专利名称：地板处理机的制作方法
技术领域：
本发明涉及一种根据权利要求1的前序部分所述的用于硬质地板诸如水磨石、大理石、岩石、混凝土地板或类似物的磨削、抛光和/或切削加工的处理或研磨机。
背景技术：
用于磨削硬质地板诸如水磨石、大理石、岩石、混凝土底板或类似物的机械众所周知并且特别地由本申请人销售。现有技术中的用于此目的的研磨机械通常包括旋转安装的日盘，由电动机驱动并且其上布置有多个行星盘，通常为3-6个。在每个行星盘上布置有一个或多个磨削构件、抛光构件和/或切削工具。所述磨削机通常具有操作柄，与其邻近设置有驱动装置；轮子，组成支撑件并且促使所述磨削机的操作，以及可选择地允许设置有水箱用来向磨削心轴供应水。所述磨削机设置成在磨削过程中由行进中的操作者在其前方推进。此类磨削机的缺陷是功率较小，当磨削大的表面时是不利的。
美国专利6,419,565B2公开了一种现有技术中的用于木制地板磨削的研磨机如何连接到从动骑乘拖车，从而操作者在磨削过程中可以骑乘在该研磨机的后部，因此不必行走。但是，该磨削机也受到功率较小的困扰。
美国专利5,070,656公开了一种研磨单元如何能放置在叉式起重车的升力单元上，从而操作者在磨削过程中可以推进该叉式起重车，因此不必行走。但是，该研磨单元也同样受到功率较小的困扰。
类似的布置公开在日本专利JP-2000-317803中。该研磨单元的问题是该研磨单元的功率越大，就越难操作和运输该机械。
美国专利5,605,493公开了一种用于岩石地板湿磨法研磨的机械，其中驱动源、用于磨削的工作头和收集器布置在框架内。该机械同样也是功率较小并且需要操作者在其后行走用以操纵之。
专利WO92/02334公开了一种用于磨削如权利要求1的前序部分所述的混凝土地板的移动式磨削机。同样，该移动式磨削机受到有关功率问题的困扰。
因此需要一种改善的研磨机械，具有高功率、高效率、良好的操控性、良好的可运输性并且可以以合理的成本制造。
发明内容
本发明的目的是提供一种研磨机，全部或部分地消除现有技术中的问题。
该目的全部或部分通过根据独立权利要求的一种研磨机得以实现。实施例由从属权利要求和下述说明书所限定。
因此，这里提供一种用于研磨包括水磨石、大理石、岩石、混凝土地板或类似物的工件表面的研磨机，该研磨机包括至少两个研磨单元，支撑在该研磨机的框架上并且所述研磨单元布置成用于工件表面的研磨、抛光和/或切削，每个研磨单元包括电机和由电机驱动的旋转安装的工作盘。研磨单元各自相对于框架可以关于各自的基本上平行于工件表面的轴线倾斜。
由于研磨单元可以相对于框架倾斜，研磨机可以设计成使得其能够研磨较宽的轨迹并且因此具有较大的功率，同时该机械能够足够狭窄以便于在手推车和拖车上运输，以及能够通过门等到达将要研磨的区域。另外的优势是，可以采用标准型的研磨单元，使得不需要提供特殊的研磨单元，这对于降低该研磨机的成本有所贡献。
具有上述特征的研磨机也能容易地接近用于维护的工作盘和更换研磨构件。这对于提供具有高功率的研磨机是有利的，因为这种研磨机可以非常重而无法使之倾斜从而接近工作盘。另外，操作者无需在不能清楚地看到研磨单元的情况下，实施维护工作中所涉及的不舒服的或甚至危险的工作操作。
在一种实施例中，研磨单元通过支架连接在框架上，所述支架与框架铰接，从而研磨单元可以相对于框架枢转。
在一种实施例中，布置有一种装置，其用于调节支架相对于框架的角度。
在一种实施例中，研磨单元通过支架连接在框架上，所述支架可转向地连接在研磨单元上，使得研磨单元可以相对于框架倾斜。
在一种实施例中，布置有一种装置，其用于调节支架相对于研磨单元的角度。
在一种实施例中，在研磨机的主运动方向上观察，框架的前部在研磨机的一对前轮的前面伸出，用来形成支撑框架，其上安装研磨单元。这种布置使得可以改善对于角落的可达性。
在一种实施例中，第一研磨单元的一部分，其位于研磨机的纵向方向上的中心轴上的最远处，并且其位置较之挨近中心轴设置的第二和第三研磨单元的一部分离中心轴更远。这样就产生了在被第一单元研磨过的区域和由第三、第二单元各自研磨过的区域之间的重叠。
在一种实施例中，第一研磨单元可以关于基本上垂直于研磨机中心轴的轴线倾斜，第二和第三研磨单元可以关于各自的平行于研磨机中心轴的轴线倾斜。因此，可以将该机械制作的相对狭窄，从而当研磨单元升高时容易运输。
在一种可替代的实施例中，第一研磨单元可以关于基本上垂直于研磨机中心轴的轴线倾斜，其中第二和第三研磨单元可以分别关于第二和第三轴线倾斜，而且其中所述第二和第三轴线或它们的延长线相互之间形成锐角。
在一种实施例中，每个所述研磨单元布置成承受基本上等于研磨单元重量的力的作用而邻接抵靠在工件表面。
在一种实施例中，每个所述研磨单元，当啮合工件表面时，在基本上垂直于工件表面的方向上可以相对于框架移动。
所述研磨机可以包括内燃机，通过发电机和相关联的频率转换器向所述研磨单元提供能量，以及包括至少一个推进单元。这样的研磨机可以具有非常高的功率，以及较小的排放和平静的噪音等级，而与载荷无关。
在一种实施例中，每个所述频率转换器可以由控制单元控制，该控制单元应该能从手动操控控制装置、无线电控制单元或自主导航单元收集控制数据。因此，这种布置允许给予研磨机对控制机构的选择有很大的自由度。
在一种实施例中，所述推进单元包括两个电动机，每个用来驱动驱动轮，每个所述电动机被相关联的频率转换器单独控制。这种布置可以在给予研磨机选择何种控制机构以很大的自由度的同时给予其优秀的操纵性。
在一种实施例中，设置成像装置使得可以实时检查经过研磨的工件表面以及正在被该研磨机研磨的工件表面。这样使得可以实时检查研磨的结果。
在一种实施例中，该研磨机包括具有操作者坐席和操控器的驾驶坐席。这样的研磨机因此可以骑乘，减少了与研磨有关的体力消耗。
实施例的示例将参照附图详细说明。
图1是本发明的一种实施例的研磨机的示意性透视图。
图2是图1所示研磨机的侧视图。
图3是图1所示研磨机的透视图，其中研磨机的研磨单元处于运输位置。
图4是图1所示研磨机的透视图，其中研磨机的研磨单元处于维护位置。
图5a和5b是工作头和其与框架连接的连接件的侧视图。
图6是图1所示研磨机的示意性俯视图。
图7图示了从下方观察的工作头的示例。
图8a-8c图示了支撑框架的实施例，其上安装多个研磨单元。
图9示意性地示出一种实施例中的研磨机的功能组件。
图10示出了图8a中B区的放大视图。
具体实施例方式
图1示出一种骑乘式的研磨机1，包括框架14(图2)，其上布置有一套轮子2a、2b、2c和2d，使得该研磨机可以在基体20(图2)上移动。
研磨机的框架14布置成基本上支撑研磨机的所有部分。例如为了便于操控的目的，该框架可以是基本上刚性的框架构件或底板，或是铰接的。
所述这套轮子2a、2b、2c和2d用于为研磨机1在基体20上提供两维支撑表面，并且可以设计成不同形式，取决研磨机所需要的驱动特性。
框架也支撑发动机6。所述发动机的尺寸和强迫力/燃料基于研磨机需要的功率而确定。在研磨机1的一种实施例中，发动机可以为汽油或柴油内燃机。发动机6恰当的布置，从而以基本上恒定的速度和载荷操作，因此减小发动机的排放。在一种实施例中，发动机用来驱动发电机7。
由于发动机6驱动发电机7，产生的力量不仅用于推进研磨机1，而且还用于驱动研磨单元和附属设备诸如集尘器。
可以布置转向装置(未示出)以允许研磨机1在工作表面20上的运动发生转向。该转向装置可以制成如现有技术中的可操控型的。
作为第一个示例，研磨机1可以具有驾驶坐席12，包括坐席11和控制杆10，后者布置得临近驾驶坐席12并且操控转向装置(未示出)。
作为第二个示例，转向装置(未示出)可以为离开实际研磨机一定距离的可操控型的，例如通过无线电控制(未示出)。
作为第三个示例，转向装置(未示出)可以为响应基本上自主单元的指令的可操控型的，诸如机器人控制装置(未示出)，其可编程地以预定方式控制该研磨机，所述预定方式可能包括避障功能。现有技术中的其他转向装置也可以利用。
研磨机1可以具有多个已知类型的研磨单元，例如3个。每个研磨单元包括电机4a、4b、4c和由电机驱动的工作头3a、3b、3c。在一种实施例中，这种工作单元可以是例如专利WO02/062524A1中所示的出现在由操作者推进的研磨机中的类型。这种工作头3a、3b、3c可以包括2个或多个布置在行星盘(图7)上的旋转安装的从动工作盘41，优选为4个或6个，每个工作盘支撑一个或多个磨削构件42(图7)或切削构件。工作盘41可以依次旋转安装在支撑板40上，后者可以具有日盘的形式，且可以依次被旋转安装。支撑板可以包括行星齿轮装置，配置成使得支撑板40由电机4a、4b、4c驱动旋转时依次使得工作盘旋转，反之亦然。所述旋转示意性地如图7中箭头所示，但是应理解为旋转方向可以变化，这取决于行星齿轮的设计形式。在一种实施例中，行星盘的数量是偶数，优选的是4个或6个，布置成使得两个相邻的行星盘以相反方向旋转。研磨构件42通常为可更换类型的。
如图1所示，较之图3，研磨单元可以在工作位置(图1)和运输位置(图3)之间垂直移动。
在工作位置，研磨单元3a、3b、3c；4a、4b、4c布置成使得工作盘41在基本上平行于工件表面20的平面内旋转，研磨构件42(图7)与工件表面20研磨啮合。
图3示出处于运输位置的研磨单元，即离开工件表面20一定距离，因此促使该研磨机移动经过不需要研磨的表面。
如图4所示，研磨单元可以可旋转地、可枢转地和/或可倾斜地安装，例如关于在工作位置或运输位置和维护位置之间平行于工件表面20的基本上水平的轴线为可倾斜的，工作盘41可以定位成相对于工件表面成一定角度，因此使得为了清洁或更换消耗部件诸如工作盘41和/或研磨构件42而接近它们更加便利。在一种实施例中，研磨单元可以布置成可以旋转、枢转和/或倾斜到一定程度，使得工作盘41位于基本上垂直或接近垂直的状态，例如使得工作盘与工件表面20成至少45度，优选为70-90度。
图5a和5b示意性地图示了研磨单元3、4如何布置在从框架14伸出的支架5上。支架5可以相对于框架而关于第一铰链33枢转布置，枢转的角度由第一操控装置31操控。相应地，研磨单元3、4可以相对于支架5绕第二铰链34旋转或倾斜布置，旋转的角度由第二操控装置32操控。第一和第二铰链33、34可以基本上平行于工件表面20。
操控装置31、32可以为用于提供线性运动的任何操控装置。例如这种操控装置可以为液压或气动活塞、齿条和齿轮驱动装置等。其他用于提供磨削头相对于框架的角度运动或倾斜运动的操控装置也可以采用。
研磨单元3、4的操控装置31、32和铰链布置使得可以例如在运输位置(仅在图3中示出)、维护位置(图4、图5b)和工作位置(图1、图5a)之间相对于框架调节研磨单元。也可以利用研磨单元3、4的操控装置31、32和铰链布置相应于研磨操作精确地调节研磨单元3、4的工作位置。
操控装置31、32可以从研磨机1的驾驶坐席控制，通过无线电或通过自主单元控制，取决于选用的控制装置。
在一种实施例中，研磨机可以具有前后轮轴线之间约2-2.7m的长度，前轮直径约为530mm并且从框架的后部到前工作头的前部的总长度约为3-3.7m。这样的研磨机可以设置有3个工作头，因此可以具有比目前市场上可见的研磨机基本上更高的功率。
应理解为上述说明的研磨机的布置并不仅限于所说明的研磨机的类型。
图6是根据一种实施例的研磨机1的示意性俯视图。图6更加清楚地示出研磨机的工作头经过工件表面时的位置。在本实施例中，在主运动方向上，第一研磨单元3a、4a定位成基本上在研磨机的前方。第一研磨单元3a、4a的中心基本上与框架14的中心纵向对称轴S重合(图6)。
第二3b、4b和第三3b、4b研磨单元基本上对称地布置在对称轴S(图6)的各自侧，在研磨机1的主运动方向上位于第一研磨单元3a、4a的后方。在一种实施例中，第二和第三研磨单元布置成使得第二3b和第三3c工作头的各自最靠近对称轴S的一部分，定位成较之第一研磨单元3a上离对称轴S最远的一部分离对称轴S更近的位置。这种布置使得研磨机能够在横截研磨机的主运动方向上磨削、抛光/或切削相对宽的区域，而不会显著的损害研磨机对于角落中的表面的可达性。
图8a-8c图示了本发明的一种实施例的支撑框架的实施例，其上布置有3个研磨单元。
图8a示出处于工作位置的研磨机上的研磨单元，即在该位置它们与地板表面以磨削、抛光和/或切削方式啮合。支撑框架101如图8a所示，其设计成在研磨机的前驱动轮2a、2d、201的前方整体或部分地伸出。支撑框架101在本实施例中包括梁102、103，在研磨机的主运动方向上向前逐渐倾斜。第一研磨单元3a、4a安装在梁的交叉点。第一研磨单元关于基本上垂直于研磨机的纵向轴线S的轴线倾斜(图6)。第二和第三研磨单元安装在梁102、103上并且因此分别关于与研磨机的纵向S成45度角的轴线倾斜(图6)。应理解为相对于纵向S成其他角度也是可以采用的。
在一种可替代的实施例中，支撑框架101可以比框架14、100的剩余部分更狭窄。
研磨单元3a、4a；3b、4b；3c、4c通过各个支架5连接在支撑框架101上。呈液压柱形式的操控装置31布置成用来设定支架5相对于支撑框架101的角度，因此操控研磨单元的倾斜度。
图8b示出图8a所示的研磨机的研磨单元被如何倾斜至维护位置，在所述维护位置出于维护可以接近研磨单元的日盘40和工作盘41，诸如更换磨削盘42(图7)。
图8c示出图8a所示的研磨机的研磨单元被如何倾斜至运输位置，使得研磨机的总长度和宽度基本上相对于如图8a所示的工作位置有所减小。
在一种实施例中，支撑框架101可以制成相对于框架14、100的剩余部分可以垂直枢转。例如，可以将铰链设置于横杆104(图8a)。
在一种实施例中，研磨单元如此布置，使得他们的工作区域随研磨机的运动而彼此重叠，也就是说使得处于研磨机的纵向轴线上、最远离中心轴S的第一研磨单元3a、4a的部分定位成较之第二3b、4b和第三3c、4c研磨单元的各自最靠近中心轴S的部分更远离中心轴S。
在一种实施例中，第一研磨单元3a、4a关于基本上垂直于研磨机的中心轴S的轴线倾斜，并且第二和第三研磨单元3b、4b；3c、4c关于各自平行于研磨机中心轴S的轴线倾斜。
在另一种实施例中，第一研磨单元3a、4a关于基本上垂直于研磨机的中心轴S的轴线倾斜，并且第二和第三研磨单元3b、4b；3c、4c分别关于第二和第三轴线倾斜，所述第二和第三轴线或它们的延长线，彼此形成锐角。例如，第二和第三轴线各自可以平行于梁102、103，如图8a-8c所示。
如上所述的研磨机可以设计成有效地研磨非常大的表面。应理解的是，当研磨大表面，诸如工厂、仓库或储藏室地板时，所述研磨机需要具有高功率。
下面将说明具有高功率和高效率的研磨机如何设置。
图9示意性地图示了在一种实施例中的研磨机1的功能组件。在图9中，组件之间的实线表示能量的传输，虚线表示控制和/或传感器数据的传送。
研磨机1安装在框架100上，后者通过一套包括驱动轮的前轮和一套包括枢转轮的后轮可以在工件表面上移动。驱动轮101布置成可以被适当的电机200分别驱动。枢转轮可在平行于工件表面的平面内转向并且在一种实施例中为空载的，他们的主要功能是与驱动轮201一起形成用于研磨机的支撑表面。
在框架的前部101，例如在上述的布置中设置有多个研磨单元300，优选的为3个。
由柴油、气体、液化石油气、汽油或类似物驱动的内燃机400被布置成组成研磨机的动力源。扭矩从内燃机400传送到发电机500产生电流。动力分配器600被用来向研磨机内的其他单元分配动力；频率转换器800a、800b、驱动电机200、研磨单元300、控制单元700、集尘器、低压部分650等等。
由于采用连接到发电机的内燃机，可以提供长时间操作的研磨机而无需充电或补充燃料。另外，内燃机可以在恒定的速度下操作，对燃料经济性和噪音等级以及磨损方面都是有利的。
频率转换器800a、800b布置成分别控制驱动电机200的速度和研磨单元300的速度。这种类型的控制可以分别控制每个驱动轮200的转速，因此允许电动控制研磨机的速度以及方向，而不需要机械控制装置。由于驱动轮根据电传飞行操作原理(fly-by-wire)被电动控制，可以实现在选择用于研磨机的控制机构时巨大的灵活性。
驱动电机可以为异步式的，其在成本方面特别有利。
在一种实施例中，研磨机由定位在其内的控制杆701或等效的控制装置所控制。
在另一种实施例中，研磨机由遥控装置702控制，后者通过电缆、无线电通讯或类似物向控制单元700传送控制信号。
仍在另一种实施例中，研磨机由自主或基本上自主的导航系统703的装置控制。这种导航系统可以采用一个或多个设定的参考点、人工视觉、激光束或感应线圈控制、基于例如光学传感器或超声检测的避障装置。
在一种实施例中，用于检查研磨结果的装置704，例如相机可以在沿运动方向上布置在研磨单元300的后方。来自装置704的输出可以表示在邻近驾驶坐席的显示装置705上或者显示在遥控研磨机的单元上。这种装置704可以与光源向结合。
应理解的是，参照图9所示说明的研磨机可以被设计成具有研磨单元的其他类型和结构，并且其安装不同于如图1-8所示的那样。
图10图示了图8a中标明的区域B的细节。图10示出研磨单元3a、4a以及将支架5连接在研磨单元的装置的部分。将支架5连接在研磨单元上的装置包括布置在形成在支架5上的槽35中的销钉34，所述槽35基本上在工作位置是垂直的从而使得销钉34可以在槽35种移动。这种移动能力允许研磨单元相对于框架100移动，从而使得研磨单元可相对于所述框架基本上自由地安装。由于这种布置，每个研磨单元3a、4a；3b、4b；3c、4c、300可以被布置成以基本上等于研磨单元重量(即，质量X重力加速度)的力而邻接靠在工件表面20上。
因此每个所述工作单元3a、4a；3b、4b；3c、4c、300可以在啮合工件表面20时相对于框架14在基本上垂直于工件表面的方向移动。本领域的技术人员应认识到这种移动能力或自由安装也可以以其他方式设置。
权利要求
1.一种用于研磨包括水磨石、大理石、岩石、混凝土地板或类似物的工件表面(20)的研磨机(1)，所述研磨机包括至少两个研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)，它们由该研磨机的框架(14、100)支撑并且所述研磨单元布置成用于工件表面(20)的研磨、抛光和/或切削，每个研磨单元包括电机(4a、4b、4c、200)和由电机驱动的旋转安装的工作盘(41)，其特征在于，所述研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)分别相对于框架(14、100)关于各自的基本上平行于工件表面(20)的轴线倾斜。
2.如权利要求1所述的研磨机，其中研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)通过支架(5、5a、5b、5c)连接在框架(14、100)上，所述支架与框架(14、100)铰接，从而研磨单元可以相对于框架(14、100)枢转。
3.如权利要求2所述的研磨机，其中布置有一种装置(31)用于调节支架相对于框架(14、100)的角度。
4.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)通过支架(5、5a、5b、5c)连接在框架(14、100)上，所述支架可转向地连接在研磨单元上，使得研磨单元可以相对于框架(14、100)倾斜。
5.如权利要求4所述的研磨机，其中布置有一种装置(32)用于调节支架相对于研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)的角度。
6.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中在研磨机的主运动方向上看去，框架(14、100)的前部在研磨机的一对前轮(200)的前面伸出用来形成支撑框架(101)，在支撑框架上安装研磨单元。
7.如权利要求6所述的研磨机，其中支撑框架(101)相对于框架(14、100)的剩余部分可以垂直枢转。
8.如权利要求6所述的研磨机，支撑框架(101)比框架(14、100)的剩余部分更狭窄。
9.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中在研磨机的纵向轴线上、最远离中心轴(S)的第一研磨单元(3a、4a)的部分定位成较之第二(3b、4b、3c、4c)研磨单元紧挨中心轴S的部分更远离中心轴(S)。
10.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中研磨机包括3个研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c)，如此设置使得当研磨机移动并且研磨单元与地板表面研磨啮合时，第一研磨单元(3a、4a)生成中心研磨轨迹，并且第二和第三研磨单元(3b、4b；3c、4c)在第一研磨轨迹的每一侧生成研磨轨迹。
11.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中第一研磨单元(3a、4a)关于基本上垂直于研磨机中心轴(S)的轴线倾斜，并且其中第二研磨单元(3b、4b；3c、4c)关于平行于研磨机中心轴(S)的轴线倾斜。
12.如权利要求11所述的研磨机，其中第三研磨单元关于平行于研磨机的中心轴(S)的轴线倾斜。
13.如权利要求1-10中任一项所述的研磨机，其中，第一研磨单元(3a、4a)关于基本上垂直于研磨机中心轴(S)的轴线倾斜，其中第二和第三研磨单元(3b、4b；3c、4c)分别关于第二和第三轴线倾斜，而且其中所述第二和第三轴线或它们的延长线相互之间形成锐角。
14.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中每个所述研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)布置成以基本上等于研磨单元重量的力邻接抵靠工件表面(20)。
15.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中每个所述研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)在啮合工件表面(20)时，在相对于基本上垂直于工件表面(20)的方向上可以相对于框架(14)移动。
16.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，还包括内燃机(400)，通过发电机(500)和相关联的频率转换器(800a、800b)向所述研磨单元(300)提供能量，以及包括至少一个推进单元(200)。
17.如权利要求16所述的研磨机，其中每个所述频率转换器(800a，800b)可以由控制单元(700)控制，该控制单元能从手动操控控制装置(701)、无线电控制单元(703)或自主导航单元(703)收集控制数据。
18.如权利要求16或17所述的研磨机，其中所述推进单元(200)包括两个电动机，每个用来驱动驱动轮(201)，每个所述电动机被相关联的频率转换器(800a)单独控制。
19.如权利要求18所述的研磨机，还包括至少一个枢转轮(202)，其与所述驱动轮(201)一起形成用于支撑研磨机的支撑表面。
20.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，其中成像装置(704)布置成使得可以实时检查经过研磨的工件表面(20)以及正在被该研磨机研磨的工件表面。
21.如上述权利要求中任何一项所述的研磨机，还包括具有操作者坐席(10)和操控器(11)的驾驶坐席。
全文摘要
本发明公开一种用于研磨包括水磨石、大理石、岩石、混凝土地板或类似物的工件表面(20)的研磨机(1)，所述研磨机包括至少两个研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)，支撑在该研磨机的框架(14、100)上并且所述研磨单元布置成用于工件表面(20)的研磨、抛光和/或切削，每个研磨单元包括电机(4a、4b、4c、200)和由电机驱动的旋转安装的工作盘(41)。研磨单元(3a、4a；3b、4b；3c、4c、300)分别相对于框架(14、100)关于各自的基本上平行于工件表面(20)的轴线倾斜。
文档编号B24B7/18GK1938126SQ200580008866
公开日2007年3月28日 申请日期2005年1月17日 优先权日2004年2月13日
发明者哈坎·瑟塞尔 申请人:Htc瑞典公司