靶材矫正装置及靶材矫正方法与流程

本发明涉及靶材加工，尤其涉及靶材矫正装置及靶材矫正方法。

背景技术：

1、液晶显示用平面靶材由背板和靶材本体组成，其间通过焊料层绑定。平面靶材在绑定后冷却至常温时，因为靶坯与背板的线收缩系数不一样，平面靶材在冷却至室温后，会呈现两头翘曲或中间鼓起的形态。在mo材质靶坯与cu背板绑定或ti材质靶坯与cu背板绑定时，平面靶材的形变会呈现中间鼓起的形态。而翘曲会导致平面靶材的平面度和直线度难以满足出货规格，在此类平面靶材发到客户端后，背板上的孔位无法与应用设备的安装位置精准对应，无法进行平面靶材的上机安装，故而平面靶材在焊接后，还需要进行矫正操作。

2、目前，在进行矫正时，需要将平面靶材放置在矫正平台下，两端放置支撑板，利用矫正压头下压平面靶材上翘曲幅度最大的区域。随着矫正压头的下降，平面靶材在下压力的作用下，逐步发生变形。待到下压至一定程度后，利用矫正压头保压一定时间，然后再释放矫正压头，使得平面靶材上的压力释放，让平面靶材回弹至水平态。

3、然而，平面靶材在保压时所在的位置却难以确定，这需要人工持测量尺进行测量。如果存在有对所在的位置的调整需求，则需要操作人员在现场持续关注平面靶材各处的形变。

技术实现思路

1、本发明的目的在于提供靶材矫正装置及靶材矫正方法，以实现对测距单元与平面靶材在竖直方向上间距的精确测量，改善对平面靶材的保压效果，提升矫正的成功率。

2、为达此目的，本发明采用以下技术方案：

3、靶材矫正装置，用于矫正平面靶材，包括支撑模块、垫板和矫正模块；所述支撑模块包括矫正平台和可拆卸安装于所述矫正平台顶面的环形边框，所述环形边框用于支撑所述平面靶材的边缘，所述环形边框与所述矫正平台顶面围成检测槽，所述矫正平台顶面间隔均布有若干测距单元，位于所述检测槽内的所述测距单元能探测自身与所述平面靶材在竖直方向上的间距；所述垫板置于所述平面靶材的顶部；所述矫正模块包括矫正压头，所述矫正压头选择性抵压于所述垫板的顶部。

4、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述测距单元包括激光测距仪，所述激光测距仪用于沿竖直方向向上发射光线，所述光线被所述平面靶材反射回所述激光测距仪。

5、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述环形边框为矩形框，所有的所述测距单元呈矩阵排布于所述矫正平台顶面的中心。

6、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述矫正模块还包括活动组件和模块主体，所述矫正压头活动安装于所述活动组件上，所述矫正压头能相对所述活动组件沿竖直方向移动，所述活动组件活动安装于所述模块主体上，所述活动组件能相对所述模块主体在水平平面内移动。

7、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述矫正压头包括连接件、固定框和压头主体，所述连接件固定连接于所述固定框，所述连接件与所述活动组件活动配合，所述固定框设有安装槽，所述压头主体可拆卸插接于所述安装槽内，所述压头主体用于下压所述垫板。

8、作为靶材矫正装置的优选技术方案，在水平平面内，所述垫板的投影覆盖所述压头主体的投影。

9、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述活动组件包括第一主体和第一驱动单元，所述第一主体上设有沿竖直方向延伸的第一滑轨，所述连接件滑设于所述第一滑轨，所述第一驱动单元的输出端连接于所述连接件，用于驱动所述矫正压头相对所述第一主体移动。

10、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述模块主体包括第二主体和第二驱动单元，所述活动组件活动安装于所述第二主体上，所述第二驱动单元用于驱动所述活动组件相对所述第二主体移动。

11、作为靶材矫正装置的优选技术方案，所述靶材矫正装置还包括显示面板，每个所述测距单元均与所述显示面板通信连接，所述显示面板用于显示所述测距单元所测得的信息。

12、靶材矫正方法，应用于上述的靶材矫正装置，包括以下步骤：

13、s10：确定所述平面靶材的尺寸，并据此选择相应尺寸的环形边框；

14、s20：将所述环形边框固定安装于所述矫正平台顶面，将所述平面靶材安装于所述环形边框上，将所述垫板置于所述平面靶材上；

15、s30：根据测距单元所测得的信息选取保压位置，并计算出下压距离；

16、s40：将所述垫板移动至所述保压位置的正下方，控制所述矫正压头移动至所述保压位置，并向下移动所述下压距离；

17、s50：根据测距单元所测得的信息判断所述平面靶材的形变是否达到形变要求，若是，则进行s60，若否，则控制所述矫正压头向上移动所述下压距离，然后返回s30；

18、s60：待到矫正压头下压保压时间后，控制所述矫正压头向上移动所述下压距离；

19、s70：根据测距单元所测得的信息判断所述平面靶材的平整度是否合格，若是，则判断保压后的所述平面靶材为合格品，若否，则判断保压后的所述平面靶材为不合格品并弃用。

20、本发明的有益效果：

21、该靶材矫正装置借助环形边框支撑平面靶材边缘的设计，不仅达到了对平面靶材的定位目的，而检测槽的形成还能够对平面靶材中心所产生的形变进行避让，有助于确保保压动作的顺利完成，保障了矫正操作的顺利进行。通过放置垫板的方式，能够增大平面靶材表面的受压面积，有利于提升对平面靶材表面的防护效果。配合矫正压头对垫板的选择性抵压，能够完成对平面靶材的保压动作。利用测距单元在矫正平台顶面间隔均布的设计，有助于操作人员在检测槽的空间内精确测量平面靶材各处与矫正平台顶面的间距，从而得以准确把握平面靶材整体的形变情况，能够达到实时监测平面靶材的形变情况的效果。操作人员据此得以在平面靶材安装于环形边框上后，根据处理前平面靶材的形变情况判断保压位置和下压距离；在矫正压头抵压于垫板上时，操作人员能够根据保压时平面靶材的形变情况判断保压动作是否准确到位，从而得以及时中止误操作，提升了矫正的效率和成功率；在矫正压头收回后，操作人员能够根据加工完成后平面靶材的形变情况判断平整度是否合格，由此得以完成对平面靶材的质量检测，实现了对平面靶材的品控。环形边框可拆卸安装于矫正平台顶面的设计，提升了支撑模块的结构灵活性，使得矫正平台能够适配于多种不同的环形边框，由此也致使支撑模块能够支撑不同尺寸与形状的平面靶材，进而扩展了靶材矫正装置的应用场景。该靶材矫正装置借助上述设计，实现了对测距单元与平面靶材在竖直方向上间距的精确测量，提高了对保压位置和下压距离进行确定的效率和准确度，改善了对平面靶材的保压效果，提升了矫正操作的成功率。

22、该靶材矫正方法根据测距单元所测得的信息，得以在平面靶材安装后确定保压位置和下压距离，在矫正压头抵压时监测保压动作是否到位，在加工完成后对平面靶材进行品质检测，上述设计简化了对平面靶材进行矫正操作的步骤，优化了矫正操作的流程，减少了操作人员的工作量，保障了对平面靶材的矫正效率和矫正成功率。

技术特征：

1.靶材矫正装置，用于矫正平面靶材(900)，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述测距单元(500)包括激光测距仪，所述激光测距仪用于沿竖直方向向上发射光线，所述光线被所述平面靶材(900)反射回所述激光测距仪。

3.根据权利要求1所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述环形边框(200)为矩形框，所有的所述测距单元(500)呈矩阵排布于所述矫正平台(100)顶面的中心。

4.根据权利要求1所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述矫正模块还包括活动组件和模块主体，所述矫正压头(300)活动安装于所述活动组件上，所述矫正压头(300)能相对所述活动组件沿竖直方向移动，所述活动组件活动安装于所述模块主体上，所述活动组件能相对所述模块主体在水平平面内移动。

5.根据权利要求4所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述矫正压头(300)包括连接件(310)、固定框(320)和压头主体(330)，所述连接件(310)固定连接于所述固定框(320)，所述连接件(310)与所述活动组件活动配合，所述固定框(320)设有安装槽，所述压头主体(330)可拆卸插接于所述安装槽内，所述压头主体(330)用于下压所述垫板(400)。

6.根据权利要求5所述的靶材矫正装置，其特征在于，在水平平面内，所述垫板(400)的投影覆盖所述压头主体(330)的投影。

7.根据权利要求5所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述活动组件包括第一主体和第一驱动单元，所述第一主体上设有沿竖直方向延伸的第一滑轨，所述连接件(310)滑设于所述第一滑轨，所述第一驱动单元的输出端连接于所述连接件(310)，用于驱动所述矫正压头(300)相对所述第一主体移动。

8.根据权利要求4所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述模块主体包括第二主体和第二驱动单元，所述活动组件活动安装于所述第二主体上，所述第二驱动单元用于驱动所述活动组件相对所述第二主体移动。

9.根据权利要求1-8任一项所述的靶材矫正装置，其特征在于，所述靶材矫正装置还包括显示面板，每个所述测距单元(500)均与所述显示面板通信连接，所述显示面板用于显示所述测距单元(500)所测得的信息。

10.靶材矫正方法，应用于权利要求1-9任一项所述的靶材矫正装置，其特征在于，包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及靶材加工技术领域，具体公开了靶材矫正装置及靶材矫正方法。该装置包括支撑模块、垫板和矫正模块；支撑模块包括矫正平台和可拆卸安装于矫正平台顶面的环形边框，环形边框用于支撑平面靶材的边缘，环形边框与矫正平台顶面围成检测槽，矫正平台顶面间隔均布有若干测距单元，位于检测槽内的测距单元能探测自身与平面靶材在竖直方向上的间距；垫板置于平面靶材的顶部；矫正模块包括矫正压头，矫正压头选择性抵压于垫板的顶部。该装置通过借助间隔均布的若干测距单元，得以实现对测距单元与平面靶材在竖直方向上的间距的精确测量，由此方便了矫正操作的顺利完成，改善了对平面靶材的保压效果，提升了矫正成功率和矫正效率。

技术研发人员：姚力军,丁向前,王青松
受保护的技术使用者：武汉江丰电子材料有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/5/29