一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具的制作方法

本技术涉及半导体零件加工，具体涉及一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具。

背景技术：

1、在半导体制造中，不同的气体(如氧气、氮气、甲烷等)通常需要按照特定的比例和流量供应到反应室或工艺装置中。半导体气体分配盘通过设计合适的孔道和管道，可以将气体平均分配到不同的通道或管路中。同时，一些分配盘还可以实现气体的混合，以满足特定工艺的要求。

2、在半导体气体分配盘的机械加工过程中，通常遇到扇形的嵌入槽无法加工的情况，这是由于扇形嵌入槽的宽度较窄并且深度过深，普通车削刀具的宽度一般难以达到要求，并且由于深度过深容易导致振刀纹出现，光洁度不好；另外，扇形嵌入槽的边缘设置r形圆角，并且嵌入槽的底面具有一定的倾斜角，普通铣刀无法满足加工圆角的要求，并且只能直铣加工，无法加工出倾斜角。

3、因此，开发一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，是本领域急需解决的技术问题。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，所述组合刀具能够满足扇形嵌入槽的加工要求，仅需要第一t型刀具和第二t型刀具配合使用即可完成，并且整体刚性较强，不仅能够避免出现振刀问题，还能降低刀具成本。

2、为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

3、本实用新型提供一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，所述组合刀具包括第一t型刀具和第二t型刀具；

4、所述第一t型刀具包括第一刀头和第一刀柄，所述第二t型刀具包括第二刀头和第二刀柄；

5、所述第一刀头的周向等间隔设置有至少6个切削部；所述第二刀头的周向对称的两侧分别设置至少2个切削部，所述对称的两侧之间不设置切削部；

6、所述切削部上设置有沿刀柄轴向排列的切削刃；

7、所述第二刀头的底面为圆弧面，所述第二刀头中切削刃的侧面边缘为弧形。

8、本实用新型一方面设计第一t型刀具中第一刀头的周向等间隔设置有至少6个切削部，能够有效提升第一t型刀具的切削力度和开粗速度，相比于现有3-4个切削部的t型刀而言，本实用新型不仅开粗速度更快，而且有利于排屑，避免排屑堵塞，适用于扇形嵌入槽的粗加工；一方面通过设计第二t型刀具中第二刀头的底面为圆弧面，从而能够加工扇形嵌入槽的倾斜角，并且通过设置第二刀头中切削刃的侧面边缘为弧形，能够有效加工扇形嵌入槽的r形圆角，同时设置第二刀头对称的两侧之间不设置切削部，能够避免零件受力过大导致刮伤孔壁，避免造成孔侧壁光洁度不好，适用于扇形嵌入槽的精加工。

9、优选地，相邻所述切削部之间设置有排屑槽。

10、优选地，所述第一刀头的底面与第一刀柄连接。

11、优选地，所述第二刀头的底面与第二刀柄连接。

12、优选地，所述圆弧面与垂直于第二刀柄轴向的平面之间的夹角为2.2-2.8°，例如可以是2.2°、2.3°、2.4°、2.5°、2.6°、2.7°或2.8°，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

13、本实用新型中，通过优选设置所述圆弧面与垂直于第二刀柄轴向的平面之间的夹角范围，能够使加工得到的扇形嵌入槽的底面具有一定的倾斜角。

14、优选地，所述第二刀头中所述切削刃的侧面边缘所在弧形的半径为1-2mm，例如可以是1mm、1.2mm、1.4mm、1.6mm、1.8mm或2mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

15、本实用新型中，通过优选控制第二刀头中所述切削刃的侧面边缘所在弧形的半径的范围，能够进一步便于加工扇形嵌入槽的边缘圆角。

16、优选地，所述第一刀柄的直径为18-22mm，例如可以是18mm、18.5mm、19mm、19.5mm、20mm、20.5mm、21mm、21.5mm或22mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

17、优选地，所述第二刀柄的直径为18-22mm，例如可以是18mm、18.5mm、19mm、19.5mm、20mm、20.5mm、21mm、21.5mm或22mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

18、本实用新型中，通过优选设置第一刀柄和第二刀柄的直径在特定范围，能够保持刀具的刚性，避免发生振刀。

19、优选地，所述第一刀头的切削刃沿第一刀柄轴向方向的长度为2.75-2.85mm，例如可以是2.75mm、2.76mm、2.78mm、2.8mm、2.82mm、2.84mm或2.85mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

20、本实用新型中，通过优选设置第一刀头的切削刃沿第一刀柄轴向方向的长度范围，能够为后续刀具的精加工留下加工余量。

21、优选地，所述第二刀头的切削刃沿第二刀柄轴向方向的最大长度为3.8-3.84mm，例如可以是3.8mm、3.81mm、3.82mm、3.83mm或3.84mm，但不限于所列举的数值，数值范围内其它未列举的数值同样适用。

22、本实用新型中，通过优选设置第二刀头的切削刃沿第二刀柄轴向方向的长度范围，能够便于加工得到宽度达到要求的扇形嵌入槽。

23、本实用新型提供的组合刀具用于加工半导体气体分配盘的扇形嵌入槽的操作过程如下：

24、(1)采用第一t型刀具对待加工位置进行开粗，所述第一t型刀具中通过控制等间隔设置有至少6个切削部，能够增大切削速率，提升开粗效率，并且通过控制第一刀头的切削刃沿第一刀柄轴向方向的长度，能够为后续的精加工留下加工余量，通过控制第一刀柄的直径，能够保持整体刀具的刚性，防止发生振刀；

25、(2)采用第二t型刀具对待加工位置进行精加工，通过设置第二刀头的周向对称的两侧分别设置至少2个切削部，对称的两侧之间不设置切削部并且第二刀头中切削刃的侧面边缘为弧形，能够有效加工扇形嵌入槽的r形圆角，同时通过控制第二刀头的底面为圆弧面且圆弧面与垂直于第二刀柄轴向的平面之间的夹角，能够有效加工扇形嵌入槽底面的倾斜角，通过控制第二刀柄的直径，能够避免振刀，最终加工得到扇形嵌入槽。

26、与现有技术相比，本实用新型的有益效果为：

27、(1)本实用新型提供的组合刀具能够同时满足扇形嵌入槽的边缘圆角和倾斜角的加工需要，仅需要采用第一t型刀具和第二t型刀具进行加工，避免频繁更换刀具，能够降低刀具成本。

28、(2)本实用新型提供的组合刀具通过对第一t型刀具和第二t型刀具的结构设计，能够提升刀具整体的刚性，避免发生振刀。

技术特征：

1.一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述组合刀具包括第一t型刀具和第二t型刀具；

2.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，相邻所述切削部之间设置有排屑槽。

3.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第一刀头的底面与第一刀柄连接。

4.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第二刀头的底面与第二刀柄连接。

5.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述圆弧面与垂直于第二刀柄轴向的平面之间的夹角为2.2-2.8°。

6.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第二刀头中所述切削刃的侧面边缘所在弧形的半径为1-2mm。

7.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第一刀柄的直径为18-22mm。

8.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第二刀柄的直径为18-22mm。

9.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第一刀头的切削刃沿第一刀柄轴向方向的长度为2.75-2.85mm。

10.根据权利要求1所述气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，其特征在于，所述第二刀头的切削刃沿第二刀柄轴向方向的最大长度为3.8-3.84mm。

技术总结
本技术提供了一种气体分配盘扇形嵌入槽加工用组合刀具，所述组合刀具包括第一T型刀具和第二T型刀具；所述第一T型刀具包括第一刀头和第一刀柄，所述第二T型刀具包括第二刀头和第二刀柄；所述第一刀头的周向等间隔设置有至少6个切削部；所述第二刀头的周向对称的两侧分别设置至少2个切削部，所述对称的两侧之间不设置切削部；所述切削部上设置有沿刀柄轴向排列的切削刃；所述第二刀头的底面为圆弧面，所述第二刀头中切削刃的侧面边缘为弧形。本技术提供的组合刀具能够满足扇形嵌入槽的加工要求，并且整体刚性较强，不仅能够避免出现振刀问题，还能降低刀具成本。

技术研发人员：姚力军,潘杰,许航嘉,昝小磊
受保护的技术使用者：宁波江丰芯创科技有限公司
技术研发日：20240125
技术公布日：2024/9/19