专利名称：卧式大容量等离子体金属表面加工装置的制作方法
技术领域：
本实用新型涉及一种金属表面处理装置，尤其是指用于金属表面强化处理的一种卧式大容量等离子体金属表面加工装置。
背景技术：
利用等离子体技术在金属表面沉积一层BN-SiN陶瓷强化层，可以大大提高金属的表面硬度、耐磨性能、抗腐蚀性能等，中国专利CN89103515.X对此作了充分的说明。但现有的金属表面强化设备均采用上钟罩式升降开合的立式结构，装置的底板为固定的圆盘形状，因底板需要固定连接各种管道、电缆线及检测器，所以底板不能移动，而同时又要作为工件的放置位置，因此，加工的品种、形状、尺寸严重受限。如目前使用的金属表面强化设备，其最大有效直径为1000mm，这样单个工件的外形最大尺寸就必须小于圆内正方形边长650mm。同时，传统的金属表面强化设备，加热器设置在底板下，热量由下往上传导，因此，工件的顶部面和底面有较大温差，不利于工件加工过程中气相的均匀沉积。
发明内容
本实用新型是针对现有技术的上述不足，提供一种结构简单、产品的加工范围广、功效高的卧式大容量等离子体金属表面加工装置。
本实用新型的目的是这样实现的一种卧式大容量等离子体金属表面加工装置，包括卧置的圆筒形壳体，壳体的其中一端封闭，另一端设有密封门，其中所述壳体的内部下方设有底板，在底板上设有沿壳体轴向延伸的导轨，在导轨上设有可沿导轨移动的承载托盘；壳体设有与真空泵连接的抽气管，在壳体顶部连接有工作气体进气管，在壳体下部连接有工作气体出气管；在壳体内设有至少一组电加热器，在壳体的内设有与高频电源连接的正电极板、在承载托盘上设有负电极连接座。
上述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置中所述的出气管内端连接有至少两个喷气嘴，可以使工作气体的喷出更加均匀。
上述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置中所述的电加热器有三组，分别设置在承载托盘上和壳体的两侧中部内壁，这样可以保证工件的受热均匀，保证金属表面的强化效果一致。
上述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置中所述的承载托盘上表面以长方形为佳。
本实用新型与现有技术相比，具有下述优点1.由于采用轨道式推拉承载托盘，可以在炉外装夹工件，避免了传统装置工件在炉内装夹带来的不便，更有利于工件的加工质量。
2.采用承载托盘可增加工件放置的面积，在炉内容量基本不变的情况下，可将加工相同体积的小工件的数量提高1.5～2倍，从而降低成本。
3.承载托盘不受加工件外形尺寸的约束，可对注塑模具等大工件的表面进行加工。
4.进一步改进后，装置的加热源更加贴近被加工件，并且由于采用了周边加热使工件上下部距热源均等，有利于均匀沉积。
5.由于承载托盘不再承担各种固定连接任务，摆放工件可任意上升或下降，对一些特殊要求的工件可以对顶部进行区别加工，应用范围更加广泛。
以下结合附图中的实施例对本实用新型作进一步地详细说明，但不构成对本实用新型的任何限制。
图1是本实用新型一种具体实施例的结构示意图；图2是本实用新型的截面结构示意图。
具体实施方式
参阅
图1、图2所示，本实用新型的卧式大容量等离子体金属表面加工装置，包括卧置的圆筒形壳体1，壳体1的其中一端封闭，另一端设有密封门2；在壳体1的内部下方设有底板3，在底板3上设有沿壳体1轴向延伸的导轨4，在导轨4上设有可沿导轨4移动的承载托盘5，承载托盘5上表面为长方形，这样工作面积最合理；壳体1设有与真空泵连接的抽气管6，在壳体1顶部连接有工作气体进气管7，在进气管7内端连接有两个间隔排列喷气嘴12；在壳体1下部连接有与抽气机连接的工作气体出气管8；在壳体1内设有三组电加热器9，三组电加热器9分别设置在承载托盘5上和壳体1的两侧中部内壁；在壳体1的内设有与高频电源连接的正电极板10，在承载托盘5上设有负电极连接座11。
本实用新型具体使用时，将待加工的金属工件固定在承载托盘5上并与负电极连接座11连接，关闭密封门2后即可进行抽真空、高频放电、通入工作气体，进行金属表面沉积加工。
权利要求1.一种卧式大容量等离子体金属表面加工装置，包括卧置的圆筒形壳体(1)，壳体(1)的其中一端封闭，另一端设有密封门(2)，其特征在于所述壳体(1)的内部下方设有底板(3)，在底板(3)上设有沿壳体(1)轴向延伸的导轨(4)，在导轨(4)上设有可沿导轨(4)移动的承载托盘(5)；壳体(1)设有与真空泵连接的抽气管(6)，在壳体(1)顶部连接有工作气体进气管(7)，在壳体(1)下部连接有工作气体出气管(8)；在壳体(1)内设有至少一组电加热器(9)，在壳体(1)的内设有与高频电源连接的正电极板(10)、在承载托盘(5)上设有负电极连接座(11)。
2.根据权利要求1所述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置，其特征在于所述的进气管(7)内端连接有至少两个喷气嘴(12)。
3.根据权利要求1所述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置，其特征在于所述的电加热器(9)有三组，分别设置在承载托盘(5)上和壳体(1)的两侧中部内壁。
4.根据权利要求1所述的卧式大容量等离子体金属表面加工装置，其特征在于所述的承载托盘(5)上表面为长方形。
专利摘要本实用新型提供了一种卧式大容量等离子体金属表面加工装置，属金属表面处理装置领域，包括卧置的圆筒形壳体，壳体的其中一端封闭，另一端设有密封门，其中所述壳体的内部下方设有底板，在底板上设有沿壳体轴向延伸的导轨，在导轨上设有可沿导轨移动的承载托盘；壳体设有与真空泵连接的抽气管，在壳体顶部连接有工作气体进气管，在壳体下部连接有工作气体出气管；在壳体内设有至少一组电加热器，在壳体的内设有与高频电源连接的正电极板、在承载托盘上设有负电极连接座。本实用新型具有结构简单、产品的加工范围广、功效高的优点。
文档编号B24B1/00GK2910468SQ20062006060
公开日2007年6月13日 申请日期2006年6月21日 优先权日2006年6月21日
发明者聂恒志 申请人:聂恒志