定板，三个所述固定板围合形成一个具有开口的区域。

11、可选的，所述第一连杆和所述第二连杆之间的夹角为钝角。

12、可选的，所述第二连杆的另一端的形状为一字形。

13、可选的，所述压杆的形状为倒t字形。

14、可选的，所述第一驱动单元、所述第二驱动单元和所述第三驱动单元均为气缸。

15、本实用新型提供的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，通过第一驱动单元和第二驱动单元驱动拨片撬开前开式晶圆出货盒的顶部法兰的卡扣，再通过第三驱动单元驱动压杆把顶部法兰从前开式晶圆出货盒的本体上的卡槽内推出，不再需要人工手动暴力拆卸前开式晶圆出货盒，意想不到的效果是不会造成顶部法兰的卡扣容易损坏，顶部法兰被锤子敲击的接触点容易破损，或者人员手部容易受伤的问题。

技术特征：

1.一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，包括第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、拨片、压杆、支撑架和固定前开式晶圆出货盒的固定单元；

2.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述装置还包括承载平台，所述支撑架和所述固定单元均设置在所述承载平台上。

3.如权利要求2所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述承载平台上设置有侧板和顶板，所述承载平台、所述侧板和顶板围合形成一个具有开口的腔室；所述第一驱动单元、所述第二驱动单元、所述第三驱动单元、所述拨片、所述压杆、所述支撑架和所述固定单元均设置在所述腔室内。

4.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述第一连杆的一端通过轨道槽与所述第一驱动单元连接，所述轨道槽的轴向延伸方向与所述第一驱动单元指向所述第二驱动单元的方向平行。

5.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述固定单元包括三个固定板，三个所述固定板围合形成一个具有开口的区域。

6.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述第一连杆和所述第二连杆之间的夹角为钝角。

7.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述第二连杆的另一端的形状为一字形。

8.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述压杆的形状为倒t字形。

9.如权利要求1所述的一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，其特征在于，所述第一驱动单元、所述第二驱动单元和所述第三驱动单元均为气缸。

技术总结
本技术提供了一种前开式晶圆出货盒的拆卸装置，包括第一驱动单元、第二驱动单元、第三驱动单元、拨片、压杆、支撑架和固定单元；支撑架包括横向设置的悬臂，第一驱动单元、第二驱动单元和第三驱动单元均安装在悬臂上，第二驱动单元设置在第一驱动单元和第三驱动单元之间；拨片包括第一连杆和第二连杆，第一连杆的一端与第一驱动单元连接，第一连杆的另一端与第二连杆的一端连接；第二连杆的一端还与第二驱动单元连接；拨片以第二连杆的一端为旋转中心可旋转；压杆的一端与第三驱动单元连接，另一端向固定单元的方向延伸。本装置不会造成顶部法兰的卡扣容易损坏，顶部法兰被锤子敲击的接触点容易破损，或者人员手部容易受伤的问题。

技术研发人员：王博,周云峰
受保护的技术使用者：合肥晶合集成电路股份有限公司
技术研发日：20231229
技术公布日：2024/11/11